sec-n107 - horibay=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f 0 20% 60% 20% 40% 60% 80% 100% 40% 80% 100%...

デジタル・アナログ通信モデル

SEC-N106

デバイスネット™通信モデル

プロフィバス™通信モデルDC24V駆動、電流／電圧制御モデル

SEC-N102 SEC-N102W面間寸法124㎜~ 106㎜~

SEC-N104 SEC-N104W

面間寸法124㎜~

面間寸法124㎜~

CC-Link®通信モデル

SEC-N105 面間寸法124㎜~

106㎜~面間寸法

面間寸法

デジタルマスフローコントローラDigital Mass Flow Controller

EtherCATⓇ通信モデル

SEC-N107 面間寸法124㎜~

お客様のニーズに合う通信方式、面間寸法、流量制御範囲をラインアップ。

通信方式はデジタル・アナログ通信モデル、デバイスネット™通信モデル、CC-Link®・アナログ通信モデル、プロフィバス™・アナログ通信モデル、EtherCATⓇ通信モデルをラインアップ。標準面間サイズも124mm～のスタンダードモデルと、106mm～のWタイプを用意しております。※

対応制御流量は10 SCCMから1000 SLMまでと幅広く、様々な分野のガス制御に利用可能です。

※WタイプはSEC-N102（デジタル・アナログ通信モデル）、SEC-N104（デバイスネット™通信モデル）に対応しています。※継手は1/4”VCR相当となります。

「太陽電池パネル」や「燃料電池」、「LED」や「液晶パネル」など、現在注目を集めている産業分野での研究・製造において、ガスは様々な目的・用途で用いられており、品質・生産性の向上にはその正確な流量の計測と制御が不可欠とされています。HORIBA STECは最先端の半導体製造プロセスに対応するガスの流体制御機器、マスフローコントローラを開発・販売しており、その優れた性能と高い信頼性により世界中の市場で大きな支持をいただいています。この最先端フィールドで培った技術をベースに、幅広い産業分野でご使用いただけるマスフローコントローラ、

SEC-N100 Seriesをご用意いたしました。デジタル・アナログ、デバイスネット™、CC-Link® 、プロフィバス™、EtherCATⓇの通信モデルを選択できるほか、ご用途に合ったサイズ・流量制御範囲をカバーしています。SEC-N100 Seriesは幅広いモデルでお客様のニーズにお答えいたします。

● SEC-N11×（W）・SEC-N12×（W）は標準継手1/4”VCR相当、SEC-N13×・SEC-N14×は標準継手1/2”VCR相当となります。　● 流量制御範囲はフルスケール流量値の2％から行えます。（SEC-N17×は5%から）

デジタル通信▶RS485 F-Net Protocol

10 SCCM

10 SLM50 SLM 100 SLM 200 SLM

SEC-N112

SEC-N112W

SEC-N122

SEC-N122W

SEC-N132 SEC-N142

▶駆動電源 ±15VDC（±5%）▶専用電源PE Seriesを　ラインアップしています。

SEC-N102

SEC-N102W

124㎜~面間寸法

106㎜~

流量レンジ（フルスケール流量）

アナログ通信▶0～5VDC

幅広いラインアップ

面間寸法

面間寸法132mm～面間寸法132mm～

1000 SLM

SEC-N172

▶駆動電源 ODVA規格

デバイスネット™通信

SEC-N104

124㎜~面間寸法

SEC-N104W

106㎜~面間寸法

SEC-N114 SEC-N124 SEC-N134面間寸法132mm～

SEC-N144面間寸法132mm～

SEC-N174

SEC-N114W SEC-N124W

CC-Link®通信

アナログ通信▶0～5VDC, 0～10VDC, 4～20mA

▶駆動電源 24VDC （13～32VDC）

SEC-N105

124㎜~面間寸法 SEC-N115 SEC-N125 SEC-N135

面間寸法132mm～SEC-N145面間寸法132mm～

SEC-N175

▶駆動電源 24VDC （13～32VDC）

プロフィバス™通信

SEC-N106


面間寸法132mm～SEC-N146面間寸法132mm～

SEC-N176

▶駆動電源 24VDC

EtherCATⓇ通信SEC-N107


1

アナログ通信▶0～5VDC, 0～10VDC, 4～20mA

y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f

60%20%0

20%

40%

60%

80%

100%

80% 100%40%

流量出力信号

ガス流量

多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また高精度流量計測システムを用い、多種のプロセスガス流量を計測し、プロセスガスの流量精度の向上を図っています。

全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム（特許第3893115号）を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答性を実現します。当社のハイエンドモデル：SEC-Z500X Seriesに標準搭載し半導体プロセスにおいても高い評価を得ています。

Accuracy ±1.0% S.P. : 30–100% F.S.±0.3% F.S. : ≦30% F.S.

MFC

MFC

MFC

MFC

MFC M

FCM

FC

MFC

MFC

MFC

MFC

MFC

N2

ArCF4CO

C2H4C2F6NF3

O2SiH4

PH3SiF4

H2SF6Easy spec change

at customer

パソコン (Windows)ソフトウェア

Serial Converter

変換アダプタ

※CC-Link®通信モデルは専用ケーブルをご使用ください。（オプション）

USBケーブル

信号ケーブル

RS485通信ケーブル※

USBケーブル

ラベルプリンタ

電源+15, -15VDC

SEC-N100

セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載

【全流量域にわたる高速応答】

新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載：フルレンジ1秒以内

お客様ご自身でマスフローコントローラ（MFC）の流量レンジ・使用ガスを変更できます。

【マルチレンジ・マルチガス機能を搭載】

専用ソフトウェアを用い、簡単操作で仕様変更が可能本ソフトは使用されるガス種・流量レンジを入力していただく事により“MR・MG番号”を選択できる機能や、お客様の受入検査時に行われるN2ガスによる流量測定時に便利な“N2ガス換算機能”、MFCの動作状態の確認等のユーザーフレンドリーな機能をワンパッケージにしたソフトウェアです。

専用ソフトウェア： Configuration Software

【流量精度の向上】

N2 100 SCCM Ar 110 SCCM例：SEC-N100　　MR・MG-02

例：SEC-N100　　MR・MG-04

N2 1000 SCCM N2 250 SCCM

流量制御範囲20～1000 SCCM

流量制御範囲5～250 SCCM

マルチレンジ対応流量レンジの変更が行えます。

マルチガス対応使用ガスの変更が行えます。

（SEC-N11×（W）／N12×（W））

当社では本ソフトを間違い無くご使用いただくために、操作トレーニングを開催しています。当トレーニングの開催につきましては当社までお問い合わせください。

流量設定: 100%

流量設定: 80%

流量設定: 60%

流量設定: 40%

流量設定: 20%

流量設定: 10%

流量設定信号

流量制御信号

0 1sec 2sec 3sec

5V

3V

1V

応答時間流量信号

2

製品仕様一覧

▶通信・電源仕様デジタル・アナログ通信モデル

0.1～5VDC（2%～フルスケール）入力インピーダンス 1MΩ以上

0～5VDC（0%～フルスケール）最小負荷抵抗 2kΩアドレス機能付：RS-485（伝達速度 38400bps） F-Net Protocol

＋15V±5%　150mA

－15V±5%　200mA

＋15V±5%　150mA

－15V±5%　250mA

＋15V±5%　150mA

－15V±5%　150mA

＋15V±5%　150mA

－15V±5%　200mA

マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス

駆動電源

SEC-N112MGM

SEF-N112MGM

SEC-N112MGR（W）SEF-N112MGR（W）

SEC-N122MGM

SEF-N122MGM


SEC-N132MGM

SEF-N132MGM

SEC-N132MGR

SEF-N132MGR

SEC-N142MGM

SEF-N142MGM

SEC-N172R

SEF-N172R

SEC-N142MGR

SEF-N142MGR

SEC-N102（W）

デバイスネット™通信モデル SEC-N104（W）マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式デジタルインターフェイス

駆動電源

SEC-N114MGM

SEF-N114MGM


SEC-N124MGM

SEF-N124MGM


SEC-N134MGM

SEF-N134MGM

SEC-N134MGR

SEF-N134MGR

SEC-N144MGM

SEF-N144MGM

SEC-N174R

SEF-N174R

SEC-N144MGR

SEF-N144MGR

DeviceNet™ Protocol

ODVA規格合格品 DC24V

7.0VA 4.0VA 7.0VA

CC-Link®通信・アナログ通信モデル SEC-N105マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス

駆動電源

SEC-N115MGM

SEF-N115MGM

SEC-N115MGR

SEF-N115MGR

SEC-N125MGM

SEF-N125MGM

SEC-N125MGR

SEF-N125MGR

SEC-N135MGM

SEF-N135MGM

SEC-N135MGR

SEF-N135MGR

SEC-N145MGM

SEF-N145MGM

SEC-N145MGR

SEF-N145MGR0.1～5VDC／0.2～10VDC／4.32～20ｍA（2%～フルスケール）

0～5VDC／0～10VDC／4～20mA（0%～フルスケール）

CC-Link® Protocol 局種別：リモートデバイス局、占有局：1局占有、CC-Link®バージョン：Ver.1.10

24VDC（13～32VDC）

SEC-N175R

SEF-N175R

7.5VA 4.5VA 7.5VA

▶共通仕様一覧

バルブ型式コントロールバルブ全閉時流量流量制御範囲流量測定範囲（SEF）

流量精度 ※1

使用可能周囲温度応答性直線性繰り返し再現性

動作差圧

使用圧力（SEF）最大動作（使用）圧力耐圧

SEC-N112MGM

SEC-N114MGM

SEC-N115MGM

SEC-N116MGM

SEC-N117MGM

SEF-N112MGM

SEF-N114MGM

SEF-N115MGM

SEF-N116MGM

SEF-N117MGM

SEC-N112MGR（W）SEC-N114MGR（W）SEC-N115MGR

SEC-N116MGR

SEC-N117MGR

SEF-N112MGR（W）SEF-N114MGR（W）SEF-N115MGR

SEF-N116MGR

SEF-N117MGR

SEC-N122MGM

SEC-N124MGM

SEC-N125MGM

SEC-N126MGM

SEC-N127MGM

SEF-N122MGM

SEF-N124MGM

SEF-N125MGM

SEF-N126MGM

SEF-N127MGM

SEC-N122MGR（W）SEC-N124MGR（W）SEC-N125MGR

SEC-N126MGR

SEC-N127MGR

SEF-N122MGR（W）SEF-N124MGR（W）SEF-N125MGR

SEF-N126MGR

SEF-N127MGR

50～300kPa（d）MR.MG-5.5,06:100～300kPa（d） 200～300kPa（d）

6.5 : 22SLM07 : 30SLM08 : 50SLM

非通電時閉（クローズ）：Cフルスケールの2%未満フルスケールの2～100%

フルスケールの0～100%

±1.0%S.P.（設定流量＞30%F.S.） ±0.3%F.S.（設定流量≦30%F.S.）

5～50℃（推奨温度15～45℃）

1秒以内：全流量制御範囲フルスケールの±0.5%

フルスケールの±0.2%

300kPa（d）以下

450kPa（g）

1000kPa（g）

5×10－12Pa・m3/s （He）以下 1×10－10Pa・m3/s （He）以下 5×10－12Pa・m3/s （He）以下 1×10－10Pa・m3/s （He）以下

SUS316L　PTFE磁性ステンレス ※2

SUS316L　PTFE磁性ステンレス ※2　フッ素ゴム

SUS316L　PTFE磁性ステンレス ※2

SUS316L　PTFE磁性ステンレス ※2　フッ素ゴム

※1 MR.MG番号のフルスケール値に対する精度です（SEC（F）-N17×Rモデルは除く）。流量精度の保証温度は、SEMI規格に準拠しています。詳しくはお問合せください。　 ※2 マスフローメーターは、PTFE、磁性ステンレスを使用していません。　　※3 1/4" Swagelok相当はSEC-N1××RWに対応しています。　　※4 3/8" Swagelok相当はSEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応しています。　　※5 二次側圧力 0kPa（g）以上でご使用ください。

R01 : 10SCCMR1.5 : 17.5SCCM01 : 30SCCM1.5 : 55SCCM02 : 100SCCM

2.5 : 175SCCM03 : 300SCCM3.5 : 550SCCM04 : 1SLM4.5 : 1.75SLM

マスフローコントローラ型式

マスフローメータ型式

フルスケール流量（N2換算流量）

マルチレンジ・マルチガス（MR.MG）の番号で流量レンジを分けています。（SEC（F）-N17×Rモデルは除く）

05 : 3SLM5.5 : 5.5SLM06 : 10SLM

外部リークレート

接ガス部材質

標準継手取付可能姿勢

1/4" VCR相当、1/4" Swagelok相当 ※3

自由

3

● SCCM、SLMはガス流量（mL/min、L/min、at0℃101.3kPa）を表す記号です。 ● 製品の仕様の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のための使用部品・生産手法などの変更は、お客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。

バルブ型式コントロールバルブ全閉時流量流量制御範囲流量測定範囲（SEF）

流量精度 ※1

使用可能周囲温度応答性直線性繰り返し再現性

動作差圧

使用圧力（SEF）最大動作（使用）圧力耐圧

SEC-N132MGM

SEC-N134MGM

SEC-N135MGM

SEC-N136MGM

ーSEF-N132MGM

SEF-N134MGM

SEF-N135MGM

SEF-N136MGM

ー

SEC-N132MGR

SEC-N134MGR

SEC-N135MGR

SEC-N136MGR

ーSEF-N132MGR

SEF-N134MGR

SEF-N135MGR

SEF-N136MGR

ー

SEC-N142MGM

SEC-N144MGM

SEC-N145MGM

SEC-N146MGM

ーSEF-N142MGM

SEF-N144MGM

SEF-N145MGM

SEF-N146MGM

ー

SEC-N172R

SEC-N174R

SEC-N175R

SEC-N176R

SEC-N177R

SEF-N172R

SEF-N174R

SEF-N175R

SEF-N176R

SEF-N177R

SEC-N142MGR

SEC-N144MGR

SEC-N145MGR

SEC-N146MGR

ーSEF-N142MGR

SEF-N144MGR

SEF-N145MGR

SEF-N146MGR

ー

09 : 100SLM

100～300kPa（d）

10 : 200SLM 300/500/1000SLM

200～300kPa（d）

非通電時閉（クローズ）：C / 開（オープン）：Oフルスケールの2%未満フルスケールの2～100%

±1.0%S.P.（設定流量＞35%F.S.）±0.35%F.S.（設定流量≦35%F.S.）

1秒以内：全流量制御範囲フルスケールの±0.5%

フルスケールの±0.2%

300kPa（d）以下

450kPa（g）

非通電時閉（クローズ）フルスケールの5%未満フルスケールの5～100%

±2%F.S.

2秒以内（T98）Typical

フルスケールの1%

フルスケールの1%

150～300kPa(d)（300/500 SLM） ※5

250～350kPa(d)（1000 SLM）

350kPa（d）以下

350kPa（g）

フルスケールの0～100%

5～50℃（推奨温度15～45℃）

1000kPa（g）

自由

5×10－12Pa・m3/s （He）以下 1×10－10Pa・m3/s （He）以下 5×10－12Pa・m3/s （He）以下 1×10－10Pa・m3/s （He）以下

SUS316LSUS316Lフッ素ゴム SUS316L

SUS316Lフッ素ゴム

プロフィバス™通信・アナログ通信モデル SEC-N106マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス

駆動電源

SEC-N116MGM

SEF-N116MGM

SEC-N116MGR

SEF-N116MGR

SEC-N126MGM

SEF-N126MGM

SEC-N126MGR

SEF-N126MGRSEC-N136MGM

SEF-N136MGM

SEC-N136MGR

SEF-N136MGR

SEC-N146MGM

SEF-N146MGM

SEC-N176R

SEF-N176R

SEC-N146MGR

SEF-N146MGR

0.1～5VDC／0.2～10VDC／4.32～20ｍA（2%～フルスケール）

0～5VDC／0～10VDC／4～20mA（0%～フルスケール）プロフィバス™-DP Protocol

24VDC（13～32VDC）

7.5VA 4.5VA 7.5VA

1/2" VCR相当、1/2" Swagelok相当

1×10－7Pa・m3/s （He）以下

1/2" VCR相当、3/8" Swagelok相当 ※4

EtherCAT®通信モデル SEC-N107マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式デジタルインターフェイス

駆動電源

SEC-N117MGM

SEF-N117MGM

SEC-N117MGR

SEF-N117MGR

SEC-N127MGM

SEF-N127MGM

SEC-N127MGR

SEF-N127MGR

SEC-N177R

SEF-N177R

EtherCAT® Protocol

24VDC±4V

7.5VA 7.2VA

SUS316 / SUS304　PTFE磁性ステンレス ※2　フッ素ゴム

マスフローコントローラ型式

マスフローメータ型式

フルスケール流量（N2換算流量）

マルチレンジ・マルチガス（MR.MG）の番号で流量レンジを分けています。（SEC（F）-N17×Rモデルは除く）

外部リークレート

接ガス部材質

標準継手取付可能姿勢

4

製品仕様一覧

❶

❷

❸

❹

型式SEC-N1 : マスフローコントローラSEF-N1 : マスフローメータ　

流量サイズ1 : 最大フルスケール流量 10 SLM（N2換算）2 : 最大フルスケール流量 50 SLM（N2換算）3 : 最大フルスケール流量 100 SLM（N2換算）4 : 最大フルスケール流量 200 SLM（N2換算）7 : 最大フルスケール流量 300 / 500 / 1000 SLM（N2換算）

通信形態2 : デジタル通信（RS-485 F-Net Protocol）、アナログ通信（電圧信号）4 : DeviceNet™通信5 : CC-Link®通信6 : プロフィバス™通信、アナログ通信（電圧/電流信号）7 : EtherCAT®通信

シール材M : メタルシール（SEC-N17×は未対応）R : ラバーシール

❺

❻

❼

❽

❾

幅寸法ブランク： 1.125inch

バルブタイプブランク: マスフローメータ（SEF）の場合C : 非通電時閉（クローズ）O : 非通電時開（オープン）： SEC-N13×、SEC-N14×に対応

コネクタ位置T : ケース上面（SEC-N102、SEC-N104、SEC-N105、SEC-N106に対応）S : ケース側面（ガス入口側）（SEC-N104、SEC-N107に対応）

検量線数1 ：標準5 ： EtherCAT®モデル

DeviceNet™ 出力範囲ブランク : DeviceNet™モデル以外 1 : 流量出力フルスケール"100%F.S." 3 : 流量出力フルスケール"133%F.S." 5 : 流量出力フルスケール"133.329%F.S."

10

11

12

13

CC-Link®通信・プロフィバス™通信：電圧/電流信号選択ブランク： SEC-N102、SEC-N104、SEC-N107 A ：設定 / 出力信号：0～5VDC B ：設定 / 出力信号：0～10VDC C ：設定 / 出力信号：4～20mA

マルチレンジ・マルチガス（MR.MG）の番号MR.MGの番号を指定してください。詳細は仕様一覧をご確認ください。

フルスケール流量フルスケール流量を指定してください。

配管継手4CR ： 1/4" VCR相当（SEC-N11×、SEC-N12×に対応）8CR ： 1/2" VCR相当（SEC-N13×、SEC-N14×、SEC-N17×に対応）4IS ： 1/4" Swagelok相当（SEC-N100Rに対応）6IS ： 3/8" Swagelok相当（SEC-N100Rに対応）8IS ： 1/2" Swagelok相当（SEC-N17×に対応）

14

15

●

使用ガス種ブランク : MR.MG対応でガス種を指定しない場合ex.N2 : 使用ガス

内面研磨処理仕様をご要望のお客様はSEC-Z500X Seriesをご検討ください。

面間距離L : 124mm （1/4" VCR相当:SEC-N11×、SEC-N12×に対応）S : 132mm （1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応,

1/4" Swagelok相当:SEC-N11×R、SEC-N12×Rに対応）J : 150.4mm （1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応,

3/8" Swagelok相当:SEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応）G : 177mm （1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応）H : 179mm （3/8" Swagelok相当:SEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応）I : 203mm （1/2" VCR相当:SEC-N17×Rに対応）R : 209.4mm （1/2" Swagelok相当:SEC-N17×Rに対応）P : 159mm （1/2" VCR相当:SEF-N17×Rに対応）C : 165.5mm （1/2" Swagelok相当:SEF-N17×Rに対応）

▶型式・仕様選定表

❶（例）SEC-N1

型式決定覧仕様決定覧

1 2

MG※

MG

※SEC（F）-N17×はブランクになります。

M － T

❽1 － MR

MR

MG-04 1SLM 4CR B N2

❷ ❸ ❹ ❺ ❻ ❼ ❾ 11※10※ 12 13 14 15C －

R01

R1.5

01

1.5

02

2.5

03

3.5

04

4.5

05

5.5

06

3-10

8-30

25-100

75-300

250-1000

750-3000

2500-10000

4-11

11-35

35-110

110-350

350-1100

1100-3500

3500-11000

3-10

8-30

25-100

75-300

250-1000

750-3000

2500-10000

4-12

10-38

33-120

99-380

330-1300

1100-4100

3900-13000

3-8

7-25

21-83

64-250

210-830

610-2400

2000-8000

2-7

6-22

19-75

57-220

190-750

590-2300

2000-7800

N2 Ar H2 He CO2 CH4ガス種

MR.MG番号

▶マルチガス・マルチレンジ　フルスケール流量の一例

SEC-N112（W）、SEC-N114（W）、SEC-N115、SEC-N116、SEC-N117

● 上記ガス種以外もご利用いただけます。お問い合わせください。単位： SCCM

SEC-N100

5

6.5

07

08

09

10

10000-30000

30000-50000

50000-100000

100000-200000

10000-30000

30000-50000

50000-95000

95000-176000

10000-30000

30000-50000

50000-100000

100000-200000

12000-30000

30000-50000

50000-108000

108000-200000

7300-21000

21000-35000

35000-75000

75000-158000

5800-22000

22000-38000

38000-76000

76000-152000

N2 Ar H2 He CO2 CH4ガス種

MR.MG番号

SEC-N122（W）、SEC-N124（W）、SEC-N125、SEC-N126、SEC-N127

SEC-N132、SEC-N134、SEC-N135、SEC-N136

SEC-N1142、SEC-N144、SEC-N145、SEC-N146

● 上記ガス種以外もご利用いただけます。お問い合わせください。単位： SCCM

❾

10

❺

❻

❼

❽

幅寸法W ： 1.5inch

バルブタイプブランク : マスフローメータ（SEF）の場合 C : 非通電時閉（クローズ） O : 非通電時開（オープン）： SEC-N13×、SEC-N14×に対応

コネクタ位置T : コネクタ位置　ケース上面（SEC-N102W、SEC-N104Wに対応）S : コネクタ位置　ケース側面（ガス入口側）（SEC-N104Wに対応）

DeviceNet™ 出力範囲ブランク : DeviceNet™モデル以外 1 : 流量出力フルスケール"100%F.S." 3 : 流量出力フルスケール"133%F.S." 5 : 流量出力フルスケール"133.329%F.S."

❶

❷

❸

❹

型式SEC-N1 : マスフローコントローラSEF-N1 : マスフローメータ　

流量サイズ1 : 最大フルスケール流量 10 SLM（N2換算）2 : 最大フルスケール流量 50 SLM（N2換算）

通信形態2 : デジタル通信（RS-485 / F-Net Protocol）、アナログ通信（電圧信号）4 : DeviceNet™通信

シール材M : メタルシールR : ラバーシール

マルチレンジ・マルチガス（MR.MG）の番号 MR.MGの番号を指定してください。詳細は仕様一覧をご確認ください。

フルスケール流量フルスケール流量を指定してください。

11

12

13

●

配管継手4CR ： 1/4" VCR相当（SEC-N11×、SEC-N12×に対応）4IS ： 1/4" Swagelok相当（SEC-N100RWに対応）

面間距離B : 106mm 　（1/4" VCR相当:SEC-N11×W、SEC-N12×Wに対応）M : 127mm 　（1/4" Swagelok相当:SEC-N11×RW、SEC-N12×RWに対応）

使用ガス種ブランク : MR.MG対応でガス種を指定しない場合ex.N2 : 使用ガス内面研磨処理仕様をご要望のお客様はSEC-Z500X Seriesをご検討ください。

▶型式・仕様選定表

❶（例）SEC-N1

型式決定覧仕様決定覧

1 2

MG

MG M － T

1

1 － MR

MR

MG-04 1SLM 4CR B N2

❷ ❸ ❹W

W ❺ ❻ ❼ ❽ ❾ 10 11 12 13C

SEC-N100W

6

多機能制御ユニット：PE-S7による使用例

流量・積算出力

プログラム制御

流量・積算アラーム（上限・下限）

外部制御モード・流量設定・バルブ全開・全閉信号他

信号ケーブル SC-EDH Series

PE-S7

SEC-

N100

▶DeviceNet™通信

DeviceNet™通信とはオープン&グローバルなフィールドネットワークです。DeviceNet™通信の世界的な普及を支援する独立機関として、ODVA（Open

DeviceNet™ Vendors Association, Inc.）が編成されています。ODVAより仕様書EDS（Electronic Data Sheet）が提供され、マルチベンダ環境でのプログラムや操作性の共通化を計っています。またODVAによる認証試験が実施され、ODVA Conformance Testingに合格したデバイスには　　　　　　　ロゴの使用が許可されています。

▶デジタル通信PC

通信変換器電源

（PE Series）

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

デイジーチェーン接続

▶アナログ通信外部電源・制御信号による使用例信号ケーブル SC-EAH Series

流量設定信号

流量出力信号

バルブ電圧モニタ出力バルブ制御信号:全閉/全開

駆動電源:±15VDCSEC-

N100

接続例

▶CC-Link®通信

CC-Link®通信とは制御と情報を同時に扱えるオープンな高速フィールドネットワークです。最大10Mbpsという圧倒的な高速応答性を実現し、通信の定時性が確保されていることが大きな特長です。実際のCC-Link®システムのリンクスキャンタイムは、計算値とほぼ同等のため、高速応答を必要とするセンサ入力や大容量のデータ通信を必要とするインテリジェント機器との通信に柔軟に対応します。CC-Link®協会は、日本を拠点に、アジアをはじめとする世界の６地域に活動拠点を開設しており、産業用ネットワークCC-Link®のさらなるオープン化を世界に先駆けて推進しています。

PLC

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

駆動電源

RS485デジタル通信コネクタピンNo.12345678

信号名称デジタル信号　コモンデジタル信号　コモンN.C.シリアル出力　（－）シリアル出力　（＋）N.C.N.C.N.C.

使用コネクタ：RJ45コネクタ

型式SEC-N102

流量設定信号0.1～5VDC0.1～5VDC0.2～10VDC4.32～20ｍA

流量出力信号0～5VDC0～5VDC0～10VDC4～20mA

SEC-N105, SEC-N106 アナログ用コネクタ

※1 マスフローメータではN.C.となります。※ 流量設定信号入の力インピーダンスについて　0～5VDC、0～10VDC：1MΩ、4～20mA：250Ω 流量出力信号の負荷抵抗について　0～5VDC：最小負荷抵抗2kΩ、 0～10VDC：最小負荷抵抗5kΩ /4～20mA：最大負荷抵抗250Ω※2 電源回路と入出力回路は絶縁されています。

ピンNo.123456789

信号名称

使用コネクタ：D-Subminiature 9コンタクトピンコネクタ（#4-40 UNC インチネジタイプ）

SEC-N102（W）アナログ用コネクタ

※1 マスフローメータではN.C.となります。※2 バルブ駆動電流によるコモン電圧変動を防ぐため、Pin No.4の電源コモンとPin No.7のシグ

ナルコモンは、供給電源のGND側で接続されている必要があります。MFC内部では接続されていませんので、必ず別々に配線し、供給電源側で共通となる様に接続して下さい。Pin No.7とPin No.8のシグナルコモンは、MFC内部で接続されています。

ピンNo.123456789

信号名称バルブ強制開閉信号 ※1流量出力信号　0～5V DC（最小負荷抵抗は2kΩ）電　　　　源　＋15V DC電　　　　源　コモン ※2電　　　　源　－15V DC流量設定信号　0～5V DC（入力インピーダンスは1MΩ以上） ※1信　　　　号　コモン ※2信　　　　号　コモン ※2バルブ電圧モニタ ※1

使用コネクタ：D-Subminiature 9コンタクトピンコネクタ（M3かん合ネジタイプ）

バルブ強制開閉信号 ※1流量出力信号電　　　　源　（13～32VDC） ※2信　　　　号　コモン電　　　　源　コモン（0VDC） ※2流量設定信号 ※1流量出力信号　コモン流量設定信号　コモンバルブ電圧モニタ ※1

PLC

PLC バスライン +24V

マスタ

バスライン

DeviceNet™ ケーブル

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

（信号ケーブル SC-EAH Series はSEC-N102（W）に対応）（信号ケーブル SC-EDH Series はSEC-N102（W）に対応）

電源供給コネクタピンNo.123456789

信号名称N.C.N.C.電源 +24VDC（13～32VDC）N.C.電源リターン 0VDCN.C.N.C.N.C.N.C.

使用コネクタ：D-Subminiature 9pin Maleタイプ（#4-40 UNC インチネジタイプ）

CC-Link®通信コネクタ

MFC本体使用コネクタ：DMC, 5/5-G1F3, 5-LR P20THR5局数×2段タイプ

MFC Flow Direction

DA

DB

DG

SL

D

FQ

SEC-N105SEC-N106

RS-485通信ケーブル SC-EBR

電源

N.C. ：ノンコネクション（何も接続しないでください。）

7

A C D H I G

B E JF

Q RL SO M

T UPNK

PROFIBUS™通信とはオープンなフィールドバスです。国際規格IEC61158に認定され、その仕様目的に応じて最適な使い分けができるように、ファクトリー・オートメーション用としてPROFIBUS™ DP、プロセス・オートメーション用としてPROFIBUS™ PAの2種類のバスでファミリーを構成されています。世界的な普及を支援するプロフィバス™協会が組織されています。

SEC-N102（W） SEC-N104（W）

SEC-N106

A

B

C

D

E

RS-485通信。デイジーチェーン接続が可能。

駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ

ゼロ点補正用スイッチ

0×01～0×99の範囲で設定可能。（但し、0×△A～△Fは設定不可）

アナログ通信時:緑点灯

デジタル通信時:緑点滅

※アラーム時、ゼロ点補正異常時は、赤色になります。

Flow Flow

Flow

記号名　　称説　　　　　明

F

G

H

I

J

DeviceNet™通信用。シールド型マイクロコネクタ。

通信速度を設定。

ゼロ点補正用スイッチ。

00～63の範囲で設定可能。

N E T：ネットワークの状態を表します。

MOD：ノードの状態を表します。

PROFIBUS™通信用。


0×01～0×7Dの範囲で設定可能

N E T：ネットワークの状態を示します。

MOD：ノードの状態を表します。

駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ

DeviceNet™コネクタ

通信速度設定スイッチ

ZEROアジャストスイッチ

Address 設定スイッチ

インジケータLED

記号名　　称説　　　　　明デジタル通信コネクタ

アナログコネクタ




▶デジタル・アナログ通信モデル

SEC-N105

K

L

M

N

O

P

CC-Link®通信用。


1～64の範囲で設定可能

CC-Link®の通信状態を表します

0～4の範囲で設定可能

駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ。

Flow


CC-Link®コネクタ


局番設定用ロータリースイッチ

通信ステータス用LED

通信速度設定用ロータリースイッチ

電源・アナログ通信用コネクタ

▶CC-Link®通信モデル

▶DeviceNet™通信モデル

▶プロフィバス™通信・アナログ通信モデル

sPROFIBSTM通信PLC

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

駆動電源

記号Q

R

S

T

U

名　　　称

PROFIBUS™コネクタ




アナログコネクタ

説　　　　　明

プロフィバス™通信コネクタピンNo.123456789

信号名称N.C.N.C.RXD/TXD-PCNTR-PデジタルグランドV.P.N.C.RXD/TXD-NN.C.

使用コネクタ：D-Subminiature 9コンタクトソケットコネクタ（#4-40 UNC インチネジタイプ）

電源供給コネクタピンNo.123456789

信号名称N.C.N.C.電源 +24VDC（13～32VDC）N.C.電源リターン 0VDCN.C.N.C.N.C.N.C.

使用コネクタ：D-Subminiature 9pin Maleタイプ（#4-40 UNC インチネジタイプ）

sEtherCAT 通信

8

電源コネクタ

EtherCATⓇ通信とは特長イーサネットベースのオープンなフィールドバスシステムです。EtherCATⓇのサポートと

普及を推進し、相互互換性を保つための国際フォーラムとしてETG (EtherCATⓇ

Technology Group) が設立されています。ETGはEtherCATⓇの機能的要件やコンフォーマンステストおよびその認証手順を規定しており、ETGの定める条件を満たしたデバイスのみが　　　　　ロゴの使用を許可されます。

・多数のデバイスに対して同時に通信を行うことで、高バス効率で高速なデータスキャンを実現します。・マスターはデバイスへの接続に際して標準的なイーサネットインターフェイスを使用でき、高価な専用ハードウェアを必要としません。

12345

V＋N.C.

Power CommonN.C.N.C.

EtherCAT Ⓡマスタ

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100

SEC-

N100駆動電源:+24VDC 使用コネクタ：M8 5pin オスコネクタ

※EtherCATⓇ Technology Group 規格:ETG5003.2020に適合　するものをご使用ください。

○R

1

432

5電源

信号名称ピンNo.

型　式固定ネジ位置H T WI

D1/4" VCR type 1/2" VCR type

SEC(F)-N112

SEC(F)-N122

SEC(F)-N112W

SEC(F)-N122W

SEC(F)-N132

SEC(F)-N142

SEC(F)-N114

SEC(F)-N124

SEC(F)-N114W

SEC(F)-N124W

SEC(F)-N134

SEC(F)-N144

SEC(F)-N115

SEC(F)-N125

SEC(F)-N135

SEC(F)-N145

SEC(F)-N116

SEC(F)-N126

SEC(F)-N136

SEC(F)-N146

SEC(F)-N117

SEC(F)-N127

SEC-N172R

SEC-N174R

SEC-N175R

SEC-N176R

SEC-N177R

SEF-N172R

SEF-N174R

SEF-N175R

SEF-N176R

SEF-N177R

126±1

126±1

139±1

126±1

126±1

150±1

132±1

139±1

132±1

139±1

30.5±0.5

38±0.5

38.3±0.5

30.5±0.5

38±0.5

38.3±0.5

30.5±0.5

38.3±0.5

30.5±0.5

38.3±0.5

81.8

63.8

70.4（1/2" VCR type）94.4（3/8" SWL type）

81.8

63.8

70.4（1/2" VCR type）94.4（3/8" SWL type）

81.8

70.4（1/2" VCR type）94.4（3/8" SWL type）

81.8

70.4（1/2" VCR type）94.4（3/8" SWL type）

12.7

12.7

18.5（1/2" VCR type）22（3/8" SWL type）

12.7

12.7

18.5（1/2" VCR type）22（3/8" SWL type）

12.7

18.5（1/2" VCR type）22（3/8" SWL type）

12.7

18.5（1/2" VCR type）22（3/8" SWL type）

124±1（4CRL）

106±1

124±1（4CRL）

106±1

124±1（4CRL）

―

124±1（4CRL）

―

3/8" SWL type 1/2"SWL type

―

―

150.4（6ISJ）

179（6ISH）

―

―

150.4（6ISJ）

179（6ISH）

―

150.4（6ISJ）

179（6ISH）

―

150.4（6ISJ）

179（6ISH）

1/4" SWL type

132

127

―

132

127

―

132

―

132

―

上図Ⓐをご参照ください。

上図Ⓑをご参照ください。

上図Ⓒをご参照ください。

上図Ⓓをご参照ください。

上図Ⓕをご参照ください。


上図Ⓑをご参照ください。

上図Ⓒをご参照ください。




上図Ⓔをご参照ください。






（単位：mm）

132（8CRS） 150.4（8CRJ）177（8CRG）

132（8CRS） 150.4（8CRJ）177（8CRG）

―

132（8CRS） 150.4（8CRJ）177（8CRG）

132（8CRS） 150.4（8CRJ）177（8CRG）

171±１

177±１

30.5±0.5132±1

75

81.8

128±２

124±1（4CRL）

203±2(8CRI)

203±2(8CRI)

209.4(8ISR)

209.4(8ISR)

37.5

12.7

上図Ⓖをご参照ください。


75

75

180±1 128±２ 37.5 上図Ⓖをご参照ください。

159±2(8CRP) 165.6(8ISC)75180±1 84±２ 37.5 上図Ⓗをご参照ください。

171±１

177±１

84±２ 159±2(8CRP) 165.6(8ISC) 37.5 上図Ⓗをご参照ください。

W T

I

D

H

15±0.1

21.920±0.1

15±0.1

21.920±0.1

2-M4 4DEPTH

2-M4 4DEPTH

Ⓑ

Ⓐ

Ⓒ

Ⓔ

Ⓕ

30.35

2-M4 5DEPTH

P.C.D.36±0.1

45°

Ⓓ

Ⓗ

15±0.1

27.820±0.1

2-M4 4DEPTH

49.05

2-M4 5DEPTH

P.C.D.36±0.1

45°

15±0.1

21.920±0.1

2-M4 4DEPTH

20

20

Ⓖ

8.78.7 66.8±18.7

4-M6 10DEPTH

4-M6 10DEPTH

110.6±18.7

▶外形寸法

接続例


SEC-N107

9

▶EtherCATⓇ通信モデル駆動電源の供給コネクタ。

サービス用の通信ポート。

0x0000～0x0FFF の範囲で設定可能。

※このIDをEtherCATⓇ通信で使用する場合は所定の初期設定を行う必要が　　あります。設定方法が不明な場合はお問い合わせください。


EtherCATⓇ通信用。IN側の接続。

EtherCATⓇ通信用。OUT側の接続。

MFCの状態を表します。

正常：緑点灯

異常：異常要因により赤点灯もしくは赤緑点滅

ECAT ERR： EtherCATⓇ通信のエラー状態を示します。

POWER：電源供給時に緑点灯します。LA：各ポートのリンク・アクティブ状態を示します。RUN： EtherCATⓇステートマシンの状態を示します。Flow

a

b

c

d

e

f

g

h

電源コネクタDIAG 通信ポート

EtherCATⓇIDセレクタ


EtherCATⓇINポートEtherCATⓇOUTポート

MFC インジケータLED

EtherCATⓇ

インジケータLEDhg

a b de f

c

▶デジタルマスフローコントローラの構造と動作原理デジタルマスフローコントローラ：SEC-N100 Seriesの主な構造は右図の通りです。流量計測部：センサ・バイパス、流量制御バルブ、回路部から成り立っています。回路部へのCPU搭載により、高性能化・多機能化を実現しています。ガスはInlet継手部より導入され、流量センサとバイパスに分流されます。センサによりガスの質量流量を計測し、外部より与えられる流量設定信号と計測した流量の変位がゼロと成るように流量制御バルブが流量を制御します。ループ回路を採用し、導入ガスの供給圧力や二次側圧力変化や周囲温度変化等が生じた場合でも瞬時に流量補正を行い安定した流量制御が行えます。

内部構造

流量センサ流量制御バルブ

流量出力信号

駆動電源

流量設定信号

Inlet Outlet

A/Dconverter

D/A・A/Dconverter

Valve drivercircuit

Driver/Receiver

バイパス

CPU

関連製品

PE-S7多機能制御ユニット

■主な仕様

プログラム設定機能、プリセット機能に加え積算機能を付帯し、RoHS指令に対応した多機能制御ユニットです。前面パネルからの操作が行え、操作性が向上しました。

●マルチレンジ機能搭載　●流量設定機能/プリセット6点　●プログラム制御機能　●流量表示機能：SET/OUTを同時に表示可能　●瞬時・積算流量アラーム出力機能　外部出力：オープンコレクタ　●ソフトスタート機能搭載　ソフトスタート：60秒以下の設定　スロースタート：1200秒以下の設定　●流量信号出力：0～5VDC　●外部制御機能　流量設定信号入力　流量制御バルブ制御信号入力：全開・全閉　●電源入力：AC100V～240V 50/60Hz 30VA MAX　●寸法：48（W）×192（H）×190（D）mm（突起部除く）　●適応規格　安全規格・CEマーキング対応、EMC指令対応、FCC対応、電気用品安全法（PSE法）対応　環境対応：RoHS指令対応　●デジタル/アナログ通信モデルに対応

▶スタンダードモデル PE-20 Series

▶上下限流量アラーム搭載モデル PE-30A Series

● 上下限流量アラームを各々の駆動機器に対して設定可能です。アラーム設定は本体搭載のボリュームにて行います。

● デジタル／アナログ通信機器に対応。

▶電流制御モデル PE-30 Series

● 電流制御:4～20mAが可能で、アナログ信号による長距離制御が可能です。● 上下限流量アラームを各々の駆動機器に対して設定可能です。アラーム設定は本体搭載のボリュームにて行います。

● デジタル／アナログ通信機器に対応。

デジタル／アナログ通信機器に対応。

電源入力：AC100～240V 50/60Hz

1台駆動　PE-21 （30VA MAX）4台駆動　PE-24 （90VA MAX）6台駆動　PE-26 （140VA MAX）

電源入力：AC100～240V 50/60Hz

1台駆動　PE-31A （30VA MAX）4台駆動　PE-34A （90VA MAX）6台駆動　PE-36A （140VA MAX）

電源入力：AC100～240V 50/60Hz

1台駆動　PE-31S （30VA MAX）4台駆動　PE-34S （90VA MAX）

PE Series専用電源

マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧：5VDCを供給します。また電流制御（4～20mA）対応モデル、流量アラーム出力搭載モデルや複数台（4/6台）駆動出来るモデルをラインアップしています。全モデルに対して、安全規格:CEマーキング、EMC指令、FCC、電気用品安全法（PSE法）及び環境対応：RoHS指令に対応しています。

10

SEC-N100 Seriesでは、製品の仕様（3、4ページ）の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のために使用部品・生産手法などの変更をお客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。

カタログNo. SN-KJ

●このカタログの記載内容については、改良のために仕様・外観等、予告なく変更することがあります。●このカタログの製品詳細については別途ご相談ください。●このカタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合もあります。●このカタログに記載されている内容の一部または全部を無断転載することは禁止されています。●このカタログに記載されている製品は日本国内仕様です。海外仕様については別途ご相談ください。●このカタログで使用されている製品画面は、はめ込み合成です。●このカタログに記載されている各社の社名、製品名およびサービス名は、各社の商標または登録商標です。●希望販売価格は参考価格です。詳しくは代理店、販売店にお尋ねください。●製品を輸出される際には、製品の保証条件についてあらかじめご相談ください。●DeviceNet は Open DeviceNet Vendors Association, Inc の登録商標です。●EtherCAT は Beckhoff Automation GmbH, Germany の登録商標です。

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HORIBAグループでは、品質ISO9001•環境ISO14001•労働安全衛生OHSAS18001を統合したマネジメントシステム（IMS:JQA-IG001）を運用しています。さらに事業継続マネジメントISO22301を加え、有事の際にも安定した製品•サービスを提供できるシステムに進化しました。

sec-n107 - horibay=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f 0 20% 60% 20% 40% 60% 80% 100% 40% 80% 100%...

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