日月光使用再生水經驗分享 -...

日月光使用再生水日月光使用再生水日月光使用再生水日月光使用再生水

經驗分享經驗分享經驗分享經驗分享

BS Su

ASE Group

03.29, 2011

Presented by

© ASE Group. All rights reserved. 2

壹壹壹壹

貳貳貳貳

參參參參驗證與成效驗證與成效驗證與成效驗證與成效

日月光高雄廠及節水沿革日月光高雄廠及節水沿革日月光高雄廠及節水沿革日月光高雄廠及節水沿革

肆肆肆肆

參參參參

結論與展望結論與展望結論與展望結論與展望

貳貳貳貳

使用再生水之檢討與規劃使用再生水之檢討與規劃使用再生水之檢討與規劃使用再生水之檢討與規劃


日月光在1984年成立於高雄楠梓加工出口區，以半導體業「專業代

工」為定位，為客戶提供完整的一元化半導體後段製造服務解決方案，包

括晶片的前段測試、晶圓針測、晶片封裝、基板設計與製造、晶片成品

測試和系統整合等最佳設計製造服務。

前段測試

晶圓針測

基板設計與製造

封裝

成品測試

模組、系統、封裝及測試 (DMS)

晶圓製造

IC設計

日月光集團日月光集團日月光集團日月光集團


日月光全球生產據點日月光全球生產據點日月光全球生產據點日月光全球生產據點

廣大的全球營運據點廣大的全球營運據點廣大的全球營運據點廣大的全球營運據點日月光集團的全球營運據點涵蓋臺灣日月光集團的全球營運據點涵蓋臺灣日月光集團的全球營運據點涵蓋臺灣日月光集團的全球營運據點涵蓋臺灣、、、、大陸大陸大陸大陸、、、、南韓南韓南韓南韓、、、、日本日本日本日本、、、、

馬來西亞馬來西亞馬來西亞馬來西亞、、、、新加坡新加坡新加坡新加坡、、、、美國與歐洲多個國家美國與歐洲多個國家美國與歐洲多個國家美國與歐洲多個國家，，，，全球員工人數超全球員工人數超全球員工人數超全球員工人數超

過過過過 9 萬人萬人萬人萬人。。。。


HSINCHU

TAINAN

KAOHSIUNG

NANTOU

ASEKH

KHH AIRPORT

CKS

AIRPORT

USI

K6-2

日月光高雄廠

ASEKH Total Staff =16,100人人人人；；；； Y2010 產值產值產值產值 2,015 MUSD

ASECL

• TAIPEI


日月光高雄廠節水沿革日月光高雄廠節水沿革日月光高雄廠節水沿革日月光高雄廠節水沿革

�1999199919991999年建立年建立年建立年建立K3K3K3K3電鍍回收系統電鍍回收系統電鍍回收系統電鍍回收系統,,,,回收量回收量回收量回收量1,250CMD1,250CMD1,250CMD1,250CMD。。。。

�2001200120012001年於年於年於年於K3K3K3K3導入第一套切割研磨水回收導入第一套切割研磨水回收導入第一套切割研磨水回收導入第一套切割研磨水回收,,,,回收量回收量回收量回收量800CMD 800CMD 800CMD 800CMD 。。。。

�2004200420042004年於年於年於年於K7K7K7K7引進引進引進引進2B3T2B3T2B3T2B3T前處理系統前處理系統前處理系統前處理系統,RO,RO,RO,RO獲取率提升至獲取率提升至獲取率提升至獲取率提升至90%90%90%90%。。。。

�2005200520052005年於年於年於年於K7K7K7K7建立第二套切割研磨系統建立第二套切割研磨系統建立第二套切割研磨系統建立第二套切割研磨系統,,,,回收量回收量回收量回收量1,200CMD1,200CMD1,200CMD1,200CMD。。。。

�2006200620062006年全面回收製程設備冷卻水循環再利用年全面回收製程設備冷卻水循環再利用年全面回收製程設備冷卻水循環再利用年全面回收製程設備冷卻水循環再利用。。。。

�2007200720072007獲經濟部節水績優獎獲經濟部節水績優獎獲經濟部節水績優獎獲經濟部節水績優獎。。。。

�2009200920092009汰換汰換汰換汰換K7K7K7K7二期前處理二期前處理二期前處理二期前處理UFUFUFUF系統改為系統改為系統改為系統改為2B3T2B3T2B3T2B3T系統系統系統系統,,,,回收量回收量回收量回收量960CMD960CMD960CMD960CMD。。。。

�2010201020102010汰換汰換汰換汰換K5K5K5K5前處理前處理前處理前處理UFUFUFUF系統改為系統改為系統改為系統改為2B3T2B3T2B3T2B3T系統系統系統系統,,,,回收量回收量回收量回收量1,500CMD1,500CMD1,500CMD1,500CMD。。。。

�2010201020102010全廠製程用水納入回收管理全廠製程用水納入回收管理全廠製程用水納入回收管理全廠製程用水納入回收管理,,,,製程水再利用率提升至製程水再利用率提升至製程水再利用率提升至製程水再利用率提升至56%56%56%56%。。。。

�2010201020102010參與再生水模型廠驗證計畫參與再生水模型廠驗證計畫參與再生水模型廠驗證計畫參與再生水模型廠驗證計畫,,,,回收量回收量回收量回收量1,450CMD1,450CMD1,450CMD1,450CMD。。。。

�2011201120112011整合整合整合整合K5/K7K5/K7K5/K7K5/K7切割研磨廢水系統擴大切割研磨廢水系統擴大切割研磨廢水系統擴大切割研磨廢水系統擴大,,,,回收量回收量回收量回收量2,000CMD2,000CMD2,000CMD2,000CMD。。。。


壹壹壹壹

貳貳貳貳



肆肆肆肆

參參參參


貳貳貳貳



參與再生水計劃緣起參與再生水計劃緣起參與再生水計劃緣起參與再生水計劃緣起

� 南部供水不穩定問題南部供水不穩定問題南部供水不穩定問題南部供水不穩定問題

� 降低對自來水的需求依賴降低對自來水的需求依賴降低對自來水的需求依賴降低對自來水的需求依賴

� 水質優於自來水使純水系統運轉更穩定水質優於自來水使純水系統運轉更穩定水質優於自來水使純水系統運轉更穩定水質優於自來水使純水系統運轉更穩定

� 透過節水技術經驗交流透過節水技術經驗交流透過節水技術經驗交流透過節水技術經驗交流、、、、建立能力建立能力建立能力建立能力

� 及早因應水足跡盤查趨勢及早因應水足跡盤查趨勢及早因應水足跡盤查趨勢及早因應水足跡盤查趨勢，，，，提升企業競爭力提升企業競爭力提升企業競爭力提升企業競爭力


再生水導入之風險再生水導入之風險再生水導入之風險再生水導入之風險

� 再生水來自放流水回收再生水來自放流水回收再生水來自放流水回收再生水來自放流水回收，，，，水源複雜水源複雜水源複雜水源複雜

� 再生水供應再生水供應再生水供應再生水供應／／／／需求穩定問題需求穩定問題需求穩定問題需求穩定問題

� 質量異常質量異常質量異常質量異常

導入再生水之規劃策略導入再生水之規劃策略導入再生水之規劃策略導入再生水之規劃策略

� 新替代原水水質需不低於自來水水質新替代原水水質需不低於自來水水質新替代原水水質需不低於自來水水質新替代原水水質需不低於自來水水質

� 製程產品受影響衝擊最小製程產品受影響衝擊最小製程產品受影響衝擊最小製程產品受影響衝擊最小

� 廠區用水需量穩定且備用量充足廠區用水需量穩定且備用量充足廠區用水需量穩定且備用量充足廠區用水需量穩定且備用量充足

� 選擇純水系統或冷卻水系統設備需改善廠區選擇純水系統或冷卻水系統設備需改善廠區選擇純水系統或冷卻水系統設備需改善廠區選擇純水系統或冷卻水系統設備需改善廠區

� 質量異常之預防質量異常之預防質量異常之預防質量異常之預防、、、、預警及應變機制預警及應變機制預警及應變機制預警及應變機制


一一一一、、、、系統操作檢討及改善系統操作檢討及改善系統操作檢討及改善系統操作檢討及改善

二二二二、、、、系統銜接研擬系統銜接研擬系統銜接研擬系統銜接研擬

再生水用水分配討論再生水管線建置與原系統分割研擬監控系統操作管理模擬協助相關風險及因應對策研析

99.04.15

99.08.15

99.04.15

99.06.15

99.07.31

四四四四、、、、再生水測試再生水測試再生水測試再生水測試協助進行測試計畫，記錄操作數據並進行檢討現場模擬測試演練，修正整合系統測試包括安全防護設備、純水系統異常切換裝置、日常操作監控系統修正檢討改善，降低可能風險

三三三三、、、、系統建置系統建置系統建置系統建置

99.09.31

99.06.15

再生水管路施作供水系統運作測試研擬再生水對於純水系統之效應評估（RO/2B3T）

( 預估

預估

預估

預估

60天天天天)

( 預估

預估

預估

預估

60天天天天) ( 預

估預估

預估

預估

60天天天天)

( 預估

預估

預估

預估

90天天天天)

99.09.31

99.12.31

系統操作數據檢討及評估，解決系統操作問題協助建立格式化操作記錄及操作標準作業程序CIP程序檢討，包含藥洗頻率及濃度評估RO操作回收率建立背景水質，加強檢測分析

日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃----時程表時程表時程表時程表


日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃----供應管路供應管路供應管路供應管路

再生水模型廠

楠電

揚水加壓站

日月光K15 備

援

規劃使用既設中水管路連接至K5


導電度偵測濁度偵測pH 偵測排至UF過濾

槽或揚水站No

pH 偵壓力導電度濁度

導電度pH 偵測使用端純水系統再生水儲存槽

停止入水&排水至廢水

廠

初級純水槽導電度偵清洗水槽導電度偵測用戶使用端用戶使用端用戶使用端用戶使用端POUPOUPOUPOU

4項水質檢驗均合格

3項水質檢驗均合格3項水質檢驗均合格

TOC偵測

2項水質檢驗均合格

模型廠產水模型廠產水模型廠產水模型廠產水

排水至K5廢水No

No

�四階段水質管制四階段水質管制四階段水質管制四階段水質管制一一一一

二二二二

三三三三

四四四四

日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃----安全防護

即時警報系統即時警報系統即時警報系統即時警報系統

遠端監視系統遠端監視系統遠端監視系統遠端監視系統

再生水系統警報紀錄再生水系統警報紀錄再生水系統警報紀錄再生水系統警報紀錄

�遠端水質監視遠端水質監視遠端水質監視遠端水質監視

�即時警報即時警報即時警報即時警報

模型廠產水後模型廠產水後模型廠產水後模型廠產水後

輸送管路至用戶端輸送管路至用戶端輸送管路至用戶端輸送管路至用戶端

用戶端用水前用戶端用水前用戶端用水前用戶端用水前

用戶端用水中用戶端用水中用戶端用水中用戶端用水中


日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃----系統設備系統設備系統設備系統設備

純水純水純水純水ROR

再生水輸送至清水桶並以再生水輸送至清水桶並以再生水輸送至清水桶並以再生水輸送至清水桶並以其液位控制其液位控制其液位控制其液位控制PumpPumpPumpPump啟啟啟啟、、、、停停停停

再生水再生水再生水再生水

輸送系統輸送系統輸送系統輸送系統


日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃日月光使用再生水規劃----系統設備硬體系統設備硬體系統設備硬體系統設備硬體

6F

累積式流量計L<Pump停>H<電動閥停>HH

防蟲網

Con SensorCond SensorMHLMHLFrom健檢4F PLC DATA

From健檢4F PLC DATA2"PVC排水管

M<電動閥開><pump開>

A(pump 開)B(pump 關)B(pump 關)A(pump 開)

累積式流量計4"面積式流量計

FROM模廠4"SUS再生水管路 4"GIP進水管BF

RF

R1F 冷卻水塔設備區域西北側水箱

local control panel手/自動切換40HP INV*2只始有既有品pump異常警報(alarm及local)水質異常警報(alarm及local)比例閥開度控制PLC控制及人機設置及網路卡緩衝桶及儲水桶液位清水桶液位及水質初級純水桶液位及水質加工區環保站

K5廠 PH Sensor再生水儲桶10T FRP P P

10T FRP*2只6"PVC溢流管

2F

4F清

水

桶

浮球水位閥

4"面積式流量計1F

6"排水管廢水廠 Con Sensor 累積式流量計

初級純水桶5F

7F

6"PVC溢流管

4"PVC進水管4"GIP進水管

4"GIP進水管

既有CRN-64-340HP+變頻器*2組

4"面積式流量計再生水儲桶

再生水緩衝桶

監控螢幕監控螢幕監控螢幕監控螢幕

揚水泵浦

水質盤箱進水

前水

質盤

箱


壹壹壹壹

貳貳貳貳



肆肆肆肆

參參參參


貳貳貳貳



再生水導入之驗證與成效再生水導入之驗證與成效再生水導入之驗證與成效再生水導入之驗證與成效

�水質穩定約水質穩定約水質穩定約水質穩定約50us/cm50us/cm50us/cm50us/cm、、、、優於預期優於預期優於預期優於預期

�樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長

2B3T2B3T2B3T2B3T產水週期延長產水週期延長產水週期延長產水週期延長4hr & 4hr & 4hr & 4hr & 混床原本每混床原本每混床原本每混床原本每3333天再生天再生天再生天再生1111次次次次，，，，使用再生水後延使用再生水後延使用再生水後延使用再生水後延

長為每長為每長為每長為每7777天再生一次天再生一次天再生一次天再生一次

� RO CIPRO CIPRO CIPRO CIP藥洗週期延長藥洗週期延長藥洗週期延長藥洗週期延長

RO CIPRO CIPRO CIPRO CIP藥洗週期由平均藥洗週期由平均藥洗週期由平均藥洗週期由平均2500M2500M2500M2500M3333延長到近延長到近延長到近延長到近4000M4000M4000M4000M3333，，，，節省節省節省節省CIPCIPCIPCIP化學品耗量化學品耗量化學品耗量化學品耗量

及降低純水設備維護成本及降低純水設備維護成本及降低純水設備維護成本及降低純水設備維護成本

�總用水量下降總用水量下降總用水量下降總用水量下降

�合計年度節省用水用藥量達合計年度節省用水用藥量達合計年度節省用水用藥量達合計年度節省用水用藥量達226226226226萬元萬元萬元萬元

�再生水中再生水中再生水中再生水中TOCTOCTOCTOC不穩定須加設不穩定須加設不穩定須加設不穩定須加設TOCTOCTOCTOC管制機制管制機制管制機制管制機制


再生水水水質紀錄

EC pH

2011/2/1 35 7.20

2011/2/2 34 6.20

2011/2/3 37 7.33

2011/2/4 41 7.85

2011/2/5 45 8.30

2011/2/6 35 6.84

2011/2/7 37 7.33

2011/2/8 31 6.94

2011/2/9 46 6.79

2011/2/10 33 7.10

2011/2/11 36 7.02

2011/2/12 34 6.70

2011/2/13 40 6.83

2011/2/14 36 7.21

2011/2/15 37 6.77

2011/2/16 36 7.15

2011/2/17 34 7.23

2011/2/18

2011/2/19

2011/2/20

K5

EC pH

2011/1/1 58 6.93

2011/1/2 34 7.21

2011/1/3 35 6.73

2011/1/4 37 7.41

2011/1/5 38 7.66

2011/1/6 41 7.72

2011/1/7 38 7.44

2011/1/8 34 7.54

2011/1/9 38 7.35

2011/1/10 37 7.69

2011/1/11 37 7.45

2011/1/12 35 7.05

2011/1/13 39 7.91

2011/1/14 40 7.45

2011/1/15 98 7.41

2011/1/16 78 7.42

2011/1/17 48 6.80

2011/1/18 57 8.35

2011/1/19 29 8.13

2011/1/20 31 7.80

2011/1/21 39 7.45

2011/1/22 33 6.89

2011/1/23 39 6.97

2011/1/24 33 7.13

2011/1/25 30 6.82

2011/1/26 30 7.68

2011/1/27 36 7.55

2011/1/28 40 6.70

2011/1/29 76 7.26

2011/1/30 82 8.05

2011/1/31 38 7.95

K5

0

100

200

300

400

500

600

100/1

/1

100/1

/2

100/1

/3

100/1

/4

100/1

/5

100/1

/6

100/1

/7

100/1

/8

100/1

/9

100/1

/10

100/1

/11

100/1

/12

100/1

/13

100/1

/14

100/1

/15

100/1

/16

100/1

/17

100/1

/18

100/1

/19

100/1

/20

100/1

/21

100/1

/22

100/1

/23

100/1

/24

100/1

/25

100/1

/26

100/1

/27

100/1

/28

100/1

/29

100/1

/30

100/1

/31

date

EC (µS/c

m)

4

5

6

7

8

9

10

100/1

/1

100/1

/2

100/1

/3

100/1

/4

100/1

/5

100/1

/6

100/1

/7

100/1

/8

100/1

/9

100/1

/10

100/1

/11

100/1

/12

100/1

/13

100/1

/14

100/1

/15

100/1

/16

100/1

/17

100/1

/18

100/1

/19

100/1

/20

100/1

/21

100/1

/22

100/1

/23

100/1

/24

100/1

/25

100/1

/26

100/1

/27

100/1

/28

100/1

/29

100/1

/30

100/1

/31

date

pH

0

100

200

300

400

500

600

100/2/1

100/2/2

100/2/3

100/2/4

100/2/5

100/2/6

100/2/7

100/2/8

100/2/9

100/2/10

100/2/11

100/2/12

100/2/13

100/2/14

100/2/15

100/2/16

100/2/17

100/2/18

100/2/19

100/2/20

date

EC (µS/cm)

4

5

6

7

8

9

10

100/2/1

100/2/2

100/2/3

100/2/4

100/2/5

100/2/6

100/2/7

100/2/8

100/2/9

100/2/10

100/2/11

100/2/12

100/2/13

100/2/14

100/2/15

100/2/16

100/2/17

100/2/18

100/2/19

100/2/20

date

pH

1月月月月 2月月月月

1月月月月

2月月月月

驗證水質穩定約驗證水質穩定約驗證水質穩定約驗證水質穩定約50us/cm、、、、優於預優於預優於預優於預期期期期(200us/cm以下以下以下以下)

驗收產水水質1. pH:5.5～8.02. 導電度:<200 µS/cm3. 總硬度:<10 mg/L as CaCO3

4. COD : <10 mg/L5. TOC : <5 mg/L6. SS :<3 mg/L 7. 濁度:<0.2 NTU

驗收產水水質1. pH:5.5～8.02. 導電度:<200 µS/cm3. 總硬度:<10 mg/L as CaCO3

4. COD : <10 mg/L5. TOC : <5 mg/L6. SS :<3 mg/L 7. 濁度:<0.2 NTU

期

望

值

PH

PH

導電度導電度導電度導電度

導電度導電度導電度導電度


0

20

40

60

80

100

120

140

160

180

200

220

240

260

280

300

320

0 1,000 2,000 3,000 4,000 5,000 6,000 7,000 8,000 9,000 10,000

處理量(M3)

總硬

度(m

g/L

as

CaC

O

3)自來水

再生水Breakthrough curve 有效交換量有效交換量有效交換量有效交換量 (面積面積面積面積)

200×400=10×8,000酸鹼再生

酸鹼再生-new

假設假設假設假設：：：：如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水

目前效益2B3T產水週期延長4hr & 混床原本每3天再生1次，使用再生水後延長為每7天再生一次。

預期效益_離子交換樹脂

效益效益效益效益：：：：樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長樹脂床再生週期延長，，，，節水節水節水節水、、、、節藥節藥節藥節藥


0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

0 1,000 2,000 3,000 4,000 5,000 6,000 7,000 8,000 9,000 10,000

處理量(M3)

操作

壓力

(kg

f/cm2 )

自來水

再生水

藥洗再生藥洗再生-new

假設假設假設假設：：：：如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水如製程用水全量使用再生水

預期效益_RO系統

現況：K5 RO CIP藥洗週期延長，節省CIP化學品耗量及降低純水設備維護成本。

效益效益效益效益：：：：RO CIPRO CIPRO CIPRO CIP藥洗週期延長藥洗週期延長藥洗週期延長藥洗週期延長，，，，節水節水節水節水、、、、節藥節藥節藥節藥


壹壹壹壹

貳貳貳貳



肆肆肆肆

參參參參


貳貳貳貳




1.1.1.1.再生水經實廠使用後驗證水質優於自來水再生水經實廠使用後驗證水質優於自來水再生水經實廠使用後驗證水質優於自來水再生水經實廠使用後驗證水質優於自來水，，，，且水質超越預且水質超越預且水質超越預且水質超越預

期期期期。。。。

2.2.2.2.再生水操作維護管制標準若再明確收斂再生水操作維護管制標準若再明確收斂再生水操作維護管制標準若再明確收斂再生水操作維護管制標準若再明確收斂((((入水入水入水入水、、、、產水水質產水水質產水水質產水水質

管制值收斂管制值收斂管制值收斂管制值收斂))))，，，，將可使再生水系統更加成熟將可使再生水系統更加成熟將可使再生水系統更加成熟將可使再生水系統更加成熟。。。。

3.3.3.3.再生水設備再生水設備再生水設備再生水設備，，，，初置所需投資金額非常高初置所需投資金額非常高初置所需投資金額非常高初置所需投資金額非常高，，，，在新水源開發不在新水源開發不在新水源開發不在新水源開發不

易之情況下易之情況下易之情況下易之情況下，，，，建議主管機關應思考將其視為水源開發建議主管機關應思考將其視為水源開發建議主管機關應思考將其視為水源開發建議主管機關應思考將其視為水源開發，，，，列列列列

入基礎建設以有效解決供水問題入基礎建設以有效解決供水問題入基礎建設以有效解決供水問題入基礎建設以有效解決供水問題。。。。

4.4.4.4.日月光已開始規劃設置再生水系統於新建廠房日月光已開始規劃設置再生水系統於新建廠房日月光已開始規劃設置再生水系統於新建廠房日月光已開始規劃設置再生水系統於新建廠房，，，，評估入水評估入水評估入水評估入水

若使用自己的排放的放流水時若使用自己的排放的放流水時若使用自己的排放的放流水時若使用自己的排放的放流水時，，，，水質將更加穩定以優化再水質將更加穩定以優化再水質將更加穩定以優化再水質將更加穩定以優化再

生水水質與操作維護成本降低生水水質與操作維護成本降低生水水質與操作維護成本降低生水水質與操作維護成本降低。。。。


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日月光使用再生水 經驗分享 -...

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