複雑構造材料の特性解析グループ

物性工学講座 量子物性学分野

教授 立花 明知講師 中村 康一助手 土井 謙太郎

1 はじめに

当研究室は 21 世紀COE プログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」―複雑系の科学

による機械工学の新たな展開―材料の複雑構造特性解析グループの中で最もミクロな領域を取り扱っ

ており第一原理量子力学シミュレーションによる複雑デバイス材料の構造物性解析や新規物質の予

測を行うための原子分子レベルの新しい基礎物理とモデルの創出を目指しているとりわけRigged QED (Quantum Electrodynamics)理論に基づく化学相互作用の新しい描像外部電場や電流存在下での非

平衡系シミュレーション第一原理電子状態計算およびＭＤによる新規複雑系デバイス材料の量子設

計制御信頼性予測を進めているなお中村講師は「電子波動関数の摂動論的アプローチによる固

体材料の振動特性解析」と題する研究課題で本 COE平成 16 年度フロンティア研究助成プログラムの

助成を受けているまた立花教授は本COE 材料グループの事業推進担当者の任を務めている

2 研究成果

平成 16 年度における本COE プログラムの助成による研究成果を以下に挙げる 21 Rigged QED理論に基づく新しい化学的相互作用描像 量子力学的質量作用の法則領域化学ポテンシャル非相等性原理量子エネルギー密度Rigged QED

理論領域密度汎関数理論に基づく化学的相互作用の新しい描像等量子的効果化学相互作用を解析

する独創的な理論を発展させた[1-6] 理論化学に関する国際会議に出席上記課題について最新の成果

の研究発表討論を行った（計２件内１件は招待講演） 22 分子系および周期系の領域密度汎関数理論計算プログラムの開発 分子系および周期系において適用される領域密度汎関数理論計算プログラムパッケージ Molecular

Regional (MR) DFT [7]Periodic Regional (PR) DFT [8]をそれぞれ開発した電子状態計算のほか電子運

動エネルギー密度電子テンション密度電子ストレステンソル密度がこれらのプログラムパッケージ

により計算できる 23 電子波動関数の摂動論的アプローチによる固体材料の振動特性解析

coupled-perturbed Hartree-Fock (CPHF)法による摂動論を応用して周期境界条件の下でのLCAO 展開波

動関数への原子変位に対する応答やエネルギー微分を計算するための定式化を行ったLiF CaF2等の周

期モデルに対して非経験的電子状態計算の結果より得られたLCAO 周期型電子波動関数からダイナミ

カル行列を計算しフォノン分散曲線を示した 24 高誘電率酸化物材料の微視的構造と誘電物性予測

Zr や Hf のシリケート酸化物[9]および Gd 酸化物[10]のクラスターモデルを導入し非経験的電子状態計算

により薄膜の微視的構造や誘電率等の電子物性をシミュレートした4 配位シリケートモデルは 4 配位 SiO2モ

デルと異なる微視的構造の特徴を与えZr や Hf の組成比が小さいシリケート薄膜においても第一原理的手

法を用いて得られる誘電率が急激に増加することが示された平成 16 年度は本研究を発展させて大型クラス

ターモデルや点電荷を組み合わせたモデルを導入し解析を行った[910] 25 シリコン酸化物と酸窒化物のアモルファス構造の伝導性 シリコン酸化膜内のリーク機構および酸窒化膜によるその抑制機構を微視的な観点から議論するため

にそれらの膜のアモルファス構造をモデル化し微視的構造と伝導性を検討した[11]アモルファス

構造をモデル化するために Noseacute の方法による定温定積の熱浴系での分子動力学法を用いさらに第一

原理計算による構造最適化を行ったうえでバンド計算の結果や状態密度量子エネルギー密度の観点

から伝導性を議論したアモルファスのシリコン酸化膜を窒化することにより窒素原子の不純物準位

第5章　研究室研究紹介

がバンドギャップ内に現れることによるキャリヤトラップの生成を示し窒化によるリーク電流の抑制

について理論的考察を行った 26 燃料電池材料における水素吸着過程

Al 原子をドープしたグラフェン層[12]やカーボンナノチューブ[13]への水素吸着過程について第一原

理計算を用いた分子動力学的研究を行った水素吸着過程においてはAl 原子グラフェン層またはカ

ーボンナノチューブおよびH 原子の相互作用により引き起こされる電荷移動が重要であることを明ら

かにしたこのことは水素原子のみの挙動を追ったポテンシャルエネルギー面からでは示すことができ

なかったことであり第一原理分子動力学法によりはじめて明らかにされたまた量子エネルギー密

度とストレステンソル密度により３物質間の結合状態についての考察を行ったその結果グラフェン

層に比べてカーボンナノチューブのようにカーボン層の曲率が大きくなるにつれて炭素原子の p 軌道

が表面に局在することにより水素吸着が引き起こされることが明らかになった さらにはDvMF 株に関する酸化型[NiFe]ヒドロゲナーゼモデルの水素分子生成反応の反応機構を提

案し可逆的な水素貯蔵が実現する可能性を示した 27 水触媒によるゲルマン分解反応の反応機構 ゲルマンガスによる CVD プロセスは新しい半導体作製技術として注目を浴びているが一方で爆発

を伴う自発分解反応の高い反応性が問題となっている本研究では水分子を触媒としたゲルマン分子の

分解反応過程に着目し非経験的電子状態計算を用いて水分子の触媒反応性および触媒水分子の回収機

構を検討した[1415]水分子触媒下の遷移状態においては水分子やその二量体により多員環構造を生じ

その構造が活性化エネルギー低下に寄与することを示したほかエネルギー障壁が著しく小さくなるア

ルコール（ゲルマノール）中間体を経由する新しい Ge 鎖生長反応経路を提案し[14]Ge 鎖生長反応が

きわめて高い反応性で進行することを明らかにした

参考文献 [1] A Tachibana ldquoSpindle Structure of the Stress Tensor of Chemical Bondrdquo Int J Quant Chem 100 (2004) 981 [2] A Tachibana ldquoA New Visualization Scheme of Chemical Energy Density and Bonds in Moleculesrdquo J Mol Model in press [3] A Tachibana in S P Baker (ed) Stress Induced Phenomena in Metallization (2002) pp 105-116 American Institute of Physics New York [4] A Tachibana in K D Sen (ed) Reviews in Modern Quantum Chemistry A Celebration of the Contributions of Robert Parr (2002) Chap 45 pp 1327-1366 World Scientific Singapore [5] A Tachibana in E J Braumlndas and E S Kryachko (eds) Fundamental World of Quantum Chemistry A Tribute to the Memory of Per-Olov Loumlwdin Vol 2 (2003) pp 211-239 Kluwer Academic Publishers Dordrecht [6] A Tachibana ldquoElectronic Energy Density in Chemical Reaction Systemsrdquo J Chem Phys 115 (2001) 3497 [7] K Nakamura K Doi and A Tachibana Molecular Regional DFT program package ver 1 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [8] K Doi K Nakamura and A Tachibana Periodic Regional DFT program package ver 2 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [9] K Nakamura K Doi K Fujitani and A Tachibana ldquoTheoretical Study on the First-Principle Dielectric Properties of Silicate Compoundsrdquo Phys Rev B 71 (2005) 045332 [10] K Doi K Fujitani N Kadowaki K Nakamura A Tachibana and T Hattori ldquoFirst-Principle Calculations of Clusters for Gadolinium Oxidesrdquo Jpn J Appl Phys in press [11] 土井謙太郎上原寛貴立花明知シリコン酸化膜と酸窒化膜のアモルファス構造の伝導性に関する第一原理計算ゲートスタック研究会－材料プロセス評価の物理－(第 10 回研究会)予稿集(2005)pp 333-338応用物理学会 [12] K Kawano K Doi H Ohta H Nakano and A Tachibana ldquoMolecular Dynamics Simulation of Hydrogen Adsorption on Graphene Layer with Activated Aluminumrdquo Phys Rev B submitted [13] Y Kawakami Y Nojima K Doi K Nakamura and A Tachibana ldquoFirst-Principle Study on Structures and Electronic Properties of Aluminum Nanowire Wrapped in Carbon Nanotuberdquo Electrochimica Acta 50 (2004) 739 [14] N Ibuta F Sagara K Doi K Nakamura A Tachibana Y Ishikawa and K Suzuki ldquoQuantum Chemical Study on Reaction Processes of Germane Molecules with Catalytic Waterrdquo Jpn J Appl Phys in press [15] 中村康一井蓋直臣相良文彦立花明知石原良夫鈴木克昌量子化学計算によるGeH4分解挙動解析真空48(2005)13

図１ 偏極（alignment と orientation）緩

和速度係数の温度依存性

物性工学講座 応用分光学分野

教授 藤本 孝助教授 蓮尾 昌裕助手 岩前 敦

1 はじめに

光は物質と密接に関連する物質が発する光を調べることによりその本質に肉薄し物質に光を作用

させることによりそのありようを制御できる本研究室が対象とする物質例えばプラズマはその中

で生起する天文学的な数の素過程の結果全体としては秩序だった単純な現象が発現するなど複雑系

の典型であるこのように本研究室は複雑集団過程そのものをおもな興味の対象としまたそれを構成

する要素過程をも研究している分光学の方法を基礎として物質のいくつかの側面について測定手法

の開拓制御法の探求をしている具体的には核融合研究用トカマクなどのプラズマに対する新たな

分光測定法の開発放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程研究媒質中を伝播する共鳴光の緩和研

究近接場光の特性を利用した新たな光測定法の開発光照射による固体の光学特性制御の研究などを

行っている

2 研究内容

21 偏光プラズマ分光プラズマに対する新たな分光測定法の開発

プラズマ中の原子イオンからの発光スペクトルを観測してプラズマの状態（密度温度など）を計

測しプラズマの中で起きている物理現象を調べる「プラズマ診断」の体系化を推し進め国際的な標

準的教科書として出版した[1]さらにその発展としてスペクトル線の強度プロファイルに加えその

偏光をも観測量とする「偏光プラズマ分光」の開拓しているこの方法は今まで多くの場合熱的分布

が仮定されてきたプラズマ中電子の速度分布関数についてその非等方性の情報をも得ることができる

のが特徴であるスペクトル線強度縦アライメント（偏光度）から励起原子の population と alignmentを評価しその alignment 生成の要因となった電子衝突励起の非等方性を通じて電子速度分布関数の非

等方性を定量的に推定することができる実験は ECR（245 GHz）放電カスププラズマTRIAM-1Mトカマクプラズマ（九州大学応用力学研究所）LHD プラズマ（核融合科学研）[2]超短パルスレーザ

によって生成されたプラズマ（原研関西研）を対象としている 22 極低温放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程のレーザー分光研究 原子間のポテンシャル特にその非等方性を評価にする

には原子間衝突による原子の偏極（alignment と orientation）緩和の温度依存性を観測することが有効である本研究室

では液体ヘリウム温度まで冷却可能な放電管を用いた偏

極緩和計測レーザー分光システムを開発し励起状態にあ

る希ガス原子の偏極緩和を調べている本年度はヘリウム

原子衝突によるネオン励起原子の orientation 緩和の詳細な

観測に成功した図１に見られるように計測された偏極緩

和速度係数は alignment と orientation ともに温度 T に対し

T 16依存性を示した[3]これは偏極緩和衝突断面積が衝突

エネルギーE に対しE11依存性を持つことに対応しその

依存性が従来用いられてきたネオンヘリウム原子間ポテ

ンシャルから量子力学的に計算された結果では再現でき

ないことが明らかになった

第5章　研究室研究紹介

23 媒質中を伝播する共鳴光の緩和計測と量子力学に基づくシミュレーション法の開発

原子イオンから放出された発光はその周りにある同種の原子イオンにより吸収再放出され観

測位置までにその時間変化偏光が変化するこのような媒質中を伝播する共鳴光の緩和は天体の分

光観測から固体中の不純物の発光観測まで原理的に影響を及ぼすにも関わらずこれまで現象論的な理

解しかなされていなかった本研究室では原子イオンによる光の放出再吸収について量子力学を

基礎とするモンテカルロ法を用いたシミュレーション法を開発しており本年度は発光強度の時間減衰

偏光の緩和まで拡張した[4]またそれらの結果の妥当性をグロー放電プラズマに対しレーザー誘起蛍

光分光法を用いた実験により確認した[4]

24 近接場光（エヴァネッセント光）と原子の相互作用研究 近接場光は誘電体表面や微小開口近傍に光の回折限界を超えて局在する光であり近年ナノ領域での

光学観測に利用されてきたその局在性や境界条件を反映して近接場光は特有の偏光波数ベクトルを

持つことが知られているしかしそれらに注目しまたそれらを利用した光学計測はこれまでなされて

こなかった本研究室では光の全反射に伴う近接場光を利用し原子の電気四重極子遷移の大きさが近

接場光の偏光波数ベクトルに依存して増大することを実験的に実証してきた[5]本年度はその詳細を

分析するとともに理論的な定式化を行った[67]さらに微小開口の近接場光による同様の効果の検出

とその新たな光測定法への応用を目指し微小開口の近接場光と原子の電気四重極子相互作用について

計算機シミュレーションを併用した研究を行っている

25 塩化第一銅薄膜の光学特性研究と光照射による制御 塩化第一銅は励起子の関わる光学特性の研究で有名な半導体である本研究室では様々な基板に真空

蒸着した薄膜やバルク試料の発光特性を調べている本年度は励起子発光スペクトルが自由励起子発光

と励起子共鳴ラマン散乱の二成分から構成されることや自由励起子発光のスペクトル形状が膜厚に依存

し薄膜内のエネルギー緩和過程を反映していると考えられることなどを見出した[8]またこれまで

長時間の光照射により新たな発光が出現することを見出したが本年度はその発光の起源が結晶中の新

たな深い束縛状態に励起子が束縛されたものによるとの知見を得た[9]

参考文献

[1] T Fujimoto Plasma Spectroscopy (International Series of Monographs on Physics 123 Oxford Scientific Publications 2004)

[2] A Iwamae M Hayakawa M Atake T Fujimoto M Goto and S Morita Polarization resolved Hα spectra from the large helical device Emission location temperature and inward flux of neutral hydrogen Phys Plasmas 12 (2005) 042501

[3] M Nimura M Hasuo and T Fujimoto Measurement of depolarization of neon excited atoms due to helium atom collisions at low temperature JPhysBAtMolOptPhys 37 (2004) 4647

[4] M Nimura T Imagawa M Hasuo and T Fujimoto Relaxation of atomic state multipoles by radiation re-absorption Neon 2p2 atoms in a discharge plasma JQuantSpectrocRad in press

[5] STojo MHasuo and TFujimoto Absorption Enhancement of an Electric Quadrupole Transition of Cesium Atoms in an Evanescent Field PhysRevLett 92 (2004) 53001

[6] S Tojo T Fujimoto and M Hasuo Precision Measurement of the Oscillator Strength of the Cs 62S12rarr52D52

Electric Quadrupole Transition in Propagating and Evanescent Wave Fields PhysRevA 71 (2005) 12507 [7] STojo and MHasuo Oscillator-Strength Enhancement of the Electric-Dipole-Forbidden Transitions in

Evanescent Light Field at Total Reflection PhysRevA 71 (2005) 12508 [8] M Hasuo A Shimamoto and T Fujimoto Exciton Luminescence Spectra of CuCl Films and Their Change by

Photo-irradiation JLumin 112 (2005) 181 [9] AShimamoto TFujiwara AIwamae TFujimoto and MHasuo Exciton Luminescence of CuCl Associated

with a New Bound State Generated by Long Time Photo-irradiation JPhysSocJpn in press

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

物性工学講座 量子物性学分野

教授 立花 明知講師 中村 康一助手 土井 謙太郎

1 はじめに

当研究室は 21 世紀COE プログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」―複雑系の科学

による機械工学の新たな展開―材料の複雑構造特性解析グループの中で最もミクロな領域を取り扱っ

ており第一原理量子力学シミュレーションによる複雑デバイス材料の構造物性解析や新規物質の予

測を行うための原子分子レベルの新しい基礎物理とモデルの創出を目指しているとりわけRigged QED (Quantum Electrodynamics)理論に基づく化学相互作用の新しい描像外部電場や電流存在下での非

平衡系シミュレーション第一原理電子状態計算およびＭＤによる新規複雑系デバイス材料の量子設

計制御信頼性予測を進めているなお中村講師は「電子波動関数の摂動論的アプローチによる固

体材料の振動特性解析」と題する研究課題で本 COE平成 16 年度フロンティア研究助成プログラムの

助成を受けているまた立花教授は本COE 材料グループの事業推進担当者の任を務めている

2 研究成果

平成 16 年度における本COE プログラムの助成による研究成果を以下に挙げる 21 Rigged QED理論に基づく新しい化学的相互作用描像 量子力学的質量作用の法則領域化学ポテンシャル非相等性原理量子エネルギー密度Rigged QED

理論領域密度汎関数理論に基づく化学的相互作用の新しい描像等量子的効果化学相互作用を解析

する独創的な理論を発展させた[1-6] 理論化学に関する国際会議に出席上記課題について最新の成果

の研究発表討論を行った（計２件内１件は招待講演） 22 分子系および周期系の領域密度汎関数理論計算プログラムの開発 分子系および周期系において適用される領域密度汎関数理論計算プログラムパッケージ Molecular

Regional (MR) DFT [7]Periodic Regional (PR) DFT [8]をそれぞれ開発した電子状態計算のほか電子運

動エネルギー密度電子テンション密度電子ストレステンソル密度がこれらのプログラムパッケージ

により計算できる 23 電子波動関数の摂動論的アプローチによる固体材料の振動特性解析

coupled-perturbed Hartree-Fock (CPHF)法による摂動論を応用して周期境界条件の下でのLCAO 展開波

動関数への原子変位に対する応答やエネルギー微分を計算するための定式化を行ったLiF CaF2等の周

期モデルに対して非経験的電子状態計算の結果より得られたLCAO 周期型電子波動関数からダイナミ

カル行列を計算しフォノン分散曲線を示した 24 高誘電率酸化物材料の微視的構造と誘電物性予測

Zr や Hf のシリケート酸化物[9]および Gd 酸化物[10]のクラスターモデルを導入し非経験的電子状態計算

により薄膜の微視的構造や誘電率等の電子物性をシミュレートした4 配位シリケートモデルは 4 配位 SiO2モ

デルと異なる微視的構造の特徴を与えZr や Hf の組成比が小さいシリケート薄膜においても第一原理的手

法を用いて得られる誘電率が急激に増加することが示された平成 16 年度は本研究を発展させて大型クラス

ターモデルや点電荷を組み合わせたモデルを導入し解析を行った[910] 25 シリコン酸化物と酸窒化物のアモルファス構造の伝導性 シリコン酸化膜内のリーク機構および酸窒化膜によるその抑制機構を微視的な観点から議論するため

にそれらの膜のアモルファス構造をモデル化し微視的構造と伝導性を検討した[11]アモルファス

構造をモデル化するために Noseacute の方法による定温定積の熱浴系での分子動力学法を用いさらに第一

原理計算による構造最適化を行ったうえでバンド計算の結果や状態密度量子エネルギー密度の観点

から伝導性を議論したアモルファスのシリコン酸化膜を窒化することにより窒素原子の不純物準位

第5章　研究室研究紹介

がバンドギャップ内に現れることによるキャリヤトラップの生成を示し窒化によるリーク電流の抑制

について理論的考察を行った 26 燃料電池材料における水素吸着過程

Al 原子をドープしたグラフェン層[12]やカーボンナノチューブ[13]への水素吸着過程について第一原

理計算を用いた分子動力学的研究を行った水素吸着過程においてはAl 原子グラフェン層またはカ

ーボンナノチューブおよびH 原子の相互作用により引き起こされる電荷移動が重要であることを明ら

かにしたこのことは水素原子のみの挙動を追ったポテンシャルエネルギー面からでは示すことができ

なかったことであり第一原理分子動力学法によりはじめて明らかにされたまた量子エネルギー密

度とストレステンソル密度により３物質間の結合状態についての考察を行ったその結果グラフェン

層に比べてカーボンナノチューブのようにカーボン層の曲率が大きくなるにつれて炭素原子の p 軌道

が表面に局在することにより水素吸着が引き起こされることが明らかになった さらにはDvMF 株に関する酸化型[NiFe]ヒドロゲナーゼモデルの水素分子生成反応の反応機構を提

案し可逆的な水素貯蔵が実現する可能性を示した 27 水触媒によるゲルマン分解反応の反応機構 ゲルマンガスによる CVD プロセスは新しい半導体作製技術として注目を浴びているが一方で爆発

を伴う自発分解反応の高い反応性が問題となっている本研究では水分子を触媒としたゲルマン分子の

分解反応過程に着目し非経験的電子状態計算を用いて水分子の触媒反応性および触媒水分子の回収機

構を検討した[1415]水分子触媒下の遷移状態においては水分子やその二量体により多員環構造を生じ

その構造が活性化エネルギー低下に寄与することを示したほかエネルギー障壁が著しく小さくなるア

ルコール（ゲルマノール）中間体を経由する新しい Ge 鎖生長反応経路を提案し[14]Ge 鎖生長反応が

きわめて高い反応性で進行することを明らかにした

参考文献 [1] A Tachibana ldquoSpindle Structure of the Stress Tensor of Chemical Bondrdquo Int J Quant Chem 100 (2004) 981 [2] A Tachibana ldquoA New Visualization Scheme of Chemical Energy Density and Bonds in Moleculesrdquo J Mol Model in press [3] A Tachibana in S P Baker (ed) Stress Induced Phenomena in Metallization (2002) pp 105-116 American Institute of Physics New York [4] A Tachibana in K D Sen (ed) Reviews in Modern Quantum Chemistry A Celebration of the Contributions of Robert Parr (2002) Chap 45 pp 1327-1366 World Scientific Singapore [5] A Tachibana in E J Braumlndas and E S Kryachko (eds) Fundamental World of Quantum Chemistry A Tribute to the Memory of Per-Olov Loumlwdin Vol 2 (2003) pp 211-239 Kluwer Academic Publishers Dordrecht [6] A Tachibana ldquoElectronic Energy Density in Chemical Reaction Systemsrdquo J Chem Phys 115 (2001) 3497 [7] K Nakamura K Doi and A Tachibana Molecular Regional DFT program package ver 1 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [8] K Doi K Nakamura and A Tachibana Periodic Regional DFT program package ver 2 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [9] K Nakamura K Doi K Fujitani and A Tachibana ldquoTheoretical Study on the First-Principle Dielectric Properties of Silicate Compoundsrdquo Phys Rev B 71 (2005) 045332 [10] K Doi K Fujitani N Kadowaki K Nakamura A Tachibana and T Hattori ldquoFirst-Principle Calculations of Clusters for Gadolinium Oxidesrdquo Jpn J Appl Phys in press [11] 土井謙太郎上原寛貴立花明知シリコン酸化膜と酸窒化膜のアモルファス構造の伝導性に関する第一原理計算ゲートスタック研究会－材料プロセス評価の物理－(第 10 回研究会)予稿集(2005)pp 333-338応用物理学会 [12] K Kawano K Doi H Ohta H Nakano and A Tachibana ldquoMolecular Dynamics Simulation of Hydrogen Adsorption on Graphene Layer with Activated Aluminumrdquo Phys Rev B submitted [13] Y Kawakami Y Nojima K Doi K Nakamura and A Tachibana ldquoFirst-Principle Study on Structures and Electronic Properties of Aluminum Nanowire Wrapped in Carbon Nanotuberdquo Electrochimica Acta 50 (2004) 739 [14] N Ibuta F Sagara K Doi K Nakamura A Tachibana Y Ishikawa and K Suzuki ldquoQuantum Chemical Study on Reaction Processes of Germane Molecules with Catalytic Waterrdquo Jpn J Appl Phys in press [15] 中村康一井蓋直臣相良文彦立花明知石原良夫鈴木克昌量子化学計算によるGeH4分解挙動解析真空48(2005)13

図１ 偏極（alignment と orientation）緩

和速度係数の温度依存性

物性工学講座 応用分光学分野

教授 藤本 孝助教授 蓮尾 昌裕助手 岩前 敦

1 はじめに

光は物質と密接に関連する物質が発する光を調べることによりその本質に肉薄し物質に光を作用

させることによりそのありようを制御できる本研究室が対象とする物質例えばプラズマはその中

で生起する天文学的な数の素過程の結果全体としては秩序だった単純な現象が発現するなど複雑系

の典型であるこのように本研究室は複雑集団過程そのものをおもな興味の対象としまたそれを構成

する要素過程をも研究している分光学の方法を基礎として物質のいくつかの側面について測定手法

の開拓制御法の探求をしている具体的には核融合研究用トカマクなどのプラズマに対する新たな

分光測定法の開発放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程研究媒質中を伝播する共鳴光の緩和研

究近接場光の特性を利用した新たな光測定法の開発光照射による固体の光学特性制御の研究などを

行っている

2 研究内容

21 偏光プラズマ分光プラズマに対する新たな分光測定法の開発

プラズマ中の原子イオンからの発光スペクトルを観測してプラズマの状態（密度温度など）を計

測しプラズマの中で起きている物理現象を調べる「プラズマ診断」の体系化を推し進め国際的な標

準的教科書として出版した[1]さらにその発展としてスペクトル線の強度プロファイルに加えその

偏光をも観測量とする「偏光プラズマ分光」の開拓しているこの方法は今まで多くの場合熱的分布

が仮定されてきたプラズマ中電子の速度分布関数についてその非等方性の情報をも得ることができる

のが特徴であるスペクトル線強度縦アライメント（偏光度）から励起原子の population と alignmentを評価しその alignment 生成の要因となった電子衝突励起の非等方性を通じて電子速度分布関数の非

等方性を定量的に推定することができる実験は ECR（245 GHz）放電カスププラズマTRIAM-1Mトカマクプラズマ（九州大学応用力学研究所）LHD プラズマ（核融合科学研）[2]超短パルスレーザ

によって生成されたプラズマ（原研関西研）を対象としている 22 極低温放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程のレーザー分光研究 原子間のポテンシャル特にその非等方性を評価にする

には原子間衝突による原子の偏極（alignment と orientation）緩和の温度依存性を観測することが有効である本研究室

では液体ヘリウム温度まで冷却可能な放電管を用いた偏

極緩和計測レーザー分光システムを開発し励起状態にあ

る希ガス原子の偏極緩和を調べている本年度はヘリウム

原子衝突によるネオン励起原子の orientation 緩和の詳細な

観測に成功した図１に見られるように計測された偏極緩

和速度係数は alignment と orientation ともに温度 T に対し

T 16依存性を示した[3]これは偏極緩和衝突断面積が衝突

エネルギーE に対しE11依存性を持つことに対応しその

依存性が従来用いられてきたネオンヘリウム原子間ポテ

ンシャルから量子力学的に計算された結果では再現でき

ないことが明らかになった

第5章　研究室研究紹介

23 媒質中を伝播する共鳴光の緩和計測と量子力学に基づくシミュレーション法の開発

原子イオンから放出された発光はその周りにある同種の原子イオンにより吸収再放出され観

測位置までにその時間変化偏光が変化するこのような媒質中を伝播する共鳴光の緩和は天体の分

光観測から固体中の不純物の発光観測まで原理的に影響を及ぼすにも関わらずこれまで現象論的な理

解しかなされていなかった本研究室では原子イオンによる光の放出再吸収について量子力学を

基礎とするモンテカルロ法を用いたシミュレーション法を開発しており本年度は発光強度の時間減衰

偏光の緩和まで拡張した[4]またそれらの結果の妥当性をグロー放電プラズマに対しレーザー誘起蛍

光分光法を用いた実験により確認した[4]

24 近接場光（エヴァネッセント光）と原子の相互作用研究 近接場光は誘電体表面や微小開口近傍に光の回折限界を超えて局在する光であり近年ナノ領域での

光学観測に利用されてきたその局在性や境界条件を反映して近接場光は特有の偏光波数ベクトルを

持つことが知られているしかしそれらに注目しまたそれらを利用した光学計測はこれまでなされて

こなかった本研究室では光の全反射に伴う近接場光を利用し原子の電気四重極子遷移の大きさが近

接場光の偏光波数ベクトルに依存して増大することを実験的に実証してきた[5]本年度はその詳細を

分析するとともに理論的な定式化を行った[67]さらに微小開口の近接場光による同様の効果の検出

とその新たな光測定法への応用を目指し微小開口の近接場光と原子の電気四重極子相互作用について

計算機シミュレーションを併用した研究を行っている

25 塩化第一銅薄膜の光学特性研究と光照射による制御 塩化第一銅は励起子の関わる光学特性の研究で有名な半導体である本研究室では様々な基板に真空

蒸着した薄膜やバルク試料の発光特性を調べている本年度は励起子発光スペクトルが自由励起子発光

と励起子共鳴ラマン散乱の二成分から構成されることや自由励起子発光のスペクトル形状が膜厚に依存

し薄膜内のエネルギー緩和過程を反映していると考えられることなどを見出した[8]またこれまで

長時間の光照射により新たな発光が出現することを見出したが本年度はその発光の起源が結晶中の新

たな深い束縛状態に励起子が束縛されたものによるとの知見を得た[9]

参考文献

[1] T Fujimoto Plasma Spectroscopy (International Series of Monographs on Physics 123 Oxford Scientific Publications 2004)

[2] A Iwamae M Hayakawa M Atake T Fujimoto M Goto and S Morita Polarization resolved Hα spectra from the large helical device Emission location temperature and inward flux of neutral hydrogen Phys Plasmas 12 (2005) 042501

[3] M Nimura M Hasuo and T Fujimoto Measurement of depolarization of neon excited atoms due to helium atom collisions at low temperature JPhysBAtMolOptPhys 37 (2004) 4647

[4] M Nimura T Imagawa M Hasuo and T Fujimoto Relaxation of atomic state multipoles by radiation re-absorption Neon 2p2 atoms in a discharge plasma JQuantSpectrocRad in press

[5] STojo MHasuo and TFujimoto Absorption Enhancement of an Electric Quadrupole Transition of Cesium Atoms in an Evanescent Field PhysRevLett 92 (2004) 53001

[6] S Tojo T Fujimoto and M Hasuo Precision Measurement of the Oscillator Strength of the Cs 62S12rarr52D52

Electric Quadrupole Transition in Propagating and Evanescent Wave Fields PhysRevA 71 (2005) 12507 [7] STojo and MHasuo Oscillator-Strength Enhancement of the Electric-Dipole-Forbidden Transitions in

Evanescent Light Field at Total Reflection PhysRevA 71 (2005) 12508 [8] M Hasuo A Shimamoto and T Fujimoto Exciton Luminescence Spectra of CuCl Films and Their Change by

Photo-irradiation JLumin 112 (2005) 181 [9] AShimamoto TFujiwara AIwamae TFujimoto and MHasuo Exciton Luminescence of CuCl Associated

with a New Bound State Generated by Long Time Photo-irradiation JPhysSocJpn in press

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

がバンドギャップ内に現れることによるキャリヤトラップの生成を示し窒化によるリーク電流の抑制

について理論的考察を行った 26 燃料電池材料における水素吸着過程

Al 原子をドープしたグラフェン層[12]やカーボンナノチューブ[13]への水素吸着過程について第一原

理計算を用いた分子動力学的研究を行った水素吸着過程においてはAl 原子グラフェン層またはカ

ーボンナノチューブおよびH 原子の相互作用により引き起こされる電荷移動が重要であることを明ら

かにしたこのことは水素原子のみの挙動を追ったポテンシャルエネルギー面からでは示すことができ

なかったことであり第一原理分子動力学法によりはじめて明らかにされたまた量子エネルギー密

度とストレステンソル密度により３物質間の結合状態についての考察を行ったその結果グラフェン

層に比べてカーボンナノチューブのようにカーボン層の曲率が大きくなるにつれて炭素原子の p 軌道

が表面に局在することにより水素吸着が引き起こされることが明らかになった さらにはDvMF 株に関する酸化型[NiFe]ヒドロゲナーゼモデルの水素分子生成反応の反応機構を提

案し可逆的な水素貯蔵が実現する可能性を示した 27 水触媒によるゲルマン分解反応の反応機構 ゲルマンガスによる CVD プロセスは新しい半導体作製技術として注目を浴びているが一方で爆発

を伴う自発分解反応の高い反応性が問題となっている本研究では水分子を触媒としたゲルマン分子の

分解反応過程に着目し非経験的電子状態計算を用いて水分子の触媒反応性および触媒水分子の回収機

構を検討した[1415]水分子触媒下の遷移状態においては水分子やその二量体により多員環構造を生じ

その構造が活性化エネルギー低下に寄与することを示したほかエネルギー障壁が著しく小さくなるア

ルコール（ゲルマノール）中間体を経由する新しい Ge 鎖生長反応経路を提案し[14]Ge 鎖生長反応が

きわめて高い反応性で進行することを明らかにした

参考文献 [1] A Tachibana ldquoSpindle Structure of the Stress Tensor of Chemical Bondrdquo Int J Quant Chem 100 (2004) 981 [2] A Tachibana ldquoA New Visualization Scheme of Chemical Energy Density and Bonds in Moleculesrdquo J Mol Model in press [3] A Tachibana in S P Baker (ed) Stress Induced Phenomena in Metallization (2002) pp 105-116 American Institute of Physics New York [4] A Tachibana in K D Sen (ed) Reviews in Modern Quantum Chemistry A Celebration of the Contributions of Robert Parr (2002) Chap 45 pp 1327-1366 World Scientific Singapore [5] A Tachibana in E J Braumlndas and E S Kryachko (eds) Fundamental World of Quantum Chemistry A Tribute to the Memory of Per-Olov Loumlwdin Vol 2 (2003) pp 211-239 Kluwer Academic Publishers Dordrecht [6] A Tachibana ldquoElectronic Energy Density in Chemical Reaction Systemsrdquo J Chem Phys 115 (2001) 3497 [7] K Nakamura K Doi and A Tachibana Molecular Regional DFT program package ver 1 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [8] K Doi K Nakamura and A Tachibana Periodic Regional DFT program package ver 2 (2004) Tachibana Lab Kyoto Univ Kyoto [9] K Nakamura K Doi K Fujitani and A Tachibana ldquoTheoretical Study on the First-Principle Dielectric Properties of Silicate Compoundsrdquo Phys Rev B 71 (2005) 045332 [10] K Doi K Fujitani N Kadowaki K Nakamura A Tachibana and T Hattori ldquoFirst-Principle Calculations of Clusters for Gadolinium Oxidesrdquo Jpn J Appl Phys in press [11] 土井謙太郎上原寛貴立花明知シリコン酸化膜と酸窒化膜のアモルファス構造の伝導性に関する第一原理計算ゲートスタック研究会－材料プロセス評価の物理－(第 10 回研究会)予稿集(2005)pp 333-338応用物理学会 [12] K Kawano K Doi H Ohta H Nakano and A Tachibana ldquoMolecular Dynamics Simulation of Hydrogen Adsorption on Graphene Layer with Activated Aluminumrdquo Phys Rev B submitted [13] Y Kawakami Y Nojima K Doi K Nakamura and A Tachibana ldquoFirst-Principle Study on Structures and Electronic Properties of Aluminum Nanowire Wrapped in Carbon Nanotuberdquo Electrochimica Acta 50 (2004) 739 [14] N Ibuta F Sagara K Doi K Nakamura A Tachibana Y Ishikawa and K Suzuki ldquoQuantum Chemical Study on Reaction Processes of Germane Molecules with Catalytic Waterrdquo Jpn J Appl Phys in press [15] 中村康一井蓋直臣相良文彦立花明知石原良夫鈴木克昌量子化学計算によるGeH4分解挙動解析真空48(2005)13

図１ 偏極（alignment と orientation）緩

和速度係数の温度依存性

物性工学講座 応用分光学分野

教授 藤本 孝助教授 蓮尾 昌裕助手 岩前 敦

1 はじめに

光は物質と密接に関連する物質が発する光を調べることによりその本質に肉薄し物質に光を作用

させることによりそのありようを制御できる本研究室が対象とする物質例えばプラズマはその中

で生起する天文学的な数の素過程の結果全体としては秩序だった単純な現象が発現するなど複雑系

の典型であるこのように本研究室は複雑集団過程そのものをおもな興味の対象としまたそれを構成

する要素過程をも研究している分光学の方法を基礎として物質のいくつかの側面について測定手法

の開拓制御法の探求をしている具体的には核融合研究用トカマクなどのプラズマに対する新たな

分光測定法の開発放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程研究媒質中を伝播する共鳴光の緩和研

究近接場光の特性を利用した新たな光測定法の開発光照射による固体の光学特性制御の研究などを

行っている

2 研究内容

21 偏光プラズマ分光プラズマに対する新たな分光測定法の開発

プラズマ中の原子イオンからの発光スペクトルを観測してプラズマの状態（密度温度など）を計

測しプラズマの中で起きている物理現象を調べる「プラズマ診断」の体系化を推し進め国際的な標

準的教科書として出版した[1]さらにその発展としてスペクトル線の強度プロファイルに加えその

偏光をも観測量とする「偏光プラズマ分光」の開拓しているこの方法は今まで多くの場合熱的分布

が仮定されてきたプラズマ中電子の速度分布関数についてその非等方性の情報をも得ることができる

のが特徴であるスペクトル線強度縦アライメント（偏光度）から励起原子の population と alignmentを評価しその alignment 生成の要因となった電子衝突励起の非等方性を通じて電子速度分布関数の非

等方性を定量的に推定することができる実験は ECR（245 GHz）放電カスププラズマTRIAM-1Mトカマクプラズマ（九州大学応用力学研究所）LHD プラズマ（核融合科学研）[2]超短パルスレーザ

によって生成されたプラズマ（原研関西研）を対象としている 22 極低温放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程のレーザー分光研究 原子間のポテンシャル特にその非等方性を評価にする

には原子間衝突による原子の偏極（alignment と orientation）緩和の温度依存性を観測することが有効である本研究室

では液体ヘリウム温度まで冷却可能な放電管を用いた偏

極緩和計測レーザー分光システムを開発し励起状態にあ

る希ガス原子の偏極緩和を調べている本年度はヘリウム

原子衝突によるネオン励起原子の orientation 緩和の詳細な

観測に成功した図１に見られるように計測された偏極緩

和速度係数は alignment と orientation ともに温度 T に対し

T 16依存性を示した[3]これは偏極緩和衝突断面積が衝突

エネルギーE に対しE11依存性を持つことに対応しその

依存性が従来用いられてきたネオンヘリウム原子間ポテ

ンシャルから量子力学的に計算された結果では再現でき

ないことが明らかになった

第5章　研究室研究紹介

23 媒質中を伝播する共鳴光の緩和計測と量子力学に基づくシミュレーション法の開発

原子イオンから放出された発光はその周りにある同種の原子イオンにより吸収再放出され観

測位置までにその時間変化偏光が変化するこのような媒質中を伝播する共鳴光の緩和は天体の分

光観測から固体中の不純物の発光観測まで原理的に影響を及ぼすにも関わらずこれまで現象論的な理

解しかなされていなかった本研究室では原子イオンによる光の放出再吸収について量子力学を

基礎とするモンテカルロ法を用いたシミュレーション法を開発しており本年度は発光強度の時間減衰

偏光の緩和まで拡張した[4]またそれらの結果の妥当性をグロー放電プラズマに対しレーザー誘起蛍

光分光法を用いた実験により確認した[4]

24 近接場光（エヴァネッセント光）と原子の相互作用研究 近接場光は誘電体表面や微小開口近傍に光の回折限界を超えて局在する光であり近年ナノ領域での

光学観測に利用されてきたその局在性や境界条件を反映して近接場光は特有の偏光波数ベクトルを

持つことが知られているしかしそれらに注目しまたそれらを利用した光学計測はこれまでなされて

こなかった本研究室では光の全反射に伴う近接場光を利用し原子の電気四重極子遷移の大きさが近

接場光の偏光波数ベクトルに依存して増大することを実験的に実証してきた[5]本年度はその詳細を

分析するとともに理論的な定式化を行った[67]さらに微小開口の近接場光による同様の効果の検出

とその新たな光測定法への応用を目指し微小開口の近接場光と原子の電気四重極子相互作用について

計算機シミュレーションを併用した研究を行っている

25 塩化第一銅薄膜の光学特性研究と光照射による制御 塩化第一銅は励起子の関わる光学特性の研究で有名な半導体である本研究室では様々な基板に真空

蒸着した薄膜やバルク試料の発光特性を調べている本年度は励起子発光スペクトルが自由励起子発光

と励起子共鳴ラマン散乱の二成分から構成されることや自由励起子発光のスペクトル形状が膜厚に依存

し薄膜内のエネルギー緩和過程を反映していると考えられることなどを見出した[8]またこれまで

長時間の光照射により新たな発光が出現することを見出したが本年度はその発光の起源が結晶中の新

たな深い束縛状態に励起子が束縛されたものによるとの知見を得た[9]

参考文献

[1] T Fujimoto Plasma Spectroscopy (International Series of Monographs on Physics 123 Oxford Scientific Publications 2004)

[2] A Iwamae M Hayakawa M Atake T Fujimoto M Goto and S Morita Polarization resolved Hα spectra from the large helical device Emission location temperature and inward flux of neutral hydrogen Phys Plasmas 12 (2005) 042501

[3] M Nimura M Hasuo and T Fujimoto Measurement of depolarization of neon excited atoms due to helium atom collisions at low temperature JPhysBAtMolOptPhys 37 (2004) 4647

[4] M Nimura T Imagawa M Hasuo and T Fujimoto Relaxation of atomic state multipoles by radiation re-absorption Neon 2p2 atoms in a discharge plasma JQuantSpectrocRad in press

[5] STojo MHasuo and TFujimoto Absorption Enhancement of an Electric Quadrupole Transition of Cesium Atoms in an Evanescent Field PhysRevLett 92 (2004) 53001

[6] S Tojo T Fujimoto and M Hasuo Precision Measurement of the Oscillator Strength of the Cs 62S12rarr52D52

Electric Quadrupole Transition in Propagating and Evanescent Wave Fields PhysRevA 71 (2005) 12507 [7] STojo and MHasuo Oscillator-Strength Enhancement of the Electric-Dipole-Forbidden Transitions in

Evanescent Light Field at Total Reflection PhysRevA 71 (2005) 12508 [8] M Hasuo A Shimamoto and T Fujimoto Exciton Luminescence Spectra of CuCl Films and Their Change by

Photo-irradiation JLumin 112 (2005) 181 [9] AShimamoto TFujiwara AIwamae TFujimoto and MHasuo Exciton Luminescence of CuCl Associated

with a New Bound State Generated by Long Time Photo-irradiation JPhysSocJpn in press

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
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• 09機械04_小寺研pdf
• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

図１ 偏極（alignment と orientation）緩

和速度係数の温度依存性

物性工学講座 応用分光学分野

教授 藤本 孝助教授 蓮尾 昌裕助手 岩前 敦

1 はじめに

光は物質と密接に関連する物質が発する光を調べることによりその本質に肉薄し物質に光を作用

させることによりそのありようを制御できる本研究室が対象とする物質例えばプラズマはその中

で生起する天文学的な数の素過程の結果全体としては秩序だった単純な現象が発現するなど複雑系

の典型であるこのように本研究室は複雑集団過程そのものをおもな興味の対象としまたそれを構成

する要素過程をも研究している分光学の方法を基礎として物質のいくつかの側面について測定手法

の開拓制御法の探求をしている具体的には核融合研究用トカマクなどのプラズマに対する新たな

分光測定法の開発放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程研究媒質中を伝播する共鳴光の緩和研

究近接場光の特性を利用した新たな光測定法の開発光照射による固体の光学特性制御の研究などを

行っている

2 研究内容

21 偏光プラズマ分光プラズマに対する新たな分光測定法の開発

プラズマ中の原子イオンからの発光スペクトルを観測してプラズマの状態（密度温度など）を計

測しプラズマの中で起きている物理現象を調べる「プラズマ診断」の体系化を推し進め国際的な標

準的教科書として出版した[1]さらにその発展としてスペクトル線の強度プロファイルに加えその

偏光をも観測量とする「偏光プラズマ分光」の開拓しているこの方法は今まで多くの場合熱的分布

が仮定されてきたプラズマ中電子の速度分布関数についてその非等方性の情報をも得ることができる

のが特徴であるスペクトル線強度縦アライメント（偏光度）から励起原子の population と alignmentを評価しその alignment 生成の要因となった電子衝突励起の非等方性を通じて電子速度分布関数の非

等方性を定量的に推定することができる実験は ECR（245 GHz）放電カスププラズマTRIAM-1Mトカマクプラズマ（九州大学応用力学研究所）LHD プラズマ（核融合科学研）[2]超短パルスレーザ

によって生成されたプラズマ（原研関西研）を対象としている 22 極低温放電プラズマを用いた励起原子の衝突過程のレーザー分光研究 原子間のポテンシャル特にその非等方性を評価にする

には原子間衝突による原子の偏極（alignment と orientation）緩和の温度依存性を観測することが有効である本研究室

では液体ヘリウム温度まで冷却可能な放電管を用いた偏

極緩和計測レーザー分光システムを開発し励起状態にあ

る希ガス原子の偏極緩和を調べている本年度はヘリウム

原子衝突によるネオン励起原子の orientation 緩和の詳細な

観測に成功した図１に見られるように計測された偏極緩

和速度係数は alignment と orientation ともに温度 T に対し

T 16依存性を示した[3]これは偏極緩和衝突断面積が衝突

エネルギーE に対しE11依存性を持つことに対応しその

依存性が従来用いられてきたネオンヘリウム原子間ポテ

ンシャルから量子力学的に計算された結果では再現でき

ないことが明らかになった

第5章　研究室研究紹介

23 媒質中を伝播する共鳴光の緩和計測と量子力学に基づくシミュレーション法の開発

原子イオンから放出された発光はその周りにある同種の原子イオンにより吸収再放出され観

測位置までにその時間変化偏光が変化するこのような媒質中を伝播する共鳴光の緩和は天体の分

光観測から固体中の不純物の発光観測まで原理的に影響を及ぼすにも関わらずこれまで現象論的な理

解しかなされていなかった本研究室では原子イオンによる光の放出再吸収について量子力学を

基礎とするモンテカルロ法を用いたシミュレーション法を開発しており本年度は発光強度の時間減衰

偏光の緩和まで拡張した[4]またそれらの結果の妥当性をグロー放電プラズマに対しレーザー誘起蛍

光分光法を用いた実験により確認した[4]

24 近接場光（エヴァネッセント光）と原子の相互作用研究 近接場光は誘電体表面や微小開口近傍に光の回折限界を超えて局在する光であり近年ナノ領域での

光学観測に利用されてきたその局在性や境界条件を反映して近接場光は特有の偏光波数ベクトルを

持つことが知られているしかしそれらに注目しまたそれらを利用した光学計測はこれまでなされて

こなかった本研究室では光の全反射に伴う近接場光を利用し原子の電気四重極子遷移の大きさが近

接場光の偏光波数ベクトルに依存して増大することを実験的に実証してきた[5]本年度はその詳細を

分析するとともに理論的な定式化を行った[67]さらに微小開口の近接場光による同様の効果の検出

とその新たな光測定法への応用を目指し微小開口の近接場光と原子の電気四重極子相互作用について

計算機シミュレーションを併用した研究を行っている

25 塩化第一銅薄膜の光学特性研究と光照射による制御 塩化第一銅は励起子の関わる光学特性の研究で有名な半導体である本研究室では様々な基板に真空

蒸着した薄膜やバルク試料の発光特性を調べている本年度は励起子発光スペクトルが自由励起子発光

と励起子共鳴ラマン散乱の二成分から構成されることや自由励起子発光のスペクトル形状が膜厚に依存

し薄膜内のエネルギー緩和過程を反映していると考えられることなどを見出した[8]またこれまで

長時間の光照射により新たな発光が出現することを見出したが本年度はその発光の起源が結晶中の新

たな深い束縛状態に励起子が束縛されたものによるとの知見を得た[9]

参考文献

[1] T Fujimoto Plasma Spectroscopy (International Series of Monographs on Physics 123 Oxford Scientific Publications 2004)

[2] A Iwamae M Hayakawa M Atake T Fujimoto M Goto and S Morita Polarization resolved Hα spectra from the large helical device Emission location temperature and inward flux of neutral hydrogen Phys Plasmas 12 (2005) 042501

[3] M Nimura M Hasuo and T Fujimoto Measurement of depolarization of neon excited atoms due to helium atom collisions at low temperature JPhysBAtMolOptPhys 37 (2004) 4647

[4] M Nimura T Imagawa M Hasuo and T Fujimoto Relaxation of atomic state multipoles by radiation re-absorption Neon 2p2 atoms in a discharge plasma JQuantSpectrocRad in press

[5] STojo MHasuo and TFujimoto Absorption Enhancement of an Electric Quadrupole Transition of Cesium Atoms in an Evanescent Field PhysRevLett 92 (2004) 53001

[6] S Tojo T Fujimoto and M Hasuo Precision Measurement of the Oscillator Strength of the Cs 62S12rarr52D52

Electric Quadrupole Transition in Propagating and Evanescent Wave Fields PhysRevA 71 (2005) 12507 [7] STojo and MHasuo Oscillator-Strength Enhancement of the Electric-Dipole-Forbidden Transitions in

Evanescent Light Field at Total Reflection PhysRevA 71 (2005) 12508 [8] M Hasuo A Shimamoto and T Fujimoto Exciton Luminescence Spectra of CuCl Films and Their Change by

Photo-irradiation JLumin 112 (2005) 181 [9] AShimamoto TFujiwara AIwamae TFujimoto and MHasuo Exciton Luminescence of CuCl Associated

with a New Bound State Generated by Long Time Photo-irradiation JPhysSocJpn in press

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
• 08機械04_宮崎研pdf
• 09機械04_小寺研pdf
• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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23 媒質中を伝播する共鳴光の緩和計測と量子力学に基づくシミュレーション法の開発

原子イオンから放出された発光はその周りにある同種の原子イオンにより吸収再放出され観

測位置までにその時間変化偏光が変化するこのような媒質中を伝播する共鳴光の緩和は天体の分

光観測から固体中の不純物の発光観測まで原理的に影響を及ぼすにも関わらずこれまで現象論的な理

解しかなされていなかった本研究室では原子イオンによる光の放出再吸収について量子力学を

基礎とするモンテカルロ法を用いたシミュレーション法を開発しており本年度は発光強度の時間減衰

偏光の緩和まで拡張した[4]またそれらの結果の妥当性をグロー放電プラズマに対しレーザー誘起蛍

光分光法を用いた実験により確認した[4]

24 近接場光（エヴァネッセント光）と原子の相互作用研究 近接場光は誘電体表面や微小開口近傍に光の回折限界を超えて局在する光であり近年ナノ領域での

光学観測に利用されてきたその局在性や境界条件を反映して近接場光は特有の偏光波数ベクトルを

持つことが知られているしかしそれらに注目しまたそれらを利用した光学計測はこれまでなされて

こなかった本研究室では光の全反射に伴う近接場光を利用し原子の電気四重極子遷移の大きさが近

接場光の偏光波数ベクトルに依存して増大することを実験的に実証してきた[5]本年度はその詳細を

分析するとともに理論的な定式化を行った[67]さらに微小開口の近接場光による同様の効果の検出

とその新たな光測定法への応用を目指し微小開口の近接場光と原子の電気四重極子相互作用について

計算機シミュレーションを併用した研究を行っている

25 塩化第一銅薄膜の光学特性研究と光照射による制御 塩化第一銅は励起子の関わる光学特性の研究で有名な半導体である本研究室では様々な基板に真空

蒸着した薄膜やバルク試料の発光特性を調べている本年度は励起子発光スペクトルが自由励起子発光

と励起子共鳴ラマン散乱の二成分から構成されることや自由励起子発光のスペクトル形状が膜厚に依存

し薄膜内のエネルギー緩和過程を反映していると考えられることなどを見出した[8]またこれまで

長時間の光照射により新たな発光が出現することを見出したが本年度はその発光の起源が結晶中の新

たな深い束縛状態に励起子が束縛されたものによるとの知見を得た[9]

参考文献

[1] T Fujimoto Plasma Spectroscopy (International Series of Monographs on Physics 123 Oxford Scientific Publications 2004)

[2] A Iwamae M Hayakawa M Atake T Fujimoto M Goto and S Morita Polarization resolved Hα spectra from the large helical device Emission location temperature and inward flux of neutral hydrogen Phys Plasmas 12 (2005) 042501

[3] M Nimura M Hasuo and T Fujimoto Measurement of depolarization of neon excited atoms due to helium atom collisions at low temperature JPhysBAtMolOptPhys 37 (2004) 4647

[4] M Nimura T Imagawa M Hasuo and T Fujimoto Relaxation of atomic state multipoles by radiation re-absorption Neon 2p2 atoms in a discharge plasma JQuantSpectrocRad in press

[5] STojo MHasuo and TFujimoto Absorption Enhancement of an Electric Quadrupole Transition of Cesium Atoms in an Evanescent Field PhysRevLett 92 (2004) 53001

[6] S Tojo T Fujimoto and M Hasuo Precision Measurement of the Oscillator Strength of the Cs 62S12rarr52D52

Electric Quadrupole Transition in Propagating and Evanescent Wave Fields PhysRevA 71 (2005) 12507 [7] STojo and MHasuo Oscillator-Strength Enhancement of the Electric-Dipole-Forbidden Transitions in

Evanescent Light Field at Total Reflection PhysRevA 71 (2005) 12508 [8] M Hasuo A Shimamoto and T Fujimoto Exciton Luminescence Spectra of CuCl Films and Their Change by

Photo-irradiation JLumin 112 (2005) 181 [9] AShimamoto TFujiwara AIwamae TFujimoto and MHasuo Exciton Luminescence of CuCl Associated

with a New Bound State Generated by Long Time Photo-irradiation JPhysSocJpn in press

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
• 08機械04_宮崎研pdf
• 09機械04_小寺研pdf
• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

材料強度物性学講座 材料物性学分野

教授 北村 隆行講師 梅野 宜崇助手 平方 寛之

1 微小材料の変形破壊に関するマルチスケールメカニクス

材料はスケールによって原子転位や格子欠陥結晶粒などの特徴的な内部構造を有しており力学特性

はそれら要素の相互作用によって生み出されるしたがってその体系的な理解にはマルチスケールアプロ

ーチが必要である本研究室では微小材料の強度特性を明らかにすることを目的としてサブミクロンからナ

ノスケールの薄膜細線等の微小要素およびその界面の力学挙動についての実験解析を行っている原子

間力顕微鏡を用いたサブミクロン微小要素のはく離実験ナノ材料の界面破壊についてのその場観察実験お

よび分子動力学シミュレーション量子力学電子原子解析によるナノ薄膜やカーボンナノチューブ等の原子

構造体の変形解析などにより微小材料の力学についてのマルチスケールアプローチを行っている

2 主な研究内容

21 第一原理解析によるナノ材料

の理想構造強度解析 製造技術の進

歩によりナノスケールの微小構造材料

の製造が可能になっておりこれらの

材料を用いたデバイスなどの開発が

期待されている材料が原子レベルで

構造を有することによりマクロな構造

材料とは異なる物理特性が観察される

本研究室では原子構造体の強度特

性を理解するために材料を構成する

基本となる理想的な低次元構造体に

均一な負荷を加えた際の不安定変形

開始応力（理想構造強度）の第一原理

解析（量子力学に基づく解析）による

厳密な評価を行っているこれにより

ナノスケール原子構造材料の基礎と

なる強度特性を求めることができる

図 1 はSi ナノ薄膜の引張り変形に対

する理想構造強度を第一原理計算に

より評価をした結果を示している膜

厚の違いにより不安定変形の様相が

異なることが明らかになった図 2 は

単層カーボンナノチューブの引張り変

形における理想構造強度を第一原理計算により評価した結果を示しているまた本研究室ではこの他にも銅

ナノ薄膜の理想構造強度解析SiC の構造の違いが強度に与える影響の評価MEMS などの先端デバイスに

広く用いられている圧電材料の物理特性評価など様々なシミュレーションを行っている

膜厚の異なる Si ナノ薄膜の変形に対する電子原子構造の変化 図 1 Si ナノ薄膜の理想構造強度解析

第5章　研究室研究紹介

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

22 多層ナノ薄膜微小構造体の強度実験方法の開発 先進電子デバイスやマイクロマシンにはサブミクロ

ンからナノメートルオーダの構造体が用いられている様々な要素を組み合わせることによって多様な機能を

実現することができるがこれにより生じる異材界面には応力が集中し複雑な破壊が進行する本研究室では

多層ナノ薄膜や微小構造体の界面強度評価試験とそれに基づく力学解析により界面強度特性を力学的に

明らかにする研究をしている図 3 は本研究室で開発した原子間力顕微鏡（AFM）を利用した微小構造体の

界面強度評価試験を示している基板上に付着させた微小島構造体に制御された荷重を付加し構造体を基

板からはく離させることができる実験結果に基づく詳細な力学解析により強度を支配する力学法則について

検討している（図4）また図5は透過型電子顕微鏡内でのその場観察界面はく離実験を示したものである

本実験システムはき裂が発生伝ぱする様子を明確に観察することができるだけでなく試験荷重の測定が

可能であるその他サブミクロン薄膜界面の疲労やクリープによる安定き裂伝ぱに関する研究も行っている

図 3 微小島構造体の界面強度実験

図 4 界面はく離発生時の応力分布 図 5 その場観察界面き裂発生伝ぱ試験

(a) 電子密度分布の変化 （ｂ）応力－ひずみ関係 図 2 単層カーボンナノチューブの理想構造強度解析

航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
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• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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航空宇宙基礎工学講座 構造強度学分野

講師 小川 欽也助手 野島 武敏教務職員 杉山 文子

1 はじめに

構造強度学分野では固体材料構造物の強度に関連した諸問題の研究を行っている研究テーマ

として(1)格子や連続体における波動や振動などの非線形現象(2)ソリトンや離散ブリーザーのよう

な局在構造およびカオス現象の関与する非線形動力学の基礎と応用(3)折り畳み展開構造物の創生と

その力学的挙動(4)高速変形下における材料の構成式および破壊則(5)柔軟軽量飛行体の動的特性と

構造流体連成解析などを取り扱っている何れの研究テーマも材料や構造物の力学的問題に関連してお

り理論解析数値シミュレーションおよび実験によって考究している本報告ではこれらの研究テ

ーマの中から特に(2)(3)(5)に関連した研究について紹介する

2 研究概要

21 超軽量コア構造創生への折り紙工学の応用 現在最も実用化が進んでいる軽量コアは六角形による平面充填形を有するハニカムコアであるハニカ

ムと言う呼称は蜂の巣状六角柱の集合体を意味するものであったが今日では小さなセルに仕切られたコア

構造全体を指す言葉として用いられているこのようなハニカムコアの製造方法としては展張式とコルゲート

式という二つの製造方式が確立されているが我々は加工工程を画期的に短縮できる新しいハニカムコアの

創生を折り紙工学に基づいて行っている一例を

図１には周期的にスリットを入れた一枚の紙ま

たは板を折りたたむことによってハニカムコアを

作り出す方法を示す この方法を使うと一枚の板から機械的な折り曲げ

のみによって製作できるさらに(c)の段階で薄

板に空けるスリットの形や折線の角度を工夫する

ことによってパネルの厚みの変化する複雑な形

状のハニカムコアも一枚の板から製作することが

できる図２に完成した折り紙モデルとそのチャー

トを示す サンドイッチパネルにする際従来のハニカムコア

では接着面が板厚しかないため多量の接着剤 が必要となった図２はスリットの形を長方形にす ることによって面材との接着面を持たせたモデル であるまたこのモデルでは折り曲げ部に余裕を持

たせることができるためより厚い金属板や複合材

などでの整形も可能である 22 非線形格子における局在モードの解析 原子分子スケールでの結晶構造のモデルとし

て離散格子モデルを取り上げ相互作用に非線形

性を考慮した非線形格子モデルにおけるエネルギ

ー局在化現象(Intrinsic Localized ModesILMs)を解

析しているILMは非線形格子に特有の局在現象

であり非可積分系多次元系でも出現しうるな

どの特徴を有しておりさまざまな分野での応用

(c)のように周期的にスリットを入れた薄板を(b)のよう

に波型に折り折線にそってジグザグに折りたたんでいく

ことで六角形型ハニカムコアを製作する(ｃ)において太

線がスリット実線は山折り線破線は谷折り線を表す

(a) (b)

(c)

図１ハニカムコアの折り紙工学的製造法

図２ 翼型コアの製作

第5章　研究室研究紹介

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
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• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

が期待される現在は非線形動力学の視点に基づいた

ILM同士や格子スケールの構造との相互作用などの素過

程の基礎的な解析また固体結晶中でのミクロスケールな

現象への適用を目指した応用的な解析も行っている 基礎的解析としてはILM同士の衝突の解析ILMと不純

物構造の境界面との衝突相互作用などを解析しILM間のエネルギー交換構造上での共鳴現象などソリトン

などの他の非線形波動では見られない興味深い現象を観測

している 一方応用的な解析としてILM励起のメカニズムの解

析及び格子間の相互作用ポテンシャルの形状がILMの性

質に与える影響を調べているこれまでILMは数値解析に

よって得られた解を天下り的に利用することによって解析が行われてきており物理的にどのように励

起されうるかについては調べられていない数値解析により非線形格子系では非平衡状態からの緩和過

程において一度エネルギーが局在しその局在が崩壊することによって熱平衡状態が実現されるとい

うプロセスが存在することを確かめたまた相互作用ポテンシャルの形状が緩和時間に影響を与えること

が明らかになった今後はこれらの影響について素過程の立場からの解析および集団的な振る舞いの

解析をあわせることによって緩和過程におけるエネルギー局在脱局在現象の定式化を行いたい 23 ジャンピングバルーンのカオス運動

航空機の離着陸時の騒音排気ガスの放散など

を抑制することは容易ではなくまた都市近郊から

離れた空港へのアクセス路の確保も益々困難にな

ってきているこのような観点から垂直離着陸が容

易に行えその際の環境への負荷が極めて低い環

境に優しい飛行システムとして気球や飛行船が改め

て注目を浴びている従来飛行船気球は浮力に

よって重力を支え水平方向の運動はプロペラ等の

別途に設けた推進装置によって実現してきたしか

しながら重力場での上下方向運動は媒質からの揚 力抗力を浮遊体に及ぼすからこれを水平方向の運動の駆動力として利用することが可能である我々は

上下方向の運動を継続的に行えるシステムとして浮遊体にバランシングロープ(BR)と名付けた線状の分布質

量系を付帯させることを考案しこれを駆動操作することによって重力を変化させ浮遊体の上下方向運動を

実現できることを示してきた本年ではBR を多数のリンクとして表現し柔軟性と大変形性に基づく非線形運

動解析を行うとともにそれがシステムに及ぼす効果について数値シミュレーションによる解明を行った多自

由度を有するリンクの運動は強い非線形性とあいまってカオス的な挙動を示すことが予測できる図 5 には下

端が地表にまで達する長さの BR を上下に運動させ続けた際の球形気球の横方向への運動を示すごく僅か

の初期条件の違いによって BR の地面との接地状況が変化し時間の経過とともにカオス的に予測不可能な

状況になる今後は扁平な気球に生じる揚力抗力を利用し水平運動が可能となるグライダーバルーンにつ

いても明らかにしてゆく

参考文献

[1] 土井祐介｢非線形における格子スケールのエネルギー局在現象｣第 6 回航空宇宙材料フォーラム講演

要旨集59-66（2004） [2] 構造工学ハンドブック矢川元基編｢折紙針金構造｣948-958（2004）丸善 [3] KOgawaSOhuchida Dynamic response of a newly developed ballooning lsquoThe advanced Jumping BalloonrsquoPBE2004(2004)

-2

-15

-1

-05

0

05

1

15

0 200 400 600 800 1000 1200

x(m)

time(s)

ω=-0002(rads)ω=-0001(rads)ω=0000(rads)ω=0001(rads)ω=0002(rads)

図３ 格子系の模式図

図４ ILM の模式図

図5 球形気球の横方向運動

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

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冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

メゾスコピック物性工学講座

教授 木村健二助教授 鈴木基史助手 中嶋薫

1 はじめに本研究室ではイオンビームと固体表面との相互作用に関する基礎研究それを応用したメゾスコピックな領域での固体の構造解析よく制御された微小な構造や形態をもつ薄膜の創製やその性質に関する研究等をおこなっているここではそれらの研究の中からいくつかの研究を紹介する

2 KCl表面からの 2次イオン放出に関する研究イオンを固体表面に照射した時に起こるさまざまな現象のうちで2イオンの放出は 2次イオン質量分析法等のいろいろな応用技術の基礎となる現象であり広く研究が行われている通常はイオンと固体原子の弾性散乱の結果2次イオンの放出が生じるが固体の電子励起から 2次イオンの放出が生じることも知られているこの電子励起誘起 2次イオン放出については電子励起の大きさと 2次イオンの放出数の関係を調べることによりそのメカニズムが議論されているしかしながら電子励起誘起の 2次イオン放出のみを取り出して観測することが難しいために精密な議論を困難にしている高速のイオンを結晶表面にすれすれの角度で入射するとイオンは表面の原子と小角散乱を繰り返して結晶表面で反射することが知られているこの現象はイオンの鏡面反射と呼ばれこのときイオンは固体内の電子を励起するが表面の原子との弾性散乱は無視できるこの鏡面反射現象を利用すると電子励起誘起の 2次イオン放出現象のみを分離して観測することが可能となり電子励起誘起の 2次イオン放出現象のメカニズム解明が期待できるそこで6 MeVの Si3+

イオンを KCl(001)表面にさまざまな角度で入射させて鏡面反射するときに放出される各種の 2次イオンの収量を測定したこの結果からSiイオンがKCl表面を通過する際に単位距離進む間の 2次イオンの放出数を求めることができることを示すことができた得られた結果から表面から約 02 nm以上離れると 2次イオンをほとんど放出しないことがわかり2次イオン放出のメカニズムを議論するうえで有用な情報が得られた今後は入射イオンの種類やエネルギー標的結晶の種類等を変えた実験を行う予定である

3 斜入射スパッタリング援用高分解能RBS法の開発本研究室で開発した高分解能ラザフォード後方散乱法（高分解能 RBS）は定量性の良い組成分析が原子レベルの深さ分解能で非破壊的に短時間で可能となることからいろいろな分野への応用が進められているHRBSの深さ分解能は表面付近では非常に優れているが深い領域を分析する際には深さ分解能が劣化することが知られている深い領域でも優れた分解能を実現するために表面層を一様に削り取り分析したい領域を表面近くに近づけてから高分解能で分析する手法の開発を行った表面層を削り取りながらその場で高分解能 RBS測定ができるように表面層の除去法にはイオンビームスパッタリングを採用したイオンビームスパッタリングにより分析したい領域にダメージなどの影響を与えないためには飛程の短い低エネルギーの重イオンが有利であるので05ndash1 keVの Xe+イオンを使用したさらにダメージを低減するため75度の入射角でスパッタリングを行ったまたイオンの照射中は試料を表面に垂直な軸の周りに回転させて表面の荒れを防ぐようにしたこの方法によってALCVD法で作成した HfO2(10nm)Siの試料の表面層をイオンビームスパッタリングにより削り取ったところ表面から 3 nm以上深い領域にはほとんどダメージを与えずに表面層を取り除くことができた表面層を 7 nm削り取った後にその場で高分解能 RBS測定を行ったところHfO2と Siの界面に 05 nm程度のSiO2層が存在していることが明瞭に観測できたこのことにより斜入射スパッタリング援用高分解能 RBS法の有用性が示された今後はさまざまな試料に対してこの手法を適用して行く予

第5章　研究室研究紹介

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

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05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

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演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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 SVE 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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

1 microm

SiO

2S

iO2

図 1 SiO2雛型層の表面のSEM像矢印はSiO2

の蒸着方向を示す蒸着角は 82右上の挿入図はAgを蒸着後の試料表面の SEM像このときのAgの蒸着角は 75であった

00

05

10

05 10 15 20 25 30 35 40

abso

rban

ce

photon energy (eV)

s-polarizedp-polarized

図 2 図 1と同じ条件で作製した試料の吸光度スペクトルs- p-偏光はそれぞれ SiO2 Agの蒸着面に対して垂直平行に振動する偏光である

定である

4 動的斜め蒸着によるAgナノ粒子アレイの作製と局所プラズモン特性に関する研究真空蒸着によって薄膜を形成する際基板を蒸発源に対して斜めに配置してその姿勢を変化させることによって内部に螺旋やジグザグなど様々な形のナノコラム構造をもつ膜を形成することができる我々はこの技術を応用し扁長な形のAgナノ粒子を長軸の方向をそろえて高密度に配置したナノ粒子アレイをエッチングリソグラフィその他の前後処理を用いずに直接形成することに成功した具体的にはまずガラスや Siなどの平坦な基板に SiO2を蒸着角 70 minus 85で斜め蒸着するその際 SiO2が厚さ 10 nm程度堆積するごとに基板の面内方位を 180反転させるこのような連続 2方向斜め蒸着によって成膜した膜の表面には蒸着粒子の入射面に垂直な方向に細長くのびたバンドル構造が形成されるこのバンドル構造をひな形としてその上にやはり斜めの方向からAgを蒸着することによって細長くのびたナノ粒子を形成する図 1にこの方法で作製した薄膜の表面の SEM像を示す幅数 10ndash100 nmの細長いバンドルが形成されていることがわかる画像解析によって得られたテクスチャアスペクト比はおよそ 2であった図 2はAgナノ粒子アレイの吸光度スペクトルであるAgナノ粒子の局所プラズモンに起因する吸光度のピークが明確に入射偏光に依存しており大きな二色性を示すことがわかる近年貴金属ナノ粒子の局所プラズモンは光通信や分子センサとして注目されており本技術で作製したAgナノ粒子アレイの有用性についても検討していく予定である

5 反応斜め堆積法 (ROAD)の提案通常形態制御のための斜め蒸着は付着した粒子が激しく拡散せずシャドウイングの効果が優勢な条件で行われるしかしながら蒸着された粒子の拡散が膜表面の結晶面に強く依存する場合斜め蒸着によって特定の結晶相を選択的に成長させることができる可能性があるさらに基板との反応を伴いながら成長する薄膜では成長初期に形成されるクラスタの組成と反応性がが密接な関係を持っているため通常の成膜では成長困難な組成相を選択的に成長させることがきるかもしれない我々はこの考えを近年次世代オプトロニクスデバイスの材料として注目されている Feシリサイドの成膜に応用した470 Cに加熱した Si上に Feを 85の方向から蒸着すると基板垂直方向から堆積した場合に比べて Feと Siの反応が抑制されることを見いだした今後さらに検討を重ねROADを薄膜成長技術の一つとして確立したいと考えている

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

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ltFEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006e00e40072002000640075002000760069006c006c00200073006b0061007000610020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006d006500640020006800f6006700720065002000620069006c0064007500700070006c00f60073006e0069006e00670020006f006300680020006400e40072006d006500640020006600e50020006200e400740074007200650020007500740073006b00720069006600740073006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e0020006b0061006e002000f600700070006e006100730020006d006500640020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006100720065002egt KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

バイオマイクロシステム工学分野

教授 井手 亜里

1 はじめに

加工寸法分析領域が原子分子レベルに達している現在ではその加工手段として原子分子光子

ビームを使わざるを得ない本研究室ではイオンマイクロビーム放射光マイクロビームを用いた従来

の精密加工分析の応用を機械電子材料だけではなく生体機能やバイオテクノロジーに対しても行い

統一的視野に立った研究を行う

2 主な研究テーマ

21 超高解像度スキャナ用材料推定システムの開発 スキャナは平面画をデジタル化するのに適したデバイスです被写体の真の色情報は被写体の分光反射

率で表すことができこれは物体に固有のものです被写体の分光反射率を知ることが出来れば正確

な色再現ができるだけでなく被写体の材料特性まで知ることができる可能性がありますそこで本研

究では材料推定システムを備えた超高解像度スキャナの開発を目指しその中の材料推定システムを

構築することを目的としますこのシステムは非破壊非接触であるため文化財の修復や医療の現場で

役立つと考えられます

22 イオンビーム加工による次世代プラズマディスプレイ材料開発 プラズマディスプレイにおいて電極を覆う誘電体を保

護する保護膜は重要な役割を果たしますそのため保

護膜に求められる性質は多岐に渡ります現在保護膜材

料にはMgOが用いられていますがこの保護膜ひいては

保護膜材料の開発はプラズマディスプレイの改良におい

て不可欠な要素です特に省エネルギー化においては保

護膜の特性が大きな影響を持ちますそこで本研究では

新しい保護膜材料の開発とその製膜法を確立すべく保

護膜材料としてMgOに様々な添加物を加えたものを用い

製膜分析を行っています

イオンビーム加工蒸着装置

23 表面二次電子放出比測定装置設計開発 プラズマディスプレイをはじめとする放電を利用した技

術ではその放電効率を上げるために表面二次電子を利

用します表面二次電子が多いほどより効率よく放電を

行えるためさまざまな方法で材料開発が進められてい

ます開発した二次電子放出装置測定装置ではイオン

ビームを使って直接的に材料の表面二次電子放出比を簡

便に測定することができるため材料開発に大きく寄与

すると期待されていますまたこの装置を使ってまだ

未知な部分が多い表面二次電子放出の機構について研究

を行っています

二

次電子放出比測定装置

第5章　研究室研究紹介

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
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• 09機械04_小寺研pdf
• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

24 電子ディスプレイ用の透明電極薄膜材料の開発 現在電子ディスプレイやフラットディスプレイパネル(FDP) に使用される透明電極薄膜には一般に

ITO が用いられていが非常に高価でありまた今後急速に増える需要に供給が追いつかなくなる可能

性があるそこで価格の安いZnO を用い透明電極として良質な薄膜を得ることまた生産性を考慮

した最適な加工プロセスを開発することの2 点を目的として透明電極材料の開発を進めている加工プ

ロセスとしてはドライプロセスである真空蒸着法とスパッタリング法を採用し加工時間コスト面か

ら両者を比較検討する

3 研究論文

[1] ldquoTitanium release from implants prepared with different surface roughness- An in vivo and

in vitrostudyrdquo Ann Wennerberg Ari Ide Ektessabi Shingo Hakamata Takashi Sawase Carina

JohanssonTomas Albrektsson Anna Marrtinelli Ulf Sodenvall Hans Odelius Clinical Oral Implant

Research 15502ndash 512 (2004)

[2] ldquoDry processing of thin fi lm capacitors arrays using ion beam assisted depositionrdquo Ari

Ide-EktessabiHiroki Uehara and Susumu Kamitani Thin Solid Films 447ndash 448 388ndash 391 (2004)

[3] ldquoIon beam processing of MgO thin fi lmsrdquo Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura Nobuto Yasui

and YujiTsukuda Thin Solid Films 447ndash 448 383ndash 387 (2004)

[4] ldquoCharacteristics of ion beam modifi ed magnesium oxide fi lmsrdquo Nobuto Yasui Hiroshi Nomura

and AriIde-Ektessabi Thin Solid Films 447ndash 448 377ndash 382 (2004)

[5] ldquoCharacteristics of indium tin oxide thin films prepared using electron beam evaporationrdquo

Mika Yamaguchi Ari Ide-Ektessabi Hiroshi Nomura and Nobuto Yasui Thin Solid Films 447ndash 448

115ndash 118(2004)

[6] ldquoDistribution and chemical state analysis of iron in the Parkinsonian substantia nigra using

synchrotronradiation Microbeamsrdquo Ari Ide-Ektessabi Takuo Kawakami Frank Watt Nuclear Inst

and Methods inPhysics Research B 213 590ndash 594 (2004)

[7] ldquoApplication of synchrotron radiation microbeams to environmental monitoringrdquo Ari

Ide-EktessabiKoyo Shirasawa Akio Koizumi Miki Azechi Nuclear Instrument and Methods in

Physics Research B213 761ndash 765 (2004)

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
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• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

機械材料力学講座 連続体力学分野

教授 北條 正樹助教授 安達 泰治助手 田中 基嗣

1 はじめに

本研究室ではバイオナノ技術の融合による新たなスマート材料構造と機能創製を目的として

複雑な階層構造を持つ対象をマルチスケールメカニクスの視点から検討している基礎となるのは力学

的に優れた機能を有する先進複合材料のメゾナノ構造の評価最適構造制御手法であるが本21世紀

COE プログラムを機に生体組織細胞の持つ自己診断性や修復性環境適応性の研究さらには細胞

システムと人工システムの融合マイクロバイオメカニクスの研究を重点的として展開している最終的

にはこれらの集合システムとしてのふるまいを組織レベルにまで階層的に数理モデル化し構造と機

能の設計原理を明らかにするとともに具体的に材料にセンサ機能とアクチュエータ機能を組み込み

自ら力学的環境を感知して適応し損傷を修復する人工材料創製の原理を探ることを目的としている

2 骨細胞ネットワークを考慮した骨梁表面リモデリングシミュレーション

骨リモデリングの本質的なメ

カニズムである微視的な細胞

活動と巨視的な組織構造変化を

力学因子を介して関連付けるシ

ステムの一つとして骨基質内

部に存在する骨細胞が形成する

細胞間ネットワークが考えられ

る骨細胞はメカノセンサーと

して働き感知した力学情報を周囲の細胞に伝達する機能を有すると考えられるこれに応じて骨表

面に存在する骨芽細胞破骨細胞の活動すなわちリモデリング活動が調整される骨細胞による刺激

感知および力学情報伝達の現象を数理モデル化することにより骨リモデリングを考える上での重要な一

つの指針となり得る骨梁レベルの応力一様化をもたらすメカノシステムについて考察した（図１）

まず骨細胞による刺激感知と情報伝達についてのプロセスについて記述するとマクロな力学的負

荷に伴い骨基質が変形し骨細管および骨小腔の内部を満たす間質液の圧力勾配に起因して骨細管内で

間質液の流れが生じ骨細胞の突起表面にせん断応力が作用する骨細胞はこれを感知するメカノセ

ンサーとして働きさらに骨細胞が感知した刺激情報は周囲の細胞へと伝達される次にミクロス

ケールにおいて軸方向に垂直な断面積が一定とした骨細管および細胞突起が同心円管状に配置されて

いるものと仮定し１本の骨細管内の平均流速ベクトルを得るとともに細胞突起上に作用するせん断

応力を導いたこれを用いて骨細胞が細胞突起を介して直接的に感知する力学的刺激量を決定すると

もに周囲の骨細胞から受け取る力学的刺激量の情報をモデル化し骨形成及び吸収を定量的に決定し

たさらに骨梁表面移動を表現する方法としてはVoxel有限要素法を用いた計算機シミュレーション

手法を適用した

図２にZ字型骨梁のついて上下方向に圧縮を受ける二次元モデルの形状変化を示した Z字の斜交部で

応力が高くなり特に曲げで強い圧縮応力を受けるZ字の鋭角部で太さを増したその後も斜交部の圧縮

側で応力勾配が高く内側に骨梁表面が移動したまた引張り側では圧力勾配が小さくなり負の表面

移動が生じた最終的に100ステップで荷重方向

に一本の骨梁が形成されたこのリモデリングの

概要は従来の表面応力一様化則の結果と類似で

あるが本シミュレーションでは表面に特徴的な

凹凸が形成されたこの凹凸はリモデリング平衡

Mechanical loadingEH( H Vf ) σ (x)

ε (x)KH( H Vf ) V(x)P(x) v

τ T(x)S(x)w(L)

Bone formation andor resorption ( )ampM x

( i ) Macro-scale ( Homogenized ) ( ii ) Micro-scale ( iii ) Interstitial fluid scale

x

y

図１ 骨細胞ネットワークにおけるメカノセンサーシステムモデル

図２ 圧縮荷重下での骨梁表面のリモデリング

第5章　研究室研究紹介

状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
• 08機械04_宮崎研pdf
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• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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状態を維持するのに重要な役割を果たす駆動力をもたらすものと考えられる

3 生体組織マトリクスの変形損傷場と細胞ネットワークの相互作用

骨基質内に存在する骨細胞は骨梁に対する力学的負荷にともなう骨基質（生体組織マトリクス）の

変形損傷場を感知しギャップジャンクションにより形成した骨細胞ネットワークにより情報を伝達

すると考えられている骨細胞の詳細な力学的刺激感知情報伝達メカニズムの解明の第一歩として

単離骨細胞単体の力学的刺激に対する応答メカニズムの素過程を詳細に解明することを目指した 多くの細胞において力学刺激の情報伝達に重要な役割を果

たしているとされるアクチンフィラメントと細胞内Ca2+に着目

し骨細胞のアクチンファイバー構造の観察と細胞体への局

所刺激に対する細胞内カルシウムイオン濃度変化のin vitro観察

（図３）を行ったその結果骨細胞は細胞体への力学刺激に

対しては鈍感であることがわかった骨細胞細胞体には明瞭な

アクチンフィラメント構造は見られないこと骨細胞分化前の

形態である骨芽細胞の細胞体には全体にアクチンフィラメン

トが配向して分布していること骨芽細胞は細胞体への力学刺激に敏感であることを考慮すると骨芽

細胞が骨基質中に埋没し骨細胞へと分化する際に周囲の力学環境の変化にともないアクチンフィラ

メント構造をその機能に対して最適に再構築していることが推測される

4 モデル複合材料による界面破壊の直接観察

複合材料は階層構造を持つ材料でありその破壊もマルチスケールの立場か

ら検討する必要がある複合材料を構造物に応用する場合に問題となる破壊機

構として１）層間破壊２）トランスバース破壊３）圧縮破壊等が挙げら

れるがこれらの破壊挙動をよりミクロなスケールで見ると繊維や樹脂単体

とともに繊維樹脂界面の強度が密接に関係しているこの中で繊維樹脂

界面強度はその重要性にもかかわらず定量的な評価やそれとマクロな破壊

強度との関係の解明が困難である界面強度評価法に関してはこれまで主に

フラグメンテーション試験単繊維引抜き試験マイクロドロップレット試験マイクロインデンテー

ション試験等モデル複合材料によるせん断応力場が支配的な力学環境で評価が行われてきたこれら

の評価法は定性的には意義があるものの同一繊維樹脂の組合せに対して異なる評価法を用いるとそ

の評価値に大きな隔たりが出ることも報告されているその主原因は破壊領域のスケールで応力分布や

破壊進展プロセスを正確に評価していないことであるまた局所的な界面強度の変化を正確に捉える

こともされていない本研究では直径が大きく取扱いの比較的容易なガラス繊維を対象として２本

の繊維からなるモデル複合材料（図４）の界面に発生するき裂の進展挙動を破壊力学的に評価した

図５にき裂進展に伴う破壊じん性値の変化を示すこの研究では単一の界面き裂の破壊じん性の界面

に沿った変化を測定する初めての試みであるまたこ

の試験は複素応力拡大係数の解析からモード比が 1～

13 の領域である破壊じん性値はき裂進展とともに急

激に増大しその後増加率が低くなるが繊維の直径に

係らず大きくばらついているのが明らかであるすなわ

ち個々の界面で破壊じん性値に大きな幅があることを

示している単純に界面でのミクロな化学結合に大きな

ばらつきを想定することは難しく界面官能基の密度の

場所による違い樹脂含浸過程でのメゾ的な要因すな

わち界面ごく近傍の樹脂の架橋密度や特性の局所的な違

いを反映していると考えられる

5microm5microm5microm5microm

図３ 単離骨細胞細胞体への局所力学

刺激にともなう細胞内Ca2+濃度変化

L

δ

Load

Load

Epoxy Resin

Glass Fiber

図４ モデル複合材料

0

100

200

300

400

500

0 50 100 150 200 250 300

S4026bS4031eS4033cS4036b 40microm S4036cS4055bS4038dS2317eS2324dS2320d 23micromS2353dS2355d

Frac

ture

toug

hnes

s G

c GR (J

m2 )

Increment of crack length ∆a (microm)

df

図５ き裂進展に伴う破壊じん性値の変化

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
• 05機物04_木村研pdf
• 06精密04_井手pdf
• 07機械04_連続体力学pdf
• 08機械04_宮崎研pdf
• 09機械04_小寺研pdf
• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

機械材料力学講座 機械材料設計分野

教授 宮崎 則幸助教授 池田 徹

1 はじめに

機械材料設計分野では多数の材料より構成される複雑な構造を有したマイクロ構造物の構造信頼性評

価とその信頼性向上に貢献するために異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の

強度評価手法の開発や顕微鏡下で観察したマイクロ構造物の変形をデジタル相関法で処理することによ

る微細複雑構造部のひずみ分布の測定を行っている以下にその概要を述べる

2異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を利用した異種材接合部の強度評価手法の開発

21 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数はHwuにより次のように定義されている[1]

K =KII

KI

KIII

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

= limrrarr0

2πrΛ r l k( )minus iεα Λminus1

σ12

σ22

σ32

⎧

⎨⎪

⎩⎪

⎫

⎬⎪

⎭⎪

(1)

Λ = λ1 λ2 λ3[ ] (2)

ここでrはき裂先端からの距離lkは任意の代表長さltlt gtgtはα= 1 2 3なる対角成分をもつ対角マト

リックスであることを示すまたλαは異種材の特性方程式より求められる固有ベクトルである 22 陽極接合部の接合強度評価 異方性異種材界面き裂の応力拡大係数を用いてMEMSなどに用いられる陽極接合部の熱応力によるは

く離強度を測定したシリコン基板には接合面の異方性の影響を見るため(100)面と(111)面シリコンの

二つを用いたまた陽極接合部の純粋な残留応力による破壊を観察するため線膨張係数の差が大きな

ソーダ石灰ガラスとシリコン基板の陽極接合を行い接合温度（300）より次第に冷却して熱応力に

よる破壊を観察した試験片の模式図を図 1 に示すこの試験片では図の様に中央の直径 5mm の円形

部分が接合されており周囲のNewton Ring よりはく離を判断できる熱応力により進展したシリコ

ンとソーダ石灰ガラスの界面上の三次元き裂について三次元有限要素法解析に変位外挿法を適用し破

壊温度における応力拡大係数を求めた結果を表1に示した(100)ウエハでは応力拡大係数の角度異存性

が見られ結晶軸から π4 の方向が最大となるまたこの方向に(111)へき開面が存在するため破壊靭

性値が低くなっていることがわかる一方等方性面である(111) ウエハでは応力拡大係数の方向依存

性は無いまた(111)面がへき開面であるためき裂はシリコン側に屈曲せずに界面に沿うように破壊し

破壊靭性値が上昇したものと考えられるこの様に破壊モードと材料の異方性および結晶のへき開の性

質により陽極接合部は多様な破壊形態を示すことがわかった

Soda glass

Si Chip

Bonding area

Newton ring

B

J

0

50

100

150

200

250

(100) (111)

19925

1490

Cri

tical

Tem

pera

ture

(˚C

)

Orientation of Crystal Fig 1 Schematic of fracture specimen for thermal load Fig 2 Critical temperatures of thermal tests

第5章　研究室研究紹介

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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 SVE 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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

Table 1 Fracture toughness of cracks in anodic bonding joints under thermal load (100) (111)

Angle θ(rad) KI KII KI KII 0 0056 ndash 0788 0159 ndash 1331

π4 0108 ndash 0859 0189 ndash 1341 π2 0056 ndash 0789 0158 ndash 1322

( MPa m lk = 10microm )

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

x

y

εx

BBBBBBBBBBBBBBBBBBB

BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

-00012

-0001

-00008

-00006

-00004

-00002

0

0 100 200 300 400 500(microm)

Stra

in

Fig 3 Distribution of strain in a local area Fig 4 Distribution of strain averaged through a fabric cycle of glass fibers in FRP

3デジタル相関法による複合材料基板内の熱ひずみ分布

電子デバイスパッケージに代表されるような微細で複雑な構造物の信頼性を確保するために構造物表

面のひずみ分布を知ることは非常に重要であるそこでデジタル画像相関法を用いた顕微鏡観察下

での熱ひずみ分布計測システムを構築しその精度を検証した

31 計測方法

本システムでは微細な領域の熱変形を計測するために光学顕微鏡に取り付けたCMOSカメラを用いて

加熱冷却ステージ上の電子部品を撮影し上述のデジタル相関法により変位を得たこのとき得られるの

は離散点変位データであるため移動最小自乗法を用いて変位場を内挿しそこから任意点のひずみを算

出することで測定対象物表面における滑らかなひずみの２次元分布をた

32 計測結果

銅配線とガラス繊維強化複合材料よりなる電子基板を743（点Ａ）から197（点Ｂ）に冷却した際

における基板断面のひずみ分布をデジタル相関法を用いて計測したそのひずみ分布を図3に示す

コア材内部の熱ひずみは非常に複雑な分布を示していることがわかるしかしガラス繊維織物は周期的

に分布しているためおよそ一周期にあたる領域のひずみを計測し垂直ひずみεxを x 方向に一周期分の

長さについて平均したこれにより得られたひずみの y 軸方向分布を図４に示すこのひずみ分布より得

られる曲率は基板のマクロな曲率と良く一致した一見ランダムに分布しているように見える基板断面

内のひずみが平均的にはマクロな反りと一致していることから本システムで計測された微小試験片上

の複雑なひずみ分布は信頼のおけるものであると考えらるこのように本手法により複雑な微小構

造物中のひずみ分布の直接測定が可能であることが明らかになった今後はマイクロ構造物のひずみ分

布や様々な材料の微視的ひずみ分布についての計測を行う予定である

文 献 [1] Hwu C Collinear cracks in anisotropic bodies International Jounral of Fracture 52 (1991) pp 239-256

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

• 01機物04_立花研pdf
• 02機物04_応用分光学pdf
• 03機物04_材料物性学pdf
• 04航空04_構造強度学pdf
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• 06精密04_井手pdf
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• 10機械04_田畑研pdf
• 11機械04_島研究室pdf

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 NOR 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 SVE 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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

機械システム工学講座

教授 小寺 秀俊助教授 神野 伊策助手 鈴木 孝明

1 はじめに

本研究室ではナノマイクロシステム工学の基礎となる薄膜材料の作製プロセスに関する研究からマ

イクロファブリケーションを用いた MEMS デバイス開発またデバイスの動作特性に関して実際の測

定からシミュレーション技術を用いた最適設計法に至る一連の研究をおこなっています特に材料お

よびシミュレーション技術を融合させてバイオメディカル分野への応用を目指したマイクロTAS シス

テムに関する展開を推進しています

2 インプランタブルホスピタルデバイス

近年の IT 技術の高度な発展は超小型情報機器の開発を可能

としモバイルユピキタスな情報環境をもたらしたこれら

の技術と医療技術とを統合することによってユピキタスメデ

ィスンの実現が期待されていますこの新しいデバイスをを自

現 す る た め の 中 核 と な る 技 術 と し て MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) およびμ TAS(micro Total Analysis Systems)の研究が注目されています本研究室ではこ

れら個々のデバイスの機能構造原理に関して研究するととも

に従来の Si プロセスを用いたマイクロマシニング技術更に

樹脂やゴムなどの柔軟性に富む有機材料を利用したマイクロデ

バイスの製造加工に関する研究をおこなっています特に壁

面の蠕動運動により液体を流すマイクロポンプやパッシブ型の

マイクロミキサーの開発を進めています[12]図 1 は細胞の機

械的特性を計測する目的で作製した PDMS のマイクロポスト

で心筋細胞の運動機能をポストの位置変化から測定するマ

イクロデバイスを活用することによりバイオメディカル分

野への展開を進めている

3 MEMS技術を用いたミリ波通信デバイス

高度情報化社会が加速する日無線通信技術の高

度化が求められています本研究室では次世代大容

量高速無線通信技術として期待されているミリ波通

信用の各種デバイスをマイクロマシン技術を用いて

開発していますミリ波デバイスをマイクロ化する

ことにより従来有線でおこなっていた情報伝達を

無線に置き換えることが可能となります特に小型

化高機能化モバイル化が必須である現在の情報

通信機器の他ワイヤレスデバイスの開発が求めら

れる人体埋め込み型機器（インプランタブルホスピ

タルデバイス）への統合を視野に入れて研究を進め

ています現在当研究室ではミリ波通信用アンテ

図 1 PDMS で作製した心筋細胞

の機械特性計測デバイス

PZT

Cr

Si

400μm

図 2 PZT 薄膜を用いて形成した RF-MEMS スイ

ッチ用マイクロアクチュエータ

10μm

第5章　研究室研究紹介

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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 SVE ltFEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006e00e40072002000640075002000760069006c006c00200073006b0061007000610020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006d006500640020006800f6006700720065002000620069006c0064007500700070006c00f60073006e0069006e00670020006f006300680020006400e40072006d006500640020006600e50020006200e400740074007200650020007500740073006b00720069006600740073006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e0020006b0061006e002000f600700070006e006100730020006d006500640020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006100720065002egt KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

ナと信号の切換等に用いるミリ波スイッチの研究を進めて

います[34]図 2 は圧電薄膜を用いて形成したミリ波スイッ

チです微細加工した圧電薄膜を駆動源として用いることに

より低電圧で動作可能なスイッチングデバイスの実現を目

指しています

3 圧電薄膜材料の開発

センサーとアクチュエータはナノマイクロマシンを構成

する重要な要素部品です当研究室では強誘電体を初めと

する機能性材料を用いたマイクロデバイスの研究を進めてお

り特に圧電材料の薄膜化およびその特性評価に関する研究を進めています[56]圧電材料の特性はそ

の結晶構造に大きく依存し薄膜化した際の結晶構造と圧電特性の関連について研究しています更に

薄膜プロセス特有の構造制御技術を用いてナノレベルで組成変調した人工超格子の作製を進めており

更なる機能性向上に取り組んでいます図 3 は多元 RF スパッタ装置の内部でシャッター操作により

ナノレベルの多層膜が形成可能です

参考文献

[1] Satoyuki Kawano Hirofumi Shintaku Isaku Kanno Hietoshi Kotera Development of Micromixer Based on Instability of Interface Between Two Immiscible Liquids Proc Micro Total Analysis Systems 2002 88-90 [2] Shunsuke Yakushiji Isaku Kanno Hidetoshi KoteraBi-directional Valve-less Micropump using Piezoelectric Micro-array Actuators（2003） Proc Micro Total Analysis Systems 2002 148-150 [3] Hidetoshi Kotera Isaku Kanno Yoshihisa Fukuda Takuya Murayama Ushio Sangawa Kazuyuki Sakiyama Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna For Millimeter-Wave Proc Micro System Technologies 2003 526-528 [4] Isaku Kanno Hironobu Endo Hidetoshi Kotera Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films Proc Micro System Technologies 2003 529-531 [5] Isaku Kanno Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films Sensors and Actuators A 107 (2003) 68-74 [6] Isaku Kanno Yu Yokoyama and Hidetoshi Kotera Kiyotaka Wasa Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(ZrTi)O3 thin films Physical Review B 69 (2004) 064103

図 3 多層構造薄膜を成膜中の多元 RFスパッタ装置

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

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演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR ltFEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f00700070007200650074007400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e0074006500720020006d006500640020006800f80079006500720065002000620069006c00640065006f00700070006c00f80073006e0069006e006700200066006f00720020006200650064007200650020007500740073006b00720069006600740073006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e006500730020006d006500640020004100630072006f0062006100740020006f0067002000520065006100640065007200200035002e00300020006f0067002000730065006e006500720065002egt SVE 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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT ltFEFF4f7f752890194e9b8a2d5b9a5efa7acb76840020005000440046002065874ef65305542b8f039ad876845f7150cf89e367905ea6ff0c4fbf65bc63d066075217537054c18cea3002005000440046002065874ef653ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000520065006100640065007200200035002e0030002053ca66f465b07248672c4f86958b555f3002gt JPN ltFEFF3053306e8a2d5b9a306f30019ad889e350cf5ea6753b50cf3092542b308000200050004400460020658766f830924f5c62103059308b3068304d306b4f7f75283057307e30593002537052376642306e753b8cea3092670059279650306b4fdd306430533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103057305f00200050004400460020658766f8306f0020004100630072006f0062006100740020304a30883073002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d30678868793a3067304d307e30593002gt gtgtgtgt setdistillerparamsltlt HWResolution [2400 2400] PageSize [592441 839055]gtgt setpagedevice

機械設計制御工学講座 マイクロマシン工学分野

教授 田畑 修助教授 土屋 智由助手 菅野 公二

1 はじめに

本研究室は物理科学に根ざした発想をベースに新奇でユニークな機能を発現する次世代微小電気機

械融合システム（マイクロマシンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)ナノマイクロシステム）を実現す

るためのナノマイクロシステムシンセシス工学（SENS Synthetic Engineering for Nano System）の確立を目指し

ているシリコン半導体微細加工技術マイクロマシニング技術ナノマイクロアセンブル技術などのナノマイ

クロ加工技術構造材料として用いられる薄膜材料の機械的物性評価解析技術センサアクチュエータ処

理回路などを集積化したナノマイクロシステム創製技術を研究の 3 本柱とし実験および理論の両面からのア

プローチで研究を遂行しているまた他研究室他専攻他大学との連携を積極的に推進すると共に研究

成果の産業応用を計るために産学連携にも積極的に取り組んでいる

2 研究内容と成果

21 ナノマイクロ加工技術

次世代微小電気機械融合システムを構築するための三次元微細加工技術の研究開発を行っている

シンクロトロンから放射される波長数ÅのＸ線を用いる微細加工技術であるLIGAプロセスは高アス

ペクト比構造体加工技術として知られているが基板と垂直方向の加工自由度がなく応用に大きな制約

があった当研究室では側壁に傾斜や曲率を付与できるX線応用3次元微細加工技術として移動マスクＸ

線露光法（M2DXL Moving Mask Deep X-ray Lithography）および二重Ｘ線露光法（D2XL Double Exposure Deep X-ray Lithography）を提案している直径15microm の円形吸収体パターンを有するＸ線マスクを使用し

二種類のＸ線露光条件と現像時間でPMMA製マイクロニードルを製作した結果を図１に示すこれらの実験結

果からD2XLではＸ線露光量と現像時間を制御することによりマイクロニードルの設計緒元である「先端角

度」や「構造体高さ」が制御可能であることを明らかにしたさらに産業界での応用展開に不可欠な加工モデ

リングや加工シミュレーションの研究を行っているこれらの技術をマイクロオプティクスマイクロニ

ードルマイクロ流路など様々なデバイスへ応用する研究を企業と共同で進めている 今年度より新たにコントローラブルセルフアセンブリ技術に関する研究に着手したこれは次世代微

小電気機械融合システムに量子効果利用センシングなどの新機能高機能をインプリメントするために

必要不可欠なナノ構造の集積化を実

現するための基盤技術開発である

従来のシリコン半導体プロセス技術

を基にしたトップダウン方式の微細

加工を用いたアプローチは微細化に

限界がある一方ナノオーダの微

細構造を自己組織化で形成するボト

ムアップ手法による複雑システム構

築の実現はまだ模索段階であるコ

ントローラブルセルフアセンブリ技

術はトップダウンとボトムアップ

の融合アプローチによってナノ構造

を微小電気機械融合システムに組み

込む技術であり新奇性のあるデバ

イスシステム化技術としての確立

が最終目標である

Pattern-1 Exposure (a) 33 AminExposure (b) 26 Amin

Pattern-2 Exposure (a) 16 AminExposure (b) 35 Amin

Dev time30 min

Dev time120 min

図 1 二重Ｘ線露光法を用いた微細加工例

10microm 6 microm

15microm 5 microm

第5章　研究室研究紹介

22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

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冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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 NOR 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 SVE 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 KOR ltFEFFd5a5c0c1b41c0020c778c1c40020d488c9c8c7440020c5bbae300020c704d5740020ace0d574c0c1b3c4c7580020c774bbf8c9c0b97c0020c0acc6a9d558c5ec00200050004400460020bb38c11cb97c0020b9ccb4e4b824ba740020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c2edc2dcc624002e0020c7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b9ccb4e000200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002egt CHS ltFEFF4f7f75288fd94e9b8bbe7f6e521b5efa76840020005000440046002065876863ff0c5c065305542b66f49ad8768456fe50cf52068fa87387ff0c4ee563d09ad8625353708d2891cf30028be5002000500044004600206587686353ef4ee54f7f752800200020004100630072006f00620061007400204e0e002000520065006100640065007200200035002e00300020548c66f49ad87248672c62535f003002gt CHT 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22 薄膜材料の機械的物性評価解析技術

複雑な3次元構造を有する次世代微小電

気機械融合システムの構造材料として用い

られる薄膜は分子原子の堆積（例ス

パッタリング）により形成されかつ分子

原子を基本単位とする方法を用いて加工

（例プラズマエッチング）されるため

構造材料そのものが複雑系であるこれら

のナノマイクロ材料の機械的物性値を測

定し体系化することによって次世代微小

電気機械融合システムのモデリング設計

に貢献できる薄膜機械的物性データベース

を構築することが本テーマの最終目標であ

る現在静電チャック方式の薄膜疲労試

験装置をベースに高サイクル印加可能な

荷重印加機構を付加した新たな装置の構築

を進めている図2に示す形状の疲労試験サンプルを用い厚さ2 microm の単結晶シリコンとスパッタで

成膜したアルミ薄膜について引張試験と疲労試験を行い試験装置の基本特性を確認した今後他

大学企業マイクロマシンセンターなどと連携し数年後を目処にナノマイクロ材料の疲労試験方

法に関する標準化として国際標準規格を提案する

23 ナノマイクロシステム創製技術

形状記憶合金薄膜を応用した触覚提示用

スマートボタン携帯機器埋め込み用CPU冷却デバイス静電駆動型オプティカルス

キャナー微粒子合成用マイクロ流体デバ

イスなど各種の微小電気機械融合システ

ムに関する研究を行っている

一例として図3に示すプロセスフロー

で作製する圧電型マイクロポンプを用いた

微粒子合成用マイクロ流体デバイスについ

て説明するこの圧電型マイクロポンプ 2

個がY字型流路のインレットに接続された

マイクロ流体デバイスにおいて2 つのポ

ンプから十 pL オーダの溶液を交互に送液

して形成した数microm の極微小界面間隔にお

ける物質拡散を利用することによって核

生成密度および核成長速度を精密に制御し

て均一粒径の金微粒子を作製する手法の研

究を進めている目標は直径50nmの金微粒子の製作と表面増強ラマン分光マイクロチップへの応用で

ある

3 まとめ

次世代微小電気機械融合システムは機械電子電気化学光バイオなどのマルチディシプリナ

リな現象を微小領域において巧みに融合した微小複雑システムでありこれらの現象解析とモデル化及

び制御と設計論の構築を通して本COEの目標達成に貢献するものと期待される

1 SiO2 etching

2 Al etching

3 SiO2 etching

4 Si etching

5 SiO2 etching

6 Si etching

7 Si etching

8 AlSiO2 remove

9 Anordic bonding PZT plate bonding

photo resist Al SiSiO2

pyrex

図3 圧電マイクロポンプ作製プロセス

図 2 薄膜材料の疲労試験サンプル形状

機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

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演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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機械設計制御工学講座 加工プロセス工学分野

教授 島 進講師 田中 和人助手 津守 不二夫正脇 謙次

1 はじめに

近年の技術の高度化においてはさらなる高機能化高精度化が求められ特にマイクロナノテクノロジー

分野に対応した新たな技術開発も必要とされている本研究室ではこのような課題に対し理論的な基盤の構

築および解析システムの作成またそれらを元にした新たなプロセス開発に関し研究を行っている特に 21 世

紀COEプログラム「動的機能機械システムの数理モデルと設計論」のもとでは主として粉末微粒子のものづく

りへの応用を目指しいくつかのテーマを立ち上げている粉体は微小な粒子の集合体であり外部からの負荷

あるいはエネルギーによって極めて複雑な挙動を呈するこのような粉体について本研究室で実施している主

要なテーマは具体的に以下の通りである ①静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用

②半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製

③有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発

以下に各テーマについての概要平成 16 年度の成果について説明する

2 各研究課題の概要と今年度の成果

21 静電インクジェット法による粒子パターニング技術の開発とその応用 概要 粒子を分散させたスラリーをインクジェット法により基板上にパターニングする技術の開発を

行った粒子の任意個所への堆積技術は RP 法（Rapid Prototyping）への応用を踏まえ注目されている

しかし粒子を含有したスラリーをノズルより吐出させる際にはノズルでのつまりの問題が発生する

そこで本テーマでは静電インクジェット法を採用しこの問題に対処することとしたこの方法はノズ

ル-基板間に電圧を印加することによりノズル内の溶液を液滴化し基板へと移動させる方法であり比

較的大きなノズルを利用しつつ微小な液滴が得られるといった特徴を有する（例図１）この方法によ

り様々な粉末を基板上に配置することが可能であり特に磁性粉末のパターニングによる応用について

も簡単な実験を行った 今年度の成果 液滴生成において

スラリーの分散状況といったパラ

メータと液滴径の関連を実験によ

り示したまたノズル近辺の電

場状態を解析的に評価しこの結

果基板上に既に滴下した粒子が

基板近傍の電場をゆがめ液滴の

吐出方向に微妙な影響を与えるこ

とも示されたこれらの結果から

安定した液滴の生成が行えること

を示したこれらの成果は平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季大会において発表した[2]さらに磁性

微粒子を分散させたスラリーの液滴をシリコンゴムシート状に規則的なパターンとして配置することに

より磁場印加によって変形の制御が可能なマイクロアクチュエータとして応用することを考案した

このアクチュエータは液滴の配置による変形パターンのバリエーションが大きく磁場中での液滴間の

複雑な相互作用を評価していくことが今後重要となるものと思われるこの成果に関しては平成 17 年度

粉体粉末冶金協会春季大会および 2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materials において発表予定である

t=0ms t=22mst=20ms t=10ms

05 mm

図１ ノズルからの液滴生成の様子

第5章　研究室研究紹介

22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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22 半固形モールド粉体成形プロセスによる微小複雑構造体の作製 概要 ビンガム流体静水圧成形（Bingham semi solidfluid Isostatic Pressing BIP）と呼ばれる半固形型を使

った新たな静水圧成形法が研究推進者らによって最近開発された[1]これは半固形状材料であるビンガ

ム流体で型を作ることによりその中に充填した粉末に直接静水圧を加えることのできる新しいプロセ

スであるBIP 成形は複雑形状部品においても割れなく作製することが可能であり将来非常に有望

な成形法であるしかしながら半固形材料のようないわゆるソフトマテリアルを型として利用した場

合加圧成形時に独等のゆがみが発生することが知られているこれに対しては計算機解析による改善

が可能であり解析システムの作成を行ったさらにこのプロセスの微細な製品への応用を考慮し粉

末充填方法の工夫と温度によるモールド材料の力学的な物性制御を考案した一般に微細なキャビティ

内部への粉末の充填が困難であることが知られておりさらに微細な形状においては成形体の強度も問

題となる充填に関しては湿式充填法を応用することによって対処し温度制御によるプロセス中のモ

ールド材料の改質により繊細な微小成形体への刺激を低減する方法を考案した

今年度の成果 材料粉末の力学特性およびモールドに利用する半固形状ワックスの力学特性を材料試験

を行い定式化し有限要素解析を行った粉末は体積収縮を考慮した弾塑性体モデルモールドは弾粘

塑性体とし粉体のプロセス中での変形について評価を行ったこの結果ワックスの特性と材料のゆが

み（相似変形からのずれ）に関して整理を行うことができたまた粉末材料とモールド材料間のすべ

りが変形に影響することが確認されたため粉末-モールド間境界での要素の接触モデルにすべり自由度

をもたせることを解析システムに導入した以上の成果については平成 16 年度粉体粉末冶金協会秋季

大会において発表[3]平成 17 年度塑性加工春季講演会（日本塑性加工学会）で発表予定である

微小な成形体の作製に関してはその充填方法として粉末材料を溶媒中に分散しスラリーとして取り

扱う湿式法を利用することを提案したスラリーに求められる特性としては粒子の均質な分散性ワ

ックス系のモールド材料とスラリーとの濡れ性表面張力の大きさの３点が主に重要であることが確

認された特に濡れ性の大きさによって微細キャビティ内への充填形態が大きく変化する結果が得ら

れた充填された粉末を圧縮する際には温度制御によってプロセス中のモールド材料の軟化させる手

法を考案しその有効性を確かめたこれらの成果については平成17年度塑性加工春季講演会およ

び粉体粉末冶金協会春季大会2005 International Conference on Powder Metallurgy and Particulate Materialsにおいて発表予定である

23 有限要素磁場解析および粒子個別要素法の連成解析システムの開発 概要 外部磁場印加中での磁性粒子集合体の挙動を把握することは高性能な希土類系永久磁石の作製

や磁性流体の特性を解析的に取り扱うために重要であるこのような解析手法として昨年度より磁場

有限要素解析法と粒子個別要素解析法とを連成させたシステムを提案開発してきたこのような粉末材

料と外部磁場により発生した磁界はお互いに影響を及ぼし合い極めて複雑な現象となっている具体

的には粒子の存在や位置の変化により磁場は変化し変化した磁場は粒子の運動に影響する本テーマ

は圧縮中の粉末の挙動をシミュレーションおよび粉体の挙動の観察を行なうものである本課題につ

いては２１世紀ＣＯＥプログラムの若手研究助成を受けているので詳細についてはその報告書にゆ

ずる

参考文献

[1] F Tsumori H KumeA Kakitsuji H Miyamoto and S Shima Novel Powder Compaction Process with Bingham Semi-solidfluid Material Int J Powder Metall 39-8 (2003) 46-51 [2] 津守不二夫小川博之島進電圧印加法による微細液滴パターニング粉体粉末冶金協会秋季講

演大会概要集(2003) 210 [3] 津守不二夫原康洋島進半固形静水圧プロセスによる薄板状圧粉体形状変化の解析粉体粉末

冶金協会秋季講演大会概要集(2003) 201

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