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WEST・BOND MODEL 7476D シリーズ取扱説明書

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MODEL 7476D シリーズ

マニュアルウエッジワイヤーボンダー取扱説明書

Serial No.：

P.O.No:

ハイソル株式会社〒110-0005 東京都台東区上野 1-17-6

TEL：03-3836-2800

FAX：03-3836-2266

http://www.HisoL.jp


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目次

目次

■モデルの説明・・・ 3 ページ

■フューチャー（ワークホルダー）の説明・・・ 6 ページ

■注意事項・・・ 7 ページ

■設置・・・ 8 ページ

■マシンセットアップ（ボンディングウエッジの取り付け）・・・ 13 ページ

■マシンセットアップ（BOND TOOL POSITION SET UP）・・・ 17 ページ

■マシンセットアップ（ワイヤーの取り付け）・・・ 21 ページ

■マシンセットアップ（オプションテーブル）・・・ 30 ページ

■マシンセットアップ（クランパーユニット取付け）・・・ 31 ページ

■マシンセットアップ（仕様の変更）・・・ 34 ページ

■スイッチの説明・・・ 36 ページ

■ワイヤーボンディングの基本操作・・・ 41 ページ

■ワイヤーボンディング時の LCD パネルの表示説明・・・ 42 ページ

■スティッチボンディングの基本操作・・・ 44 ページ

■スティッチボンディング時の LCD パネルの表示説明・・・ 45 ページ

■ワイヤーフィードの基本操作及び LCD パネルの表示説明・・・ 46 ページ

■プログラミング（プログラムモードの概略）・・・ 47 ページ

■プログラミング（プログラムモードへの入り方、隠されたプログラムメニュー）・・・ 48 ページ

■プログラミング（ボンドセッティング）・・・ 49 ページ

■トラブルシューティング・・・ 62 ページ

■スペアパーツリスト・・・ 70 ページ

■その他・・・ 72 ページ

■写真及び回路図・・・ 73 ページ


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概略

【概要】

モデル 7476D 超音波熱圧着ウエッジワイヤーボンダーは、研究開発及び少量多品種の生産にて好評を得ており

ましたモデル 7400A 及び 7400C シリーズを発展させたマニュアルワイヤーボンダーです。

特にワイヤークランパー（ワイヤーをクランプする部分）にはエアーによる開動作を行う“E ワイヤークランプ”が

導入されており、新しいツールアッセンブリーによる安定したボンディングを実現する事が出来るようになりました。

尚、モデル 7476D は構成により 7400D 仕様（45 度仕様）と 7600D 仕様（90 度仕様）の 2 種類に分けることが

可能となっております。

ツールアッセンブリー構造図

【アプリケーション説明その 1 7400D 仕様】

7400D 仕様は 0.0007″～0.002″（18～50μm）径の

金線及びアルミ線をボンディングすることが出来ます。

ボンディングは超音波エネルギー（パワー及び印加時間）

荷重、温度（金線の場合）を使用してウエッジ／ウエッジ工法

で行われます。

ワイヤーはワイヤードラッグチューブ／ワイヤークランパー／

ボンディングウエッジ（ボンディングツール）の順で 45 度の

角度で通されます。

オペレーションはオペレーターが顕微鏡下で観察しながら

X-Y-Z 3 軸マニピュレーター（WEST・BOND 社製品の特許）

を使用してツールアッセンブリー部分

（ボンディングウエッジが付いている部分）を 7400D 仕様の場合のヘッドアッセンブリー

動かしてボンディングを行います。


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概略

【アプリケーション説明その 2 7600D 仕様】

7600D 仕様は 0.0007″～0.002″（18～50μm）径の

金線、アルミ線及び W=300μm までのリボン線をボンディング

することが出来ます。

ボンディングは超音波エネルギー（パワー及び印加時間）

荷重、温度（金線の場合）を使用してウエッジ／ウエッジ工法

で行われます。

ワイヤーはワイヤードラッグチューブ／ワイヤークランパー／

ボンディングウエッジ（ボンディングツール）の順で 90 度の

角度で通されます。

オペレーションはオペレーターが顕微鏡下で観察しながら

X-Y-Z 3 軸マニピュレーター（WEST・BOND 社製品の特許） 7600D 仕様の場合のヘッドアッセンブリー

を使用してツールアッセンブリー部分

（ボンディングウエッジが付いている部分）を動かしてボンディングを行います。

【ツールアッセンブリー】

モデル 7476D の新しいツールアッセンブリーの特長は“E シリーズ”から導入されたワイヤークランパーです。

これはエアーで開き、スプリングで閉じる機構を有しており、ボンディングウエッジに対するワイヤークランパー

の位置調整も 3 軸の独立した調整部分を有している事から容易に行う事が可能となっております。

超音波振動子（トランスデューサー）は 1・1／2 波長、周波数 63KHz で動作する。K-Sine MODEL K-74D-W

取付け可能なボンディングウエッジ長は 0.750″（約 19.0mm）で取付け後に 0.656″（約 16.7mm）突き出る形と

なります。尚、本体内蔵の超音波発振器は、出力 4W デュアルチャンネルとなります。

荷重（ボンドフォース）の範囲は 18-90g となっており、プログラム上のデュアルフォースを ON にする事で

エアーシリンダー部分（圧縮スプリングが内蔵）が駆動するようになり 2 つの荷重設定（HI／LOW）が可能となり

これらをボンド毎に設定可能となります。

ボンディングはファイヤリングスイッチで検知され、ワイヤーテールがフィードされる高さは

Z 軸オプティカルエンコーダーで設定されます。

【メカニカル】

ツールアッセンブリーのピボット半径は従来同様 8.688″（約 220mm）、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターによる

ボンディングウエッジの動作範囲は 8:1 のメカ比率で垂直方向に 0.563″（約 14.3mm）、水平方向に 0.625″

（約 16mm）となります。

尚、テーブル（ワークプラットフォーム）は通常は本体部にネジ固定されておりますが、オプションの高さ調整機構

付属テーブル“型番：79C”もご用意致しております。

【ESD 保護】

静電気対策（ESD 対策）としてツールアッセンブリー及びその他の稼動部分は導電性の無電解ニッケルメッキ及び

粉体塗料により仕上げられております。


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概略

【ソフトウエアー及びハードウエアー】

マシンロジック・モーター動作・超音波エネルギー等のコントロールは Motorola 68000 マイクロプロセッサー及び

256KB RAM 付属の WEST・BOND Parts No.8100 CPU でプログラムされ実行されます。

全てのプログラムは 4 行 40 文字の LCD ディスプレー上に表示され、そこの指示に従いプログラムの変更を

行う事が出来ます。

プログラムは 3 種類までメモリー可能で、これらはバッファースイッチの切替えで選択する事が可能です。

プログラムの詳細は以降をご参照下さい。

【マシン構成】

モデル 7476D の構成は仕様により 2 種類に分けることが出来ます。

それに伴って付属品の構成が変わりますのでご了承下さい。

7400D 仕様の場合

① 本体部モデル 7476D（7400D 仕様）

② 温度コントローラーモデル 1200D

③ ワイヤーディスプーラーモデル K1100

④ ワークホルダー（カスタムで作製致します）

⑤ 顕微鏡 1 式（オリンパス社製品を標準としておりますが他メーカーの製品でも取付け可能です）

⑥ 45 度ボンディングウエッジ等小物

7600D 仕様の場合

⑦ 本体部モデル 7476D（7600D 仕様）

⑧ 温度コントローラーモデル 1200D

⑨ ワイヤーディスプーラーモデル K1100

⑩ ワークホルダー（カスタムで作製致します）

⑪ 顕微鏡 1 式（オリンパス社製品を標準としておりますが他メーカーの製品でも取付け可能です）

⑫ 90 度ボンディングウエッジ等小物

その他オプション品もご用意致しております。

別途お問い合わせ下さい。

【ユーティリティー】

電源・電圧：100VAC 50-60Hz 3A 3P コンセント接続（トータル 10A 程度）

エアー：4kg／cm2

エアーチューブ：1／4 インチ又は 6x4mm（内径 4mm）チューブ接続

【寸法及び重量】

寸法：559（D）X483(W)X305(H)mm（顕微鏡無し）

重量：約 27kg（梱包無し・顕微鏡無し）約 43kg（梱包あり・顕微鏡無し）


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ワークホルダー

各種ワークホルダーに関しましては弊社（HISOL）にて設計・製作を致しております。

よって、英文の取扱説明書部分は割愛させて頂きます。

以下は標準タイプワークホルダー（H-001）の写真です。

お客様の仕様に合ったワークホルダーを、モデル 1200D 温度コントローラーに接続し

ボンディングサンプルを加熱して頂きます。

その際、ボンディングサンプルが動かないように固定されている事をご確認下さい。


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注意事項

【グランド配線】

全てのマシン配線は共通グランドを通して電源コード（プラグ）に繋がっております。

【安全性及び快適さ】

人間工学研究によれば、長時間の繰り返し動作は障害につながるような肉体疲労を起こす事が

指摘されております。以降に手根管圧迫症候群（CTS）や腱炎及び腱鞘炎にならないようにする為の対処方法を

纏めましたのでご参照下さい。

又、生産効率をアップの為に、作業環境を快適にすることをお薦め致します。

【作業前の準備運動】

ボンディング作業を行う前に軽い準備運動を行う事をお薦め致します。

① 首周りの筋肉を回す、伸ばすなどストレッチを行う。

② 肩周りの筋肉を回す、伸ばすなどのストレッチを行う。

③ 手首・肘等、腕周りの筋肉を回す、伸ばすなどのストレッチを行う。

上記を行い、ボンディング前に体を十分にほぐして下さい。

【作業現場での準備運動】

座った姿勢での長時間の作業は非常に疲れますが、作業に集中しているときはこの疲れに気付かない場合が

ございますので定期的に上記ストレッチを行う事をお薦め致します。

【作業後のクールダウン運動】

作業終了後にも上記ストレッチを行い、体を十分にほぐして下さい。

尚、マシン操作中に苦痛など違和感がある場合は医療関係者にご相談下さい

【机・椅子】

前かがみの姿勢は背中の緊張を高め、筋肉が疲弊致します。

各オペレーターに合った机・椅子をご用意頂き作業を行って下さい。

【顕微鏡】

定期的に顕微鏡の接眼レンズから目を離し、暫くの間、遠くを見るようにして下さい。

又、接眼レンズに汚れが無く、顕微鏡は同一焦点になっている様に予め調整を行って下さい。

【X-Y-Z 3 軸マニピュレーター】

WEST・BOND 社製品の大の特長である“X-Y-Z 3 軸マニピュレーター”を使用することで、小限の動作で

操作できるように設計されております。

持ち方の基本は、手首部分を机につけた状態で、右手の親指・中指・人差し指で X-Y-Z 3 軸マニピュレーターの

ボール部分を掴み操作致します。

ボンディング時はソフトタッチで作業を行う事を基本とし、短時間の作業で腕が疲れる場合は、作業方法や

持ち方を変更し作業を行って下さい。


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設置

【ステップ 1】

マシンは約 900mm 角のダンボールに梱包されて出荷されます。

そのダンボール外壁に「OPEN THIS END」の表記がございますので、そちらから開梱をスタートして下さい。

尚、ダンボールは 2 重になっており、外箱を開けますと、中に緩衝材（発泡材 8 箇所）で固定された内箱が

あります。外箱を開けた側の緩衝材 4 個を取り外し、内箱を開けて下さい。

内箱の中には「付属品が入ったダンボール」と「本体（出荷用木製ボード固定済）」が入っておりますので

初に「付属品が入ったダンボール」を取り出し、中身を確認して下さい。

尚、英文の取扱説明書には付属品のリストが記載されておりますが、日本国内向け製品につきましては

弊社にてお客様の仕様に合わせた準備を致しておりますので、お見積書や仕様書等で物品確認を行って下さい。


【出荷用木製ボード】が取り付いた本体を内箱から

取り出してください。

【注意事項】

X-Y-Z 3 軸マニピュレーター部分（A）は

持たないようにして下さい。

（A）


モデル 7476D と出荷用木製ボードを固定している

4 本又は 6 本のボルト（B）を外して取り外して下さい。

【注意事項】

将来のマシン移設に備え、梱包材は残しておいて

下さい。

（B）

【オプション 79C】

仕様にオプションである【79C ワークアジャスタブル

テーブル（高さ調整機構付属テーブル）】が付属

している場合は、マシン本体に取り付けて下さい。

79C ワークアジャスタブルテーブル

高さ調整用ノブ


モデル 7476D を設置場所に置いて下さい。


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設置


本体部の左右側面にあるネジ 4 箇所の内、手前側の左右 2 箇所（C）を緩め、カバーを開けて下さい。

（C）


本体右側、ツールアッセンブリーを固定している

出荷用ブラケット①（白いブロック）を取り外して下さい。

（ネジ 1 本）

①


本体右側、ツールアッセンブリーをメインプレート部分に固定している出荷用 L 型ブロック②を取り外して下さい。

（ネジ 3 本）

②


10

3

設置


本体左側、マニピュレーターカウンターバランスウエート（金色）をメインプレートに固定している出荷用 L 型ブロック

③を取り外して下さい。（ネジ 2 本）

③


付属品 BOX から顕微鏡取り付けブロック（Ｄ）（金属製白色）を取り出し、本体上面に取り付けて下さい。

（Ｄ）


顕微鏡・照明を取り付け、照明電源を 100V に差し込んで下さい。


付属品 BOX からマニピュレーターアーム（Ｅ）を取り出し、ネジ 2 箇所で固定して下さい。

（Ｅ）


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設置


基板 2 種類を本体左側に取り付けて下さい。その際しっかり挿入されている事を確認して下さい。

① Machine Control PCB（P/N：9810）奥側基板の取り付けを行って下さい。

ケーブルコネクター 2 箇所（Ｆ）がしっかり取り付けられていることを確認して下さい。

（Ｆ）

② ＭｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｏｒＣｉｒｃｕｉｔ PCB（P/N：8100）手前側基板の取り付けを行って下さい。


レギュレーター及び取付けステイをマシン背面のパネルに取り付けて下さい。

取り付けステイレギュレーター


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設置

次に、エアー（4-5kg／cm2 程度）をレギュレーターに接続し、

レギュレーターの表示で 50psi に調整して下さい。

その際、使用するエアーチューブは 1／4 インチチューブ

又は 6x4mm チューブとなります。

尚、オプションのコンプレッサーをマシンに付属した場合は、

コンプレッサーを 100V に接続し、6x4mm チューブで

レギュレーターに接続することになります。


マシン本体を 100V 電源に接続して下さい。

尚、マシンには１A のヒューズを使用しており、ヒューズはマシン背面パネル右側にございます。


【モデル 1200D 温度コントローラー】及び【モデル K1100 自動ワイヤーディスプーラー】をセットアップして下さい。

別途、個別の取扱説明書をご参照下さい。

以上でマシンの操作準備が完了となります。

次項でボンディングウエッジの取り付け方法、操作方法等に関してご説明を致します。

上記写真は、設置準備完了後の状態となります。

尚、仕様により顕微鏡・照明・オプション品（79C ワークアジャスタブルテーブル）等に若干の違いが見られます。

【モデル K1100】は顕微鏡の奥側に隠れておりますので、この写真で確認する事は出来ません

予めご了承下さい。


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マシンセットアップ（ボンディングウエッジの取付け）

【ボンディングウエッジ取り付け前に】

まず初めに【モデル 7476D】は【7400D 仕様】と【7600D 仕様】の 2 種類の仕様に分けることが出来ます。

ボンディングウエッジ（以降ウエッジ）はその仕様に合ったものをご使用頂く様にお願い致します。

【7400D 仕様のウエッジについて】

【7400D 仕様】は下図の様に 45 度の角度でワイヤーを通すことになります。

その為ウエッジ先端部分のみに穴の開いたウエッジを取り付けて下さい。

WEST・BOND 社製品の標準品 DEWEYL（デュワイル）社製ウエッジの場合、型番内に【V】及び【R】の

アルファベットが入っていないものをご使用下さい。

＜例＞型番：MCSOE-1/16-750-45-C-2025-M 等

尚、取付け可能なウエッジの外形寸法はシャンク径（直径）は 1／16″（約 1.58mmφ）

長さは 0.750″（約 19mm）となっております。

7400D 仕様のワイヤー経路図

45 度ボンディングウエッジ

SIDE VIEW45 Degree

Wire Path


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【7600D 仕様のウエッジについて】

7600D 仕様は下図の様に取り付けたウエッジ上部から真下に向けて 90 度の角度でワイヤーを通し、その後

ある角度でウエッジ先端部の穴にワイヤーを通します。その為、ウエッジ先端部分以外に突き抜けの穴が

開いたウエッジを取り付けて下さい。

WEST・BOND 社製品の標準品 DEWEYL（デュワイル）社製ウエッジの場合、型番内に【V】又は【R】の

アルファベットが入っているものをご使用下さい。

＜例＞型番：MKNLVE-1/16-750-52-F-2025-MP-A8D 等

尚、取付け可能なウエッジの外形寸法はシャンク径（直径）は 1／16″（約 1.58mmφ）

長さは 0.750″（約 19mm）となっております。

7600D 仕様のワイヤー経路図

90 度ボンディングウエッジ

Wire Path

SIDE VIEWVertical Feed


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【ウエッジの取付け】

ウエッジの取付けは、専用のツールゲージ（ウエッジ取付け冶具型番：3475.013）を使用して

マニュアル作業で行います。下記にその流れを明記致します。

ウエッジ取付け冶具型番：3475.013


超音波振動子（トランスデューサー）先端部にあるセットスクリュー（ネジ型番：2-56x3／32）を緩めて下さい。

セットスクリュートランスデューサーセットスクリュートランスデューサー


ワイヤークランパーを【OPEN】の状態にした上でウエッジをケースから取り出し、トランスデューサーに差し込み

セットスクリューを閉めて下さい（仮の位置調整）

ワイヤークランパーを【OPEN】状態にするには、本体左側下部の【CLAMP スイッチ】を【OPEN】側に

倒して下さい。

【CLAMP スイッチ】

こちら側に倒す


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付属品のツールゲージを下記写真の様に当て、キャピラリーの長さを目視で調整し、位置決めを行って下さい。

その後、【CLAMP スイッチ】を【FEED】側に倒し、ワイヤークランパーを【CLOSE】状態にして下さい。

【CLMP スイッチ】

【7400D 仕様の場合の注意事項】

ワイヤークランパーを【CLOSE】にした際トランスデューサー

ワイヤークランパーとウエッジ又はトランスデューサーが

接触していない事をご確認下さい。

接触する場合はワイヤークランパーの位置が

適切な箇所についていないことになり

安定したボンディングを行うことが出来なくなります。

その場合はワイヤークランパーの調整を行う必要がございます。

以降の【クランパーユニット取付け】をご参照下さい

ウエッジ

クランパー

以上でウエッジの取付けが終了致します。

続いてウエッジ交換時のツールコンディションの調整方法をご説明させて頂きます。

こちら側に倒す


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マシンセットアップ（BOND TOOL POSITION SET UP）

【Ultrasonic Positioning Utility （UPU）について】

従来まではツールゲージを使用してウエッジの位置決めをし、ボンディングポイントの適化を行って参りました。

しかし、超音波の伝達効率はウエッジ長が長いものほど、取り付け位置や締め付けトルクによる変化が

大きいことがテストで判明致しました。

その為に開発されたものが UPU となります。これはウエッジ交換時の超音波伝達効率の変化

（ツールコンディション）をソフトウエアー上で数値表示し、条件を適化するものです。

（マシンの状態によってもその数値には変化がございますので予めご了承下さい。）

これらはプログラム【BOND TOOL POSITION SETUP】で調整を行う事が可能となります。

以降で【BOND TOOL POSITION SETUP】の使用方法をご説明させて頂きます。

【BOND TOOL POSITION SETUP の使用方法】

ツールコンディションは、ウエッジの取付け条件（締め付けトルク、取付け位置、マシンの状態）により変化します。

ウエッジを交換した際には、以下の【BOND TOOL POSITION】機能を使用し、ツールコンディションの確認及び

調整を行うことをお勧め致します。

尚、各部の名称は本体写真をご参照下さい。


本体の電源が OFF の状態を確認の上、ウエッジを

超音波振動子（トランスデューサー）に取り付ける。

その際ツールゲージを使用してください。

トランスデューサー

ツールゲージ

尚、締め付けトルクによる数値の変化もございますのでトルクレンチをご使用頂く事をご推奨させて頂きます

トルクレンチ RTD30CN ウエッジ用ビット


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本体前面のメインパネル左下側にある【CLAMP スイッチ】を

【FEED】側に倒したまま（左方向）、本体の電源を

入れてください。（「POWER スイッチ」）



LCD（ディスプレイ）表示が【BOND TOOL POSITION SETUP】

となり設定モードに切り替わります（下図参照）


【CURRENT VALUE】のところに現在のツールコンディションの

数値が表示されます。


【OLD VALUE】のところに以前のツールコンディションの数値が表示されます。


【OLD VALUE】と【CURRENT VALUE】の数値を比較して下さい。


【CURRENT VALUE】数値と【OLD VALUE】の数値に大きく

差異がある場合（目安としては±3 程度）には

【ツールの取り付け高さ】と【締め付けトルク】を再調整し

【EDIT ボタン】を押して【CURRENT VALUE】の数値を

再度読み込んで下さい。

【注意】

【EDIT ボタン】を押すことにより【OLD VALUE】も

書き換えられますので、初の【OLD VALUE】の数値を

記憶しておいて下さい。

【EDIT ボタン】

*****BOND TOOL POSITION SETUP*****

Change tool extension to maximize value.

Current value=27 Old value=21

EDIT=Read new value FEED=Escape


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初期の【OLD VALUE】の数値と新たに設定した【CURRENT VALUE】の

数値がほぼ同じになりましたら、【CLAMP スイッチ】を【FEED】側に

倒して【BOND TOOL POSITION】設定モードを終了させて下さい。


【注意】

【ツールの取り付け高さ】と【締め付けトルク】を調整しても

【CURRENT VALUE】の数値が【OLD VALUE】の数値に

近づかない場合は、現在のマシン状態が【CURRENT VALUE】の

数値となります。その際にはその値を基準に再度管理して下さい。

以下で【BOND TOOL POSITION】の変更例を挙げますのでご参考下さい

【BOND TOOL POSITION SETUP 変更例】


初期の【BOND TOOL POSITION SETUP】の画面を【図１】と仮定します。

【図１】

今まで使用していたウエッジのツールコンディションが【OLD VALUE】の値として、新規で取り付けたウエッジの

ツールコンディションが【CURRENT VALUE】の値として表示されております。

【OLD VALUE】=21

【CURRENT VALUE】=27


上記で【OLD VALUE】の値と【CURRENT VALUE】の値に大きな違いが見られますので【CURRENT VALUE】の値を

修正し【OLD VALUE】の値とほぼ同じ値に変更する必要があります。

そこで【図 1】の画面の状態のまま、ウエッジを取付け直します。

ウエッジを取付け直した段階で【図 1】の【CURRENT VALUE】の値に変化はございませんが実際は

変化しております。

この場合の数値を【CURRENT VALUE】の値＝【25】と仮定します。

その後【EDIT ボタン】を押すことで画面上の【CURRENT VALUE】の値が【27】から【25】に変更されます。

【図２】をご参照下さい。






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【図２】

【注意事項】

【EDIT ボタン】を押す事で【OLD VALUE】の値も【21】から【CURRENT VALUE】の値の【25】へ書き換えられます。

よって【BOND TOOL POSITION SETUP】開始時の【OLD VALUE】の値を覚えておく必要がございます。


上記【ステップ 2】終了時点の状況としては

【CURRENT VALUE】の値＝【25】

【BOND TOOL POSITION SETUP】開始時の【OLD VALUE】の値＝【21】

となっており、両者の数値に大きな違いがございます。

よって、再度ウエッジの取付けを行い【CURRENT VALUE】の値＝約【21】になるまで調整をして頂きます。

そして【図 3】のように【CURRENT VALUE】の値と【OLD VALUE】の値＝約【21】になりましたら調整完了となります。

【図 3】










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マシンセットアップ（ワイヤーの取付け）

ここまでの内容でウエッジの取付けまで終了致しましたので、続いてワイヤーの取付け方法に関しまして

ご説明致します。尚、各部の名称は添付写真をご参照下さい。

【対応スプールについて】

モデル 7476D は標準で【1／2 インチスプール】に対応したスプールマウントを有しておりますが、モデル K1100

自動ワイヤーディスプーラーが付属品としてある場合は【2 インチスプール】にも対応する形となります。

1／2 インチスプールマウント

モデル K1100

自動ワイヤーディスプーラー

【ワイヤーが通る経路について】

モデル 7476D は【7400D 仕様】と【7600D 仕様】に分けられ、それぞれワイヤーが通る経路に違いがございます。

まずは【7400D 仕様】と【7600D 仕様】のワイヤー経路を写真にてご紹介させて頂きます。

【7400D 仕様のワイヤー経路】

ワイヤーガイドチューブワイヤー


ウエッジワイヤークランパー


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【7600D 仕様のワイヤー経路】

ワイヤーガイドチューブワイヤートランスデューサー

ワイヤークランパー

ウエッジ


初に【1／2 インチスプール】及び【2 インチスプール】に巻かれたワイヤーをそれぞれのスプールマウントに

取り付けてワイヤーを一定量出します。

【1／2 インチスプールワイヤーの取り付け】

ワイヤーが上から出るようにスプールマウントに

スライドして入れてください。

ワイヤーは右からスライドして入れてください

【2 インチスプールワイヤーの取り付け】

① K1100 自動ワイヤーディスプーラーの右側カバーを

開け、２インチスプールのワイヤーを取り付けて下さい

２インチスプールのワイヤー


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② Wire Guide 部分にワイヤーを通し、ガイドを写真の位置にして下さい。

Wire Guide 部分 Wire Guide 部分を Wire Guide 部分

ここの溝にワイヤーを通す右側から見た写真このような位置に持ってきます

③ ワイヤーを Wire Bail 部分に通す（上から入れる形となります）

Wire Bail 部分

ワイヤー

④ ワイヤーが通りますと写真のようになります

ワイヤー

モデル K1100 自動ワイヤーディスプーラーは

本体上面（カバー部分）の左側又は右側に置いて使用して下さい。

本体上面カバー部分左側に置いた場合

（顕微鏡は外しております）


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一定量フィードしたワイヤーをワイヤーガイドチューブ（クの字に曲がった金属チューブ）に通して下さい

「クの字部分」でワイヤーの通りが悪くなりますが、ワイヤーを押し込まず、滑らせるように少しずつ

ゆっくり通すと上手くいきます。

【注意事項】

ワイヤーガイドチューブにワイヤーを通す際は、ワイヤーが真っ直ぐ伸びた状態で通すと入りやすいです。

ワイヤーガイドチューブワイヤーガイドチューブ

7400D 仕様の場合 7600D 仕様の場合


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【ステップ 3】・・・7400D 仕様の場合

【7400D 仕様】の場合にはワイヤークランパーにワイヤーを通します。

【7600D 仕様】の場合には後でワイヤークランパーにワイヤーを通しますので、【ステップ 3】は無視して下さい。

② CLAMP スイッチを OPNE 側に倒しワイヤークランパーを開けて下さい。

③ 丸印のところを真上から押せるツールをご用意頂き下に押して下さい。

クランパーが開く

丸の部分を押すとクランパーが開きます。

③ピンセットにてワイヤーを掴みワイヤークランパーの下からワイヤーを入れて下さい。

ワイヤーを入れる角度は写真のような角度が良いです。入れる角度によってはワイヤーが切れてしまうことが

ありますので写真のような角度が一番好ましいです。

この様な角度でワイヤ

を入れると切れてしま

う事があります。

ピンセットでこの辺のワイヤーを掴みこの様な角度にし

てからワイヤークランパーを閉じて下さい。

(2 事項の丸印の所を放しワイヤークランパーを閉じて下さい)


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④ワイヤーをクランパーに入れた後、ピンセットでワイヤーを矢印方向に押してワイヤーガイドの

出口からワイヤーが出ているか確認して下さい。

ワイヤー

ワイヤーがワイヤーガイド出口からでてき

た写真となります。この様にワイヤーの

セットアップを行って下さい。

ワイヤーガイド

ワイヤークランパー

ワイヤー経路（正）

ワイヤー経路（誤）

断面で見た図


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【7400D 仕様】及び【7600D 仕様】共にウエッジにワイヤーを通します。

【7400D 仕様の場合】

ワイヤークランパーを通した上で、ワイヤーを一定量出し（約 10mm 程度）、ワイヤー先端部を真っ直ぐにした

状態でボンディングウエッジに通します。

その際、ワイヤークランパーを【OPEN】状態にするとやり易くなります。

ウエッジワイヤークランパー

ワイヤー

尚、ウエッジ先端部分には通常 45 度の角度で穴が開いておりますので、そこにワイヤーを通すことになります。

ウエッジ

45 度で穴が開いております

ワイヤー


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【7600D 仕様の場合】

ワイヤーガイドチューブにワイヤーを通した上で、ワイヤーを一定量出し（約 20-30mm 程度）、ワイヤー先端部を

真っ直ぐにした状態でボンディングウエッジに通します。

その際、本体メインパネル右上の【U/S TEST ボタン】を押しながら行うとやり易くなります。

ウエッジ【A】ここからワイヤーを入れる

ワイヤー

尚、ウエッジ先端部分には通常ある角度で穴が開いておりますので、そこにワイヤーを通すことになります。

ウエッジ

ある角度で穴が開いております

【A】からいれたワイヤーが

この位置から出てきます

ワイヤー


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【ステップ 5】・・・7600D 仕様の場合

【7600D 仕様】の場合にはワイヤークランパーにワイヤーを通します。

【7400D 仕様】の場合には、既にワイヤークランパーにワイヤーを通しておりますので【ステップ 5】は

無視して下さい。

既に【ワイヤーガイドチューブ】及び【ウエッジ】にワイヤーが通った状態になっておりますので

ワイヤークランパーを【OPEN】状態にし、ピンセットなどでワイヤーをクランパーに挟むようにして下さい。

ワイヤーガイドチューブ

クランパーに挟むようにする

ウエッジ

その後【ワイヤーガイドチューブ】【ワイヤークランパー】【ウエッジ】がほぼ一直線になるようにして下さい

以上で【7400D 仕様】及び【7600D 仕様】のワイヤー取り付けを終了いたします。


30

マシンセットアップ（オプションテーブル）

【オプション 79C ワークアジャスタブルテーブル】

本体構成に【79C ワークアジャスタブルテーブル】が付属している

場合は、ステージ（テーブル）の高さ調整を行う事が出来ます。

但し、ボンディング面の高さには適とされる場所があり、正しい

高さに調整する事がより安定したボンディングには欠かせません。

キャピラリーがボンディングサンプルの表面に対して垂直になる

ベストポジションの調整をチェックする為には、ボンディング

サンプルの高さが、マシン本体底面から約 130mm、ワーク

ホルダー（サンプル固定冶具）の高さは、ボンディング

サンプルを含めて 68mm になるように 79C の手前部分のノブを

回して目視で調整してください


尚、上記はあくまで目安です【79C ワークアジャスタブルテーブル】は高さを自由に可変できる機構を

有しておりますので、ベストポジションにする事が理想ではありますが、その限りではございません。


ウエッジ

68mm

ワークホルダー

127mm



31

マシンセットアップ（クランパーユニット取付け）

モデル 7476D は【クランパーユニット】及び【ウエッジ】を交換することで【7400D 仕様】又は【7600D 仕様】に

変更することが可能となっております。

以降でそれぞれのクランパーユニットの交換方法をご説明致します。

【クランパーユニットについて】

【モデル 7400D 仕様】の場合に使用するクランパーユニットは型番【-69D】となります。

-69D 45 度フィードアッセンブリー

【モデル 7600D 仕様】の場合に使用するクランパーユニットは型番【-46D】となります。

-46D 90 度フィードアッセンブリー

【クランパーユニットの取付け方法】

以降でワイヤークランパーの取付け方法について明記いたします。


本体のメイン電源を【OFF】にして、トランスデューサーにウエッジがついている場合にはウエッジを

取り外してください

ウエッジ

7400D 仕様 7600D 仕様


32



クランパーユニットに接続されているエアーチューブを取り外す

エアーチューブ



クランパーユニットを固定しているネジを緩めて、クランパーユニットを取り外します。

ネジ



この部分を取り外します


33



使用するクランパーユニットを取り付け、エアーチューブを接続し、ウエッジを取り付けます。

【注意】

クランパーユニットの取付け位置の基本は面一となります。以下写真をご参照下さい。

尚、面位置に取り付けたにも関わらずワイヤーフィード等で不具合がある場合には微調整をして下さい。

面位置になる様に取り付ける（7400D 仕様の場合）

面位置になる様に取り付ける（7600D 仕様の場合）


クランパーユニットに適応した仕様の変更を行ってください。

その後、本体の電源を入れワイヤーを通して、ボンディングを行ってください。

尚、仕様変更については次項をご確認下さい


34

マシンセットアップ（仕様の変更）

モデル 7476D では仕様により使用するプログラムが違います。

ここでは【7400D 仕様】と【7600D 仕様】に適したプログラムに変更するやり方をご説明致します。

クランパーユニットの交換を行った際には、必ず以下の作業を行うようにして下さい。


現在の仕様が【7400D 仕様】か【7600D 仕様】を確認の上、本体の電源を入れ、LCD パネルの表示を

確認してください。

LCD パネルの表記が【7400D 仕様】の場合は【45°】、【7600D 仕様】の場合は【90°】になっている事を確認して

次のステップに進んでください。

ここを確認


本体の電源を【OFF】にして下さい。

続いて【TAIL スイッチ】を FWD 側（下方向）にした

状態のままで本体の電源を【ON】にして下さい。

【TAIL スイッチ】


LCD パネルが仕様変更のプログラムになり

以下の画面表示となります。

以下では初期段階が【7400D 仕様】になっており、【7600D 仕様】に変更する場合でご説明を致します

現在の仕様

【TAIL スイッチ】を REV 側か FWD 側のどちらかに倒して下さい。

すると以下の画面表示に切り替わります。

CURRENT MODEL NUMBER IS 7400D

Model 7400D is Wedge Bonder

Model 7600D is Deep-Access Wedge Bonder

REV／FWD = Change Model # EDIT=Continue

Bond 1 of 2 Buffer 1

Power ： 300 Time ： 30 ms

Bond Counter = 160

EDIT ＝ Bond ＆ Machine Settings、 45° Feed

CHANGE MODEL 7400D TO MODEL 7600D

Model 7400D is Wedge Bonder

Model 7600D is Deep-Access Wedge Bonder

REV／FWD = Change Model # EDIT=Continue


35

マシンセットアップ（仕様の変更）


【EDIT ボタン】を押してください。【EDIT ボタン】

すると以下の画面表示になります。

仕様を変更しない場合には【EDIT ボタン】を押して下さい。

仕様を変更する場合には【TAIL スイッチ】を REV 側か

FWD 側のどちらかに倒して下さい。

【TAIL スイッチ】を REV 側か FWD 側のどちらかに倒しますと、以下の画面表示になります。

LCD パネルの表記が【7600D 仕様】の場合である【90°】になっていれば仕様変更完了となります

ここを確認

7600D 仕様＝ 90°

7400D 仕様＝ 45°

CHANGE MODEL 7400D TO MODEL 7600D

Are you Sure ?

REV／FWD ＝ NO

EDIT ＝ YES



Bond Counter = 160



36

スイッチの説明

モデル 7476D は X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを用いてワイヤーボンディングを行う為に設計されております。

以下では、これらを使いこなす為の各種スイッチの説明、プログラム方法をご説明致します。

【本体左側上部名称】

TOOL HEAT

（ツールヒートダイヤル）

BUFFER

（バッファースイッチ）

EDIT

（エディットボタン）

【本体左側下部名称】

CLAMP

（クランプスイッチ）

右方向が【OPEN】

左方向が【FEED】

TAIL

（テールスイッチ）

上方向が【REV】

下方向が【FWD】

Buffer 番号

【本体右側上部名称】

LCD パネル（ディスプレイ）

US TEST ボタン

US TSET ランプ

RESET

（リセットボタン）

POWER

（パワースイッチ）


37


【POWER】

マシン本体部を起動する為のメインパワースイッチです（モデル 1200D・モデル K1100・照明は含みません）

上方向に倒すと電源が ON となり、下方向に倒すと電源は OFF になります。

マシンに欠陥がある場合は電源を ON にした際、【LCD パネル】に表示がなされます。

その際は【トラブルシューティング】をご確認頂くか、弊社までお問い合わせ下さい。

【LCD パネル】

【ボンディングモード】又は【プログラムモード】の画面を表示致します。

【ボンディングモード】

本体のメイン電源を入れた際の初期段階の画面です。（以降【HOME】画面）

【ボンディングモード】のときにワイヤーボンディングを行うことが可能となります。

各ボンディング時の回数／超音波パワー／超音波タイム／Buffer 等を表示します。

【HOME】画面

超音波パワーの数値ボンディング時の回数超音波タイムの数値 Buffer 数

ボンドカウンター数

【プログラムモード】

【HOME】画面の状態で【EDIT】を押した際に展開されるプログラム画面です。以下ではその一例を説明致します。

【プログラムモード】では各プログラムの数値表示等を行います。

【プログラムモード】ではボンディングを行うことが出来ません。

【プログラムモード】は複数ございますので、詳細は以降の【プログラミング】をご参照下さい

プログラム【BOND PER WIRE】の画面

変更する数値初期値

【RESET】

RESET ボタンには大きく分けて 2 種類の機能があります。

① 【ボンディングモード】時に押すと、初期状態（電源を入れた際の LCD パネルの状態

1 回目のボンディングを行える状態）に戻ります。

② 【プログラムモード】時に押すと、プログラムの変更を記憶したまま【プログラムモード】から脱出し、

【ボンディングモード】の初期状態に戻ります。



Bond Counter = 160


BONDS PER WIRE ， Buffer 1

Currentiy ： 2 Suggestion ： 2

Press ”REV” or “FWD” switch to change

FEED ＝ Prev menu EDIT = Continue


38


【US TEST ボタン】

このボタンを押す事で、超音波振動子（トランスデューサー）に対して超音波が発振されているかを

確認する事が出来ます。【US TEST ボタン】を押した際には【US TEST ランプ】が点灯します。

【7600D 仕様】の場合、ウエッジにワイヤーを通す際に使用することで、ワイヤー通りがスムーズになります。

【注意事項】

長押しはトランスデューサーに大きな負担を掛ける為、1 回につき 3 秒以上押さないようにして下さい。

【US TEST ランプ】

このランプは超音波の発振を示すランプです。

【US TEST ボタン】を押した際、又はボンディング時などに点灯します。

点灯しない場合は弊社までお問い合わせ下さい。

【ボンディングモード】及び【プログラムモード】のどちらの状態でも動作致します。

【TOOL HEAT】

金線でボンディングを行う際に使用致します。

アルミ線のボンディングでは使用致しません。

通常、ワークホルダーを加熱してボンディングサンプル自体を加熱致します。

しかし、諸事情によりボンディングサンプルを加熱できない場合や、ボンディングサンプルを加熱しても

ボンディング性が良くならない場合に補助的なものとしてご使用頂きます。

ダイヤルを回すことでツールヒーター（ラジアントヒーター）が有効になります

ダイヤルの数値が【０】の場合は OFF となり、数値を上げることでツールヒーターが加熱され

その放射熱でウエッジを加熱します。

次項でツールヒーターの基本データを明記いたしますのでご参考下さい

7400D 仕様 7600D 仕様


39

ツールヒーターの基本データとなります。

ボンディング性の向上を目的として使用され、ダイヤルを回すことでツールヒーターが加熱されそれに伴う

複写熱でウエッジを加熱致します。

但し、放射熱でのウエッジ加熱の為、マシンの使用時の温度環境によって状況は変化致しますのでご了承下さい


40


【BUFFER】

このスイッチでボンディング条件を 3 パターン（Buffer1／2／3）まで切替できます。

各 Buffer にはそれぞれのボンディング条件（温度及び荷重を除く）を設定が可能です。

【EDIT】

【ボンディングモード】でこのボタンを押すと【プログラムモード】へ入る事ができます。

また、【プログラムモード】でプログラムを進めるには必要回数だけこのボタンを押して下さい。

尚、プログラムは LCD パネルに表示されている Buffer 番号（Buffer1／2／3）のプログラム変更となります。

よって、予めプログラムを変更したい Buffer 番号に切り替えた状態で進めて下さい。

プログラム方法については以降でご説明いたしますが【プログラムモード】に入った状態では

各スイッチ（TAIL、CLAMP 等）が各プログラムのメニューやオプションを表示するスイッチの役割も行います。

【CLAMP（FEED/OPEN）】

このスイッチは【FEED】又は【OPEN】に倒して使用しますが、それぞれに幾つかの機能があります。

詳細は下記をご確認下さい。

① 【ボンディングモード】で【OPEN】に倒した場合、ワイヤークランパーが開いた状態になります。

その際、LCD パネルの表示は 2ｎｄボンド（2 回目のボンディング）の状態になります。

ワイヤークランパーを閉じ、初期状態に戻る為には【EDIT】を押して下さい。

ワイヤークランパーを閉じつつ、一定量のワイヤーをフィードする際には【FEED】に倒して下さい。

② 【ボンディングモード】で【FEED】に倒した場合、ワイヤークランパーが動作して一定量のワイヤーを

フィードします。

尚、【FEED】を倒したまま保持すると、ワイヤーフィード動作が連続して行われます。

ワイヤークランパーが開いている状態で【FEED】に倒すと、ワイヤークランパーが閉じつつ

一定量のワイヤーをフィードします。

③ 【プログラムモード】で【FEED】に倒した場合は【EDIT ボタン】と同様にプログラムを進める事が出来ます。

④ 【プログラムモード】で【OPEN】に倒した場合は、進めたプログラムを一つ前に戻すことが出来ます。

⑤ 【FEED】に倒した状態で、本体の電源を ON にするとプログラムの【BOND TOOL POSITION SETUP】に

移行します。

【TAIL（REV/FWD）】

このスイッチは【REV】又は【FWD】に倒して使用しますが、それぞれに幾つかの機能があります

詳細は下記をご確認下さい。

① 【ボンディングモード】で【REV】及び【FWD】に倒した場合

ウエッジ先端部から一定量出ているワイヤーテールの

微調整が出来ます

【REV】がワイヤーテール量の減少

【FWD】でワイヤーテール量の増加となります。

② 【プログラムモード】で【REV】及び【FWD】に倒した場合

各プログラム上で変更可能な数値等の変更が出来ます。

【REV】が数値の増加、【FWD】で数値の減少となります。ワイヤーテール


41

ワイヤーボンディングの基本操作

【ワイヤーボンディングの基本操作】

ワイヤーボンディングを終了するまでの基本操作をご説明致します。

【注意事項】

ウエッジボンダーはオペレーターに対して【手前】から【奥】にしかボンディングすることが出来ません

① 【7400D 仕様】又は【7600D 仕様】の確認を行い、それに適したウエッジを取り付け、ワイヤーを

通して下さい。（マシンセットアップ参照）

② ワークホルダーにボンディングサンプルを固定して温度を上げてください。

一般的な温度としては 150℃～200℃となります。

可能な範囲での加熱でセットアップを行うようにして下さい。

尚、アルミ線でボンディングを行う場合には温度を上げる必要はございません

③ X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを右手で軽く持ち、顕微鏡を覗きながらウエッジを所定のボンディング

ポイントまでゆっくり下げて下さい。

④ ウエッジに設定荷重が掛かりますと、“ピッ”という荷重検知の音とともに超音波が発振され

設定パワーとタイムがボンディング面に掛かり、1ｓｔボンド（1 回目のボンディング）が終了します。

尚、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターは設定以上の荷重は掛からない仕組みになっておりますが

必要以上に押さえ込みますと、手ブレに伴うボンディングのズレが発生することがございます。

よって、ボンディング時には設定荷重以上にウエッジを押し込まず、ソフトタッチ

（荷重検知音が鳴ったらそれ以上押さえ込まない方法）で作業を行う事を推奨いたします。

⑤ 1ｓｔボンド終了後、ワイヤークランパーが自動的に開きますので、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターでご希望の

ループ形状を描きながら、2ｎｄボンド（2 回目のボンディング）のボンディングポイントまでウエッジを持って

きてください。

1ｓｔボンドと同様にウエッジに設定荷重が掛かりますと超音波が発振しボンディングが終了致します。

その後、ワイヤークランパーが自動的に閉じ、ワイヤーを切断致します。

⑥ 2ｎｄボンド終了後、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを一定の高さに上げますと、ワイヤークランパーが動き

設定したワイヤーテールを出し次のボンディングに備えます。

⑦ 以降は③～⑥の繰り返しとなります。

次項でワイヤーボンディング時に表示される LCD パネルのメッセージをご説明致します。

X-Y-Z 3 軸マニピュレーター


42

ワイヤーボンディング時の LCD パネルの表示説明

【ワイヤーボンディング時の LCD パネル表示の流れ】

ワイヤーボンディングを行う際、LCD パネルに表示される画面を順にご説明いたします

その他の LCD パネル表示は以降の【プログラミング】及び【故障診断】をご参照下さい。

【HOME】画面の状態です

1ｓｔボンドを行う準備が出来ている状態です

BOND COUNTER の設定が【OFF】の場合

表示はされません

【7600D 仕様】の場合【90°】と表示されます

X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを使用して

ウエッジをボンディングパッドまで降下させ

ボンディングパッドにタッチした状態の画面

（1ｓｔボンドが接触した状態）

ワイヤークランパーは OPEN になっております

2ｎｄボンドの条件（POWER・TIME 等）に切り替わります

ウエッジがボンディングパッドから離れると

この画面になります。

2ｎｄボンドを行う準備が出来ている状態


2ｎｄボンドをボンディングした際に、一瞬だけ

表示される画面です。

その後、自動的に【HOME】画面に

切り替わります

次項でワイヤーボンディングの基本操作のイメージ図を明記いたしますのでご参考下さい



Bond Counter = 160




Wire Clamp is open

Lift from first bond



Wire Clamp is open

Proceed to last bond



Must lift X-Y-Z Manipulator


43

資料（ワイヤーボンディングの基本操作イメージ図）


44

スティッチボンディングの基本操作

【スティッチボンディングの基本操作】

スティッチボンディングとは、通常のワイヤーボンディングと違い 2ND ボンドでワイヤーボンディングが終了せず

設定したボンド数だけ連続してボンディングを行う方法です。

スティッチボンディングを行う為には【プログラムモード】の【BONDS PER WIRE】でボンド数の数値変更を行う

必要があります。ボンド数変更については以降の【プログラミング】をご参照下さい

以下でスティッチボンディングが終了するまでの基本操作をご説明致します。

① 【7400D 仕様】又は【7600D 仕様】の確認を行い、それに適したウエッジを取り付け、ワイヤーを

通して下さい。（マシンセットアップ参照）

② ワークホルダーにボンディングサンプルを固定して温度を上げてください。

一般的な温度としては 150℃～200℃となります。

可能な範囲での加熱でセットアップを行うようにして下さい。

尚、アルミ線でボンディングを行う場合には温度を上げる必要はございません

③ X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを右手で軽く持ち、顕微鏡を覗きながらウエッジを所定のボンディング

ポイントまでゆっくり下げて下さい。

④ ウエッジに設定荷重が掛かりますと、“ピッ”という荷重検知の音とともに超音波が発振され

設定パワーとタイムがボンディング面に掛かり、1ｓｔボンド（1 回目のボンディング）が終了します。

尚、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターは設定以上の荷重は掛からない仕組みになっておりますが

必要以上に押さえ込みますと、手ブレに伴うボンディングのズレが発生することがございます。

よって、ボンディング時には設定荷重以上にウエッジを押し込まず、ソフトタッチ

（荷重検知音が鳴ったらそれ以上押さえ込まない方法）で作業を行う事を推奨いたします。

⑤ 1ｓｔボンド終了後、ワイヤークランパーは設定した回数ボンディングするまで開き続けますので

X-Y-Z 3 軸マニピュレーターでご希望のループ形状を描きながら、設定回数のボンディングを

行ってください。

尚、各ボンディングは 1ｓｔボンドと同様にウエッジに設定荷重が掛かりますと超音波が発振し

ボンディングを行います。

終ボンディング終了後、ワイヤークランパーが自動的に閉じ、ワイヤーを切断致します。

⑥ 終ボンディング終了後、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを一定の高さに上げますと

ワイヤークランパーが動き設定したワイヤーテールを出し次のボンディングに備えます。

⑦ 以降は③～⑥の繰り返しとなります。

次項でスティッチボンディング時に表示される LCD パネルのメッセージをご説明致します。


45

スティッチボンディング時の LCD パネルの表示説明

【スティッチボンディング時の LCD パネル表示の流れ】

スティッチボンディングを行う際、LCD パネルに表示される画面を順にご説明いたします

尚、今回は 3 ボンド（2 ループ）の場合でご説明を致します

ボンド数が【3】になっております


１ST ボンドを行う準備が出来ている状態です

BOND COUNTER の設定が【OFF】の場合

表示はされません

【7600D 仕様】の場合【90°】と表示されます

X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを使用して

ウエッジをボンディングパッドまで降下させ

ボンディングパッドにタッチした状態の画面

（1ｓｔボンドが接触した状態）


2ｎｄボンドの条件（POWER・TIME 等）に切り替わります



2ｎｄボンドを行う準備が出来ている状態


2nd ボンドが接触した状態の画面です


3rd ボンドの条件（POWER・TIME 等）に切り替わります



3rd ボンドを行う準備が出来ている状態


3rd ボンドをボンディングした際に、一瞬だけ

表示される画面です。

その後、自動的に【HOME】画面に

切り替わります



Bond Counter = 160




Wire Clamp is open

Lift from first bond



Wire Clamp is open

Proceed to last stitch bond #2



Wire Clamp is open

Proceed to last bond



Wire Clamp is open

Lift from second bond



Must lift X-Y-Z Manipulator


46

ワイヤーフィードの基本操作及び LCD パネルの表示説明

【ワイヤーフィードの基本操作】

ワイヤーフィードを行うことでウエッジ先端部から一定量のワイヤーを出す事が可能となります。

ワイヤーフィードは【HOME】画面で【CLAMP】スイッチを使用する事で行うことが出来ます。

【CLAMP】スイッチを【FEED】側または【OPEN】側に倒すことで 2 つのワイヤーフィードの方法がありますので

ご説明を致します

【FEED】側に倒して行う方法

少量のワイヤーをフィードすることができます。

【HOME】画面で【FEED】に倒した場合、ワイヤークランパーが自動的に開閉して一定量（少量）のワイヤーを

フィードします。

尚、【FEED】を倒したまま保持するとワイヤーフィード動作が連続して行われます。

その際、LCD パネルは【HOME】画面のままの状態となります。

【OPEN】側に倒して行う方法

【FEED】側に倒したときと比べ多めにワイヤーをフィードすることができます。

【HOME】画面で【OPEN】側に倒すと、ワイヤークランパーが開いた状態になります、その後【FEED】側に倒すか

【RESET】を押すことで一定量のワイヤーをフィードします。


【CLAMP】スイッチを【OPEN】に倒した場合の

画面、ワイヤークランパーが開いた状態で

上方向に移動します。

【FEED】に倒すとワイヤークランパーが

閉じ一定量のワイヤーがフィードされる

その後【EDIT】を押し少量のワイヤー

フィードを行い【HOME】画面に戻ります

【EDIT】を押すとワイヤークランパーが閉じ

一定量のワイヤーがフィードされる。

その際、一瞬だけ LCD 画面が変わり

【HOME】画面に戻ります。



Bond Counter = 160




Wire Clamp is open

Thread the tool, and press FEED switch

Bond 2 of 2 Buffer

1


Wire Clamp is open

Proceed to bond off excess.

MODEL7400D-Ver 3.40

WEST・BOND,INC.

Verifing clamp FWD limit


47

プログラミング（プログラムモードの概略）

【プログラムモードの概略】

モデル 7476D のプログラムモードの各項目と LCD パネル表示についての説明を致します。

尚、プログラムモードには【Bond Settingｓ】と【Machine Settings】の 2 種類がございます。

【Bond Settings】ボンドセッティング

モデル 7476D 使用時にオペレーターが頻繁に使用するプログラム項目です

各プログラムの詳細は別項でご説明いたします。

① BONDS PER WIRE

② ULTRASONIC POWER

③ ULTRASONIC TIME

④ BOND FORCE（プログラム【DUAL FORCE】が OFF の場合はスキップされます）

⑤ LOOP HEIGHT

⑥ DROP BEFORE CLAMP（【7400D 仕様】の場合にのみ適用）

【Machine Settings】マシンセッティング

マシンの初期設定時に使用されるプログラム項目です。頻繁に変更する事はなくボンディング条件や

ボンディングサンプル等、用途が大きく変わる場合に変更する可能性があります

① WIRE PULL

② WIRE TAIL

③ DUAL FORCE

④ CALIBRATE FORCE(HIGH/LOW)

⑤ BEEP UPON CONTACT

⑥ MUST LIFT

⑦ BOND COUNTER

RESET BOND COUNTER

BOND COUNTER LIMIT

⑧ U/S（ULTRASONIC） POWER DURING FEED

⑨ SEFF-THREAD

⑩ SOFTWARE VERSION


48

プログラミング（プログラムモードへの入り方、隠されたプログラムメニュー）

【プログラムモードへの入り方】

プログラムモードへの入り方は【HOME】画面で【EDIT】を押すことで入る事が出来ます。

各プログラムの数値変更等は LCD パネルの表示に従い行ってください。

【CLAMP】スイッチの【FEED】側を押すとプログラムを一つ前に戻すことができます。

【CLAMP】スイッチの【OPEN】側を押すとプログラムを先に進めることができます。

プログラムの途中で終了する際は【RESET】ボタンを押すことで終了できます。

また、プログラムの後まで進んだ際には FEED スイッチ及び RESET スイッチでプログラムを終了させる

ことができます。

【注意事項】

プログラムモード中は【CLAMP】スイッチの【CLAMP】スイッチ及び【FEED】スイッチで設定変更ができます。

このスイッチで設定変更した際は、すでにプログラム設定は変更されております。

プログラム変更中に【BUFFER】を操作しても、【Buffer】は切り替わりません。

【隠されたプログラムメニュー】

【ボンドセッティング】及び【マシンセッティング】の各プログラム説明の前に、隠れたプログラムメニューを

ご説明いたします。

これらは通常のプロセスでは表示はされません

【機種変更】

マシンセッティング（仕様の変更）をご参照下さい

【A-モーターリセット】

【EDIT】を押したまま本体のメイン電源を

入れてください。

もし、ERROR メッセージが出た場合は

弊社までご連絡下さい。

再度【EDIT】を押すことで【HOME】画面に

戻ります

【BOND TOOL POSITION SETUP】

マシンセッティング（BOND TOOL POSITION SETUP）をご参照下さい

***** MOTOR SETUP *****

== Good ! ==

Press EDIT to continue


49

プログラミング（ボンドセッティング）

【BONDS PER WIRE】ボンドパーワイヤー

このプログラムでは現在の Buffer に対してのボンド数（ボンディングする回数）の変更が可能です。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで数値の変更ができます。

尚、【Currently】が現在のボンド数を表し、【Suggestion】がメーカー推奨値を表します。（以降も同様です）

ボンド数は【1～21】までの間で設定できます。

ボンド数=【1】=バンプボンディングとなりますがウエッジボンダーでは通常使用致しません。

ボンド数=【2】=ワイヤーボンディングとなります。

ボンド数=【3】以上=スティッチボンディングとなります。

プログラムの名称 Buffer 番号

現在の数値メーカー推奨値

【ULTRASONIC POWER】ウルトラソニックパワー

このプログラムは、各ボンドに対しての超音波パワーを設定する事が出来ます。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで数値の変更ができ範囲は【0～999】までとなっております。

尚、LCD パネルの右上に【Bond 1 of 2】等の表示があるが、これは【2 回ボンドする内の 1 回目の超音波パワー】

を意味しており、【2 回ボンドする内の 2 回目の超音波パワー】の場合は【Bond 2 of 2】と表示されます。

超音波パワーの設定は【BONDS PER WIRE】で設定したボンド数だけできます

初期値としては【300】を目安で考え、ボンディングサンプルにより数値を変更してボンディング条件を求めます。

【アドバイス】

ボンディング条件は【超音波パワー】【超音波タイム】【荷重】【温度】を調整しながらボンディングサンプルに

合った条件を出して頂きます。

ボンディング後の見た目としてはボンディング部分が潰れ過ぎておらず、プルテスト結果が良い所を見つけて

ボンディングしてください。

【注意事項】

ボンディングは【超音波タイム】よりも【超音波パワー】の増加に大きな影響を受けます。

必要以上に【超音波パワー】を上げ過ぎず、その他の条件も色々振りながらボンディング条件を取得して下さい。

尚、熱圧着ボンディングでは【超音波パワー】は【ゼロ】にして下さい

【1ｓｔボンド側の超音波パワーのプログラム画面】

変更するボンド数ボンドする総数

現在の数値

メーカー推奨値

BONDS PER WIRE, Buffer 1

Currently 2 Suggestion : 2

Press “REV” or “FWD” switch to change

FEED = Prev menu EDIT = Continue

ULTRASONIC POWER, BOND 1 of 2



FEED = Prev option EDIT = Continue


50


【EDIT】を押すと次の画面に切り替わります

【2nd ボンド側の超音波パワーのプログラム画面】


現在の数値


【プログラム変更のコピー】

【ULTRASONIC POWER】及び【ULTRASONIC TIME】で 1ｓｔボンド側の数値を変更し、【EDIT】を押した場合

これらの数値を残りのボンドにコピーするか否かを指定する表示が出ます。

これを使用することで【超音波パワー】及び【超音波タイム】の設定時間を短縮する事が出来ます

尚、プログラムでは全ての残りボンド数に、1ｓｔボンドの数値をコピーしますか？と聞いてきますので

【NO】の場合は【TAIL】スイッチを【FWD】に倒してください【YES】の場合は【EDIT】を押してください。

コピーする数値

U/S TIME の場合も

あります

【ULTRASONIC TIME】ウルトラソニックタイム

このプログラムは、各ボンドに対しての超音波タイムを設定する事が出来ます。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで数値の変更ができ範囲は【0～999】までとなっております。

尚、LCD パネルの右上に【Bond 1 of 2】等の表示があるが、これは【2 回ボンドする内の 1 回目の超音波タイム】を

意味しており、【2 回ボンドする内の 2 回目の超音波タイム】の場合は【Bond 2 of 2】と表示されます。

初期値としては【30】を目安で考え、ボンディングサンプルにより数値を変更してボンディング条件を求めます。

又、超音波パワー同様に 1ｓｔボンドの条件を残りのボンド数にコピーする事が出来ます

（プログラム変更のコピー参照）

【1ｓｔボンド側の超音波タイムのプログラム画面】


現在の数値


ULTRASONIC POWER, BOND 2 of 2




Copy to all bonds :

Are you sure ?

FWD = No ,

(U/S power = 320) EDIT = Yes

ULTRASONIC TIME , BOND 1 of 2





51


【EDIT】を押すと次の画面に切り替わります

【2nd ボンド側の超音波タイムのプログラム画面】


現在の数値


【FORCE】フォース

以降で説明する【DUAL FORCE】が【ON】の場合、2 種類の荷重をセッティング出来ます。

その 2 種類の荷重の【HIGH】と【LOW】への振り分けを、ボンド毎に行う為のプログラムです。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで【HIGH】又は【LOW】の切り替えができます。

初期設定では 1ｓｔボンドを【LOW】、2ｎd ボンドを【HIGH】に設定しております。

荷重設定方法については【プログラミング（マシンセッティング）】で説明いたします。

モデル 7476D では、設定した荷重は全ての Buffer で適用されます（Buffer 毎の荷重設定は出来ません）

【注意事項】

以降で説明する【プログラミング（マシンセッティング）】の【DUAL FORCE】が【ON】でない場合は

この【FORCE】表示はされず、全ての Buffer の全てのボンドに【HIGH】の荷重が適用されます。

【1ｓｔボンド側荷重のプログラム画面】


現在の荷重設定メーカー推奨荷重

【EDIT ボタン】を押すと下の画面に切り替わります

【2nd ボンド側荷重のプログラム画面】


現在の荷重設定メーカー推奨荷重

2 回目の荷重を

【HIGH】にした場合

ULTRASONIC TIME, BOND 2 of 2




FORCE, Bond １ of 2

Currently LOW Suggestion : LOW



FORCE, Bond 2 of 2

Currently HIGH Suggestion : HIGH




52


【LOOP HIGHT】ループハイト

このプログラムはワイヤーボンディングのループ形成時に、X-Y-Z 3 軸マニピュレーターが設定した

高さに上がるとビープ音（音）を鳴らしますが、その音が鳴る高さを数値で設定するプログラムです。

これを使用することで、マニュアルマシンでも同じようなループができるように手助けする機能となります。

但し、このプログラムは設定をしても機械的には何の影響もありませんので、音が鳴った後でも

X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを上げる事もできます。

あくまで同じようなループ作るためにオペレーターに音で知らせるだけの機構とお考え下さい。

数値は【Mil】又は【μm】で表示され、【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで数値の変更が

できます。

尚、このプログラムを使用しない場合は、設定数値を【ゼロ】にセットします。

現在の数値（音が鳴る高さ）メーカー推奨値（音がなる高さ）

【DROP BEFORE CLAMP】ドロップビフォアクランプ

このプログラムは【7400D 仕様】の場合にのみ適用となります。【7600D 仕様】にはありません

これはループ形成時にウエッジを上昇させた際、そのループの頂点から設定した数値分ウエッジが下降した

場合に、自動的にワイヤークランパーが閉じる機構です。

尚、このプログラムを使用しない場合は、設定数値を【ゼロ】にセットします。

【アドバイス】

この機構を使用することにより 2ｎｄボンド直前のループ形成がやり易くなります。

特に短距離でループ形成をしたい場合にはご使用頂くことを推奨致します。

尚、低ループを形成したい場合にはこの機構は使用しないほうが好ましい。

現在の数値（ループの頂点からクランプが閉じる高さまでの距離）メーカー推奨値

LOOP HIGHT , mils , before bond 2 of 2

Currently 30 (762μ) Suggestion : 30



DROP BEFORE CLAMP , mils , before bond 2 of 2

Currently 10 (254μ) Suggestion : 10




53

プログラミング（マシンセッティング）

【WIRE PULL】ワイヤープル

このプログラムは、2nd ボンド終了後ワイヤーを切断する際のワイヤークランパーのプルバック距離を

数値設定できます。

以降で説明する【WIRE TAIL】との組み合わせで、2nd ボンド終了時にウエッジ先端部から出てくる

ワイヤーテールの量が決定されます。

尚、数値はモーターのステップ数を表しており、1 ステップは約 5.6μm となっております

数値の変更は【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで行うことが出来ます。

数値の変更範囲は以下となります

【7400D 仕様】の場合は 0～【100-WIRE TAIL】の数値

【7600D 仕様】の場合は 0～【70-WIRE TAIL】の数値

＜例＞

【7400D 仕様】で【WIRE TAIL】＝【16】と設定されている場合、【WIRE PULL】の変更範囲は

【0～84】の範囲となります。

初期メーカー推奨値は以下の様に設定されております。

【7400D 仕様】は【18】

【7600D 仕様】は【30】


【注意事項】

【WIRE PULL】に数値が大きすぎるとワイヤーがウエッジから外れてしまう可能性があります

【WIRE TAIL】ワイヤーテール

このプログラムは【WIRE PULL】後に一定量ワイヤーを供給するワイヤークランパーのプルストローク距離を

数値設定できます。

既に説明した【WIRE PULL】との組み合わせで、2nd ボンド終了時にウエッジ先端部から出てくる

ワイヤーテールの量が決定されます。

ワイヤーテール量を増やす場合には数値を上げてください。

尚、数値はモーターのステップ数を表しており、1 ステップは約 5.6μm となっております

数値の変更は【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで行うことが出来ます。

数値の変更範囲は以下となります

【7400D 仕様】の場合は 0～【100-WIRE PULL】の数値

【7600D 仕様】の場合は 0～【70-WIRE PULL】の数値

＜例＞

【7400D 仕様】で【WIRE PULL】＝【18】と設定されている場合、【WIRE TAIL】の変更範囲は

【0～82】の範囲となります。

初期メーカー推奨値は以下の様に設定されております。

【7400D 仕様】は【20】

Machine Setup : WIRE PULL , motor steps


Adjust by “REV” or “FWD” switch



54


【7600D 仕様】は【32】


【WIRE TAIL】ではこの部分に出てくる

ワイヤーテールの設定を行います。

【DUAL FORCE】デュアルフォース

このプログラムはボンディング条件の一つである【荷重を 2 種類使用するか否かの選択】をすることができます。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで【DUAL FORCE】を【ON】又は【OFF】に設定できます。

初期値は【ON】となります。

荷重の調整方法は以降の【CALIBRATE FORCE】をご確認下さい。

【DUAL FORCE】が【ON】の場合

2 種類の荷重【HIGH】と【LOW】を使用する事になります。

1ｓｔボンドと 2ｎd ボンドの荷重をそれぞれ設定できますので、ボンディングサンプルにあった荷重を設定する事が

できます。荷重の振り分けは【ボンドセッティング】の【FORCE】で行ってください。

基本的には 1ｓｔボンドを【LOW】、2ｎd ボンドを【HIGH】に設定する事を推奨しますが、各ボンディングサンプルに

よって状況に違いがございますので、ボンディングを行いながら【HIGH】【LOW】の設定を行ってください。

【DUAL FORCE】が【OFF】の場合

2 種類の荷重【HIGH】と【LOW】を使用しませんので 1ｓｔボンドと 2ｎd ボンドの荷重は同一荷重となります。

この場合、全てのボンドに対して使用される荷重は【HIGH】となります。

又、【ボンドセッティング】の【FORCE】プログラムは表示されません。

現在の状況メーカー推奨

Machine Setup : WIRE TAIL , motor steps




Machine Setup : DUAL FORCE (ON / OFF)

Currently OFF Suggestion : ON




55


【DUAL FORCE の概略】

【DUAL FORCE】を【ON】にする事で 2 種類の荷重を使用することが可能となりますが、その機構を説明致します。

尚、荷重の設定方法などは以降の【CALIBRATE FORCE】で説明致します。

2 種類の荷重【HIGH FORCE】と【LOW FORCE】のうち基準となるのは【HIGH FORCE】となります。

【HIGH FORCE】の仕組みは（DUAL FORCE が OFF の状態でも同様です）は【スプリング B】が左方向に

押す力【B 荷重】と【スプリング A】が右方向に押す力【A 荷重】の差で決定します。

それに対して【LOW FORCE】の仕組みは、【HIGH FORCE】から【LOW FORCE】へ切り替わった際に

エアーシリンダーが作動し【スプリング A】が右方向に動きます。その結果【A 荷重】が増え、【B 荷重】を抑える

かたちとなり、【HIGH FORCE】よりも荷重が小さくなります。

スプリング B

B 荷重 A 荷重

スプリング A

エアーシリンダーが動作し右方向に縮む

その結果、A 荷重が強くなり、B 荷重を押さえ

込む働きをします。

スプリング A A 荷重が強くなる

エアーシリンダー


56


【CALIBRATE FORCE】キャリブレートフォース

【DUAL FORCE】を【OFF】にした場合、このプログラム画面となりテンションゲージを使用して荷重を

測定する事ができます。

【DUAL FORCE】が【ON】の場合は以降で説明する【CALIBRATE HIGH／LOW FORCE】をご参照下さい

荷重の測定方法は以下をご参照下さい。

【荷重の測定方法】

① EDIT ボタンを数回押し【CALIBRATE FORCE】の画面にします。

② X-Y-Z 3 軸マニピュレーターを一番下まで下げた状態で、テンションゲージをトランスデューサーと

キャピラリーの近くに写真のようにあてがいます

テンションゲージ

③ テンションゲージを上方向にゆっくりと上げますとトランスデューサーが持ち上がり「ピピピッ」と音がします。

このときテンションゲージが示した数値が【荷重】となります。

【荷重の変更方法】

荷重はマシン本体内部にある【荷重調整ノブ】を調整する事で変更する事ができます。

【荷重調整ノブ】を時計回りに回すと荷重が減少し、反時計回りに回すと荷重が増加します

荷重調整ノブ

Machine Setup : CALIBRATE FORCE

Use force gage to measure Calibration

Force at the tool



57

【CALIBRATE HIGH／LOW FORCE】キャリブレートハイ／ロウフォース

【DUAL FORCE】を【ON】にした場合、上記で説明した【CALIBRATE FORCE】は【CALIBRATE HIGH FORCE】と

【CALIBRATE LOW FORCE】の 2 つに分かれます。

このプログラムでは【HIGH FORCE】と【LOW FORCE】それぞれの荷重を測定する事ができます

HIGH FORCE の場合の表示

LOW FORCE の場合の表示

【CALIBRATE HIGH／LOW FORCE】を設定する前に

モデル 7476D では荷重の基準は【CALIBRATE HIGH FORCE】側であり、これを変更すると

【CALIBRATE LOW FORCE】側も変更となります。

よって、初に【CALIBRATE HIGH FORCE】の荷重を変更し、その後【CALIBRATE LOW FORCE】の荷重を

変更してください。

【荷重の測定方法】

【CARIBRATE FORCE】の【荷重測定方法】をご参照下さい

Machine Setup : CALIBRATE HIGH FORCE


Force at the tool


Machine Setup : CALIBRATE LOW FORCE


Force at the tool



58


【荷重の変更方法】

【CARIBRATE HIGH FORCE】の荷重の変更はマシン本体内部にある【荷重調整ノブ A】を

調整する事で変更できます。

時計回りに回すと荷重が減少し、反時計回りに回すと荷重が増加します

【CARIBRATE LOW FORCE】の荷重の変更はマシン本体内部にある【荷重調整ノブ B】を

調整することで変更できます。

尚、調整するに際には初にロックナットを緩める必要がありますのでご注意下さい。

荷重は時計回りに回すと荷重が減少し、反時計回りに回すと増加します。

荷重調整ノブ A ロックナット荷重調整ノブ B

【注意事項】

【HIGH FORCE】が変わると【LOW FORCE】も同じ量だけ変わります。

【BEEP UPON CONTACT】ビープアポンコンタクト

このプログラムはボンディング中のビープ音を出すか否かの設定をするものです。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで【ON】又は【OFF】に設定でき初期値は【ON】となります。

尚、【OFF】にセットしても【LOOP HIGHT】及び【ワイヤーフィード】中のビープ音は出ます。

但し、【LOOP HIGHT】中のビープ音については別の方法で【OFF】する事が可能です。

別項【LOOP HIGHT】を参照下さい。


Machine Setup : BEEP UPON CONTACT (ON/OFF)

Currently ON Suggestion : ON




59


【MUST LIFT】マストリフト

このプログラムは 2nd ボンド終了後のワイヤーフィードに関係するものです。



【ON】の場合

2nd ボンド終了後、ウエッジが 0.1～0.2mm 程度上昇してからワイヤーフィード動作が動きます。

【OFF】の場合

2nd ボンド終了後、ウエッジが上昇して直ぐにワイヤーフィード動作が動きます。

【BOND COUNTER】ボンドカウンター

このプログラムはボンディングした回数の表示を LCD パネル上に行うか否かの選択を行う事が出来ます



【注意事項】

【OFF】で設定した場合、以降の【RESET BOND COUNTER】及び【BOND COUNTER LIMIT】のプログラムは

表示されなくなります。

Machine Setup : MUST LIFT (ON/OFF)




Machine Setup : BOND COUNTER (ON/OFF)





60



【RESET BOND COUNTER】リセットボンドカウンター

このプログラムはボンディングした回数の表示をリセット（ゼロ）にするか否かの選択を行う事が出来ます

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことでボンディングした回数を【ゼロ】又は【以前のままの値】に

設定できます。

現在までのボンドカウンターの回数

REV で【ゼロ】にする FWD で【27000】に戻す

【REV】に倒した場合

【BOND COUNTER】の数値を【ゼロ】にすることが出来ます

【FWD】に倒した場合

【BOND COUNTER】の数値を【以前のままの数値】にすることが出来ます

【BOND COUNTER LIMIT】ボンドカウンターリミット

このプログラムは【BOND COUNTER】でカウントできるボンディング回数の設定を行う事が出来ます。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことでカウントできるボンディング回数を【500】から【30000】まで

【500】単位で設定できます。

現在のボンドカウンター設定回数メーカー推奨値

【US POWER DURING FEED】ウルトラソニックパワーデュアリングフィード

このプログラムはワイヤーフィード動作時にウエッジに加える超音波の設定を行うものです。

これを使用することでボンディング時のワイヤーフィード性が向上します。

【TAIL】スイッチを【REW】又は【FWD】方向に倒すことで数値の変更ができ、設定範囲は 0～999 となります。

初期設定値

【7400D 仕様】の場合、初期値＝【0】

【7600D 仕様】の場合、初期値＝【200】


Machine Setup : RESET BOND COUNTER

Bond counter = 27000

REV = Reset to Zero FWD = Undo


Machine Setup : BOND COUNTER LIMIT




Machine Setup : U/S POWER DURING FEED





61

【SOFTWARE VERSION】ソフトウエアーバージョン

ソフトウエアーバージョン情報が表示されます。

」

MODEL 7400D - Version 3.40

West ・ Bond , Inc.

[ END OF BOND & MACHINE SETTINGS ]

Press EDIT to escape


62

トラブルシューティング


【はじめに】

ワイヤーボンダーを使用した場合に発生する問題点は大きく分けると 3 つに分類されます。

① マシン（付属品含む）の問題

② ボンディングサンプルの問題

③ ボンディング条件の問題

しかし発生した問題がどのような状況で、どのような対処をするべきなのかはケースバイケースです。

以下に、問題が発生した場合のトラブルシューティングを明記しますが、ご不明点に関しましては

弊社までお問い合わせ下さい。

【トラブルシューティング】

【問題点】ボンディングできない ①

【原因】ユーティリティーが適正でない

【解決策】本体に電源・電圧・エアーが供給されているかを確認する。

エアーに関しては本体裏面にあるレギュレーターが設定圧力以上あることを確認する。

【問題点】ボンディングできない ②

【原因】ウエッジの不具合

【解決策】ウエッジにワイヤーが詰まっていない事を確認する。

詰まっている場合には詰まり除去用プローブ（アンプラギングプローブ等）を使用して詰まりを除去する

またはウエッジを新品に交換する

【問題点】ボンディングできない ③

【原因】ウエッジの不具合-1

【解決策】ウエッジ先端部が欠けている可能性がある場合、ウエッジを新品に交換する。

【問題点】ボンディングできない ④

【原因】ウエッジの不具合-2

【解決策】ウエッジの取り付け位置が適正でない場合、ツールゲージを使用して適正な位置へ取り付ける

【問題点】ボンディングできない ⑤

【原因】ウエッジの不適合-1

【解決策】モデル 7476D ではツール長 0.750”（19mm）のツールが取付け可能です。

それ以外の長さのウエッジは対応しておりません。

通常の場合、ウエッジ型番に【750】の表記がある。

【問題点】ボンディングできない ⑥

【原因】ウエッジの不適合-2

【解決策】ボンディングサンプル及び使用しているワイヤーに対してウエッジが適正でない。

適正なウエッジを取付けて作業を行う

【問題点】ボンディングできない ⑦

【原因】ワイヤー・リボン線の取り付け

【解決策】正しいルートでワイヤー及びリボン線が供給されているかを確認する。

【問題点】ボンディングできない ⑧

【原因】ボンディング条件の不適合

【解決策】ボンディングサンプルに合ったボンディング条件を出す。

超音波パワー、超音波タイム、荷重、温度を変更する。

ワイヤーボンディングでは、ボンディングサンプルに対しての指定条件等は無く、全てのボンディング

サンプル毎にボンディング条件を振る必要がある。


63











【問題点】ボンディングできない ⑨

【原因】ボンディングサンプルの問題

【解決策】表面の汚れが原因でボンディングが出来ない可能性がある。

ボンディングサンプルをクリーニングして対処する。

【問題点】ボンディングできない ⑩

【原因】ボンディング条件の不適合

【解決策】ボンディングパッドがワイヤーボンディングに適した材質で無い。

ワイヤーボンディングに適した材質・厚さのボンディングパッドに変更する。

【問題点】ボンディングできない ⑪

【原因】ワイヤーテールの問題

【解決策】ワイヤーテールが出ていない場合、設定変更を行い、ワイヤーテールを一定量出す

【問題点】ボンディングできない ⑫

【原因】ボンディングの方向性

【解決策】モデル 7476D はオペレーターに対して手前から奥へのみボンディング可能となります

斜め方向、左右方向へのボンディングは行うことが出来ません。

【問題点】ボンディングできない ⑬

【原因】マニピュレーターの操作

【解決策】基本的に X-Y-Z 3 軸マニピュレーターは設定した荷重以上は掛からない仕組みとなっておりますが

操作方法によってはボンディング時にずれる動きが発生し、ボンディング出来た部分を切断する事が

考えられる。よってワイヤーボンディング時にウエッジに設定荷重が掛かり【ピッ】と音がしたら

それ以上押さえ込まない方法で、ソフトタッチボンディングを行う。

【問題点】ボンディングできない ⑭

【原因】【BOND COUNTER】の問題

【解決策】【BOND COUNTER】のリミット表示が大になっている。

プログラム【RESET BOND COUNTER】の数値を【ゼロ】にする

【問題点】 1ｓｔボンドで剥がれが発生する

【原因】ボンディングパッドの問題

【解決策】ボンディングパッドが剥がれる場合（ワイヤーとボンディングパッドは付いている場合）

ボンディングパッドと下地との密着性を向上させる

【問題点】 2nd ボンド後にワイヤー・リボン線が切断されない

【原因】ワイヤークランパーの問題

【解決策】ワイヤーがワイヤークランパーから外れている。

正しいルートでワイヤー及びリボン線を供給し、ワイヤークランパーにワイヤーが挟まることを確認する

【問題点】 2nd ボンド後にリボン線が切断されない

【原因】ワイヤークランパーの問題

【解決策】リボン線のサイズに対して、ワイヤークランパーのスプリングが弱くプルカット出来ない。

使用中のリボン線サイズと併せて弊社までお問合せ下さい

【問題点】 2nd ボンド後にリボン線が切断されない

【原因】【BONDS PER WIRE】の設定の問題

【解決策】【BONDS PER WIRE】の設定が【2】以上になっている。


64






【問題点】ワイヤーテールが出ない ①

【原因】【WIRE PULL】と【WIRE TAIL】の問題

【解決策】プログラム【WIRE PULL】と【WIRE TAIL】を再度設定する。

【問題点】ワイヤーテールが出ない ②

【原因】ウエッジの問題-1

【解決策】使用しているワイヤー径に対してウエッジの穴径が小さい

ウエッジをワイヤー径に合ったものに交換する。

【問題点】ワイヤーテールが出ない ③

【原因】ウエッジの問題-2

【解決策】ウエッジにワイヤーが詰まっていない事を確認する。

詰まっている場合には詰まり除去用プローブ（アンプラギングプローブ等）を使用して詰まりを除去する

またはウエッジを新品に交換する

【問題点】ワイヤーが外れる

【原因】【WIRE PULL】の問題

【解決策】プログラム【WIRE PULL】を再度設定する

【問題点】 LCD モニターに表示が無い

【原因】インターフェースコネクターの電極線が断線、又は外れている。通信エラーが発生している。

【解決策】【Machine Control PCB】基板 P/N9810 にケーブルコネクターが差し込まれているか確認する。

差し込み後、改善しない場合は弊社までお問い合わせ下さい。

【問題点】 ULTRASONIC ERROR が発生した ①

【原因】超音波発振器の電源電圧に異常がある。

【解決策】超音波発振器基板の電源電圧を確認する。

尚、基板は 2 種類ありマシンの型式によりますので、型式に合った確認を行ってください。

詳細は事項参照

*** ULTRASONIC ERROR ***

The transducer did not resonate or the

TUNED signal is disconnected

Press EDIT to retly


65


【ULTRASONIC ERROR 基板 A-10345 の場合】

端子 TP1 が共通グランドとなっておりますのでそれを使用して下さい。

電圧は以下の通りとなります。

電圧に違いがございましたら弊社までご連絡下さい。

TP-3 ⇒ -12VDC

TP-6 ⇒ -5.0VDC

TP-7 ⇒ +5.0VDC

J3 コネクターのピン 1 ⇒ -15VDC

J3 コネクターのピン 3 ⇒ +15VDC

TP-3 TP-1 共通グランド J1

TP-7 TP-6 J2 コネクター J3 コネクターのピン 1 及び 3

上記写真はコネクターを外した状態となっております。


66


【ULTRASONIC ERROR 基板 A-6795 の場合】

端子 TP7 が共通グランドとなっておりますのでそれを使用してください

電圧は以下の通りとなります。

電圧に違いがございましたら弊社までご連絡下さい。

TP-5 ⇒ -12VDC ±0.3VDC

TP-6 ⇒ -15VDC （供給電圧と同じ）

TP-8 ⇒ +15VDC （供給電圧と同じ）

TP-9 ⇒ +12VDC ±0.3VDC

U6 のピン 14 ⇒ +5.0VDC ±0.3VDC

U5 のピン 16 ⇒ 0VDC

U4 のピン 1 ⇒ 0VDC

U4 U5 U6 J1 コネクター J2 コネクター

TP-5

TP-6

TP-7

TP-8

TP-9

J3 コネクター

上記写真はコネクターを外した状態となっております。


67




【問題点】 ULTRASONIC ERROR が発生した ②

【原因】超音波振動子（トランスデューサー）の電極線が断線、又は外れている

【解決策】超音波発振器基板（A-10345／A-6795）の J2 コネクターに電極線が差し込まれているか確認する。


【問題点】 ULTRASONIC ERROR が発生した ③

【原因】インターフェースコネクターの電極線が断線、又は外れている。通信エラーが発生している。

【解決策】超音波発振器基板（A-10345／A-6795）の J1 コネクターに電極線が差し込まれているか確認する。


【問題点】 ULTRASONIC ERROR が発生した ④

【原因】超音波発振出力がされていない

【解決策】【US TEST】を押し【US TEST ランプ】が点灯するか確認する。

点灯しない場合は【ウエッジ】と【セットスクリュー】を取り外し、再度同様の事を行う。

もし【US TEST ランプ】点灯しない場合は超音波発振器基板（A-10345／A-6795）の部品である

OSCILLATOR MODULE（オシレーターモジュール FCM）が故障している可能性がありますので

弊社までお問い合わせ下さい。

【問題点】 MORTOR OR SENSOR FAULT が発生した ①

【原因】ステッパーモーターの原点がずれている。

【解決策】 EDIT ボタンを押した状態で、本体の電源を ON にして下さい。

ステッパーモーターのの原点復帰を行います。

【問題点】 MORTOR OR SENSOR FAULT が発生した ②

【原因】ステッパーモーターと連動する PHOTO センサーに異常がある。

【解決策】 PHOTO センサーに供給している配線の確認を行ってください。

PHOTO センサーに供給している電源（5VDC）を確認してください。

尚、5VDC の確認は【白オレンジ】と【緑】の配線で行ってください

配線部分は外して行って構いません。

5VDC で無い場合には弊社までお問合せ下さい。

PHOTO センサー配線

*** MOTOR OR SENSOR FAULT ***

Press EDIT to try to recover


68


【問題点】 MORTOR OR SENSOR FAULT が発生した ③

【原因】ステッパーモーターのドライバーIC の故障

【解決策】弊社までお問合せ下さい。

ドライバーIC


69


【問題点】 FIRING SWITCH ERROR が発生した ①

【原因】 FIRING SWITCH（ファイヤリングスイッチ）の接点不良、又は配線の断線

【解決策】本体内部のツールヘッドアッセンブリーの下部分の FIRING SWITCH が接触しているか確認

FIRING SWITCH の配線を確認して下さい。

問題がある場合には弊社までお問合せ下さい。

FIRING SWITCH

【問題点】 FIRING SWITCH ERROR が発生した ②

【原因】設定荷重の不良（荷重が軽すぎる）

【解決策】荷重の調整を行ってください

DUAL FORCE を使用中の場合は HIGH／LOW 両方の荷重を確認してください

Model 7400D-Version 3.40*

West ・ Bond , Inc

***** FIRING SWITCH ERROR *****


70

スペアパーツリスト

【モデル 7476D 用スペアパーツリスト】


71




72

その他

【保証】

保障期間は納入後（納入日より）1 年間とし、この間に於いて明らかに制作上の不備、或いは性能の低下が

発生した場合は、速やかに修理等対策を行う。

但し、消耗品は除く。

【特許情報】

このマシンは下記特許で保護されております。


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写真及び回路図

【モデル 7476D 写真及び回路図】

以下にモデル 7476D の写真及び回路図情報が入っております。


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model 7476d シリーズ マニュアルウエッジワイ …eric/equipments/...west・bond model...

Documents

model 7476d シリーズマニュアルウエッジワイ …eric/equipments/...west・bond model...