Download - SID4 - 株式会社オプトサイエンス | HOME...SID4 シリーズ + SID4 ソフトウェア 2 株式会社 オプトサイエンス これまでの波面計測: シャックハルトマン型波面センサ
改良型ハルトマンマスク搭載
高空間分解能波面センサ高空間分解能波面センサ
シャックハルトマン型 波 面センサに満足されていないエンジニアの皆さまへ
レーザ光源の波面特性評価に!
SID4シリーズ + SID4ソフトウェア
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これまでの波面計測: シャックハルトマン型波面センサ
それまでの煩わしさ、一度に解決 ! !マイクロレンズアレイの代わりに回折マスクを使用。回折と干渉現象から入射ビームの波面を評価。これまでと全く異なる手法で波面評価を行う、全く新しいこれからの波面センサです。
入射ビーム
改良型ハルトマンマスク センサ
4方向にシアリング
SID4 波面センサ 波面マップ
干渉画像
広がりのあるビームもそのまま入射OK!! 高空間分解能でスムースな波面データ
高分解能に位相をマップ表示
Phasics シャックハルトマン
■ 並行光以外のビームも補正せずにそのまま測定
■ レーザの波面特性をZernike 係数を確認しながらリアルタイムに評価
■ ビームプロファイル、ファーフィールド機能も搭載
マイクロレンズアレイ
センサ面領域外で測定不可
センサ上の1集光点の動き理想波面の集光点乱れた波面の集光点
そのコア技術は、マイクロレンズアレイ。それを透過した各ビームの移動方向 /距離から波面を計測します。だから・・・1. 測定光は並行光のみ 並行光以外は、リレーレンズで並行光に補正が必要。2. 低空間分解能 /低ダイナミックレンジ 多くの画素をレンズごとに割り当てる必要あり。
改良型ハルトマンマスク波面センサ: SID4シリーズそこで
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レーザ特性測定ソフトウェア SID4
① Intensity Map ② Phase Map ③ Phase 情報④ 測定ツール ⑤ アライメント、設定機能 ⑥ 解析ツール
Zernike 波面収差マップをクリックすると、即座に残差成分をマップと係数で表示
ビームプロファイル機能 (オプション)M2、ストレール比、ビーム傾斜 など
SID4 UV SID4 SID4 HR SID4
動作波長 (nm) 250 - 400 400 - 1,100 400 - 1,100 400 - 1,100
センササイズ (mm) 7.4 x 7.4 3.6 x 4.8 8.9 x 11.8 4.7 x 3.5
空間分解能 (µm) 29.6 29.6 29.6 29.6
サンプリング 250 x 250 160 x 120 300 x 400 160 x 120
絶対精度 10nm RMS 10nm RMS 15nm RMS 15nm RMS
Phase 分解能 2nm RMS < 2nm RMS < 2nm RMS 2nm RMS
ダイナミックレンジ (PtV) > 100µm > 100µm > 500µm ー
SID4 NIR SID4 SWIR SID4 SWIR-HR SID4 DWIR SID4 LWIR
動作波長 (µm) 1.5 - 1.6 0.9 - 1.7 0.9 - 1.7 3 - 5 & 8 - 14 8 - 14
センササイズ (mm) 3.6 x 4.8 9.6 x 7.6 9.6 x 7.6 10 x 8 16 x 12
空間分解能 (µm) 29.6 120 60 68 100
サンプリング 160 x 120 80 x 64 160 x 120 160 x 120 160 x 120
絶対精度 15nm RMS 15nm RMS 15nm RMS 75nm RMS 25nm RMS
Phase 分解能 < 11nm RMS < 2nm RMS < 2nm RMS 25nm RMS 75nm RMS
ダイナミックレンジ (PtV) > 100µm > 100µm > 300µm > 500µm > 500µm
※ 製品の仕様は、予告なく変更になる場合があります。
+ SID4 : レーザ光源波面特性ソフトウェア 透過波面、ゼルニケ係数、MTF、PSF測定など
+ KALEO : 光学部品測定ソフトウェア 透過波面、ゼルニケ係数、ビームプロファイル機能など
+ OASys : 補償光学用ソフトウェア デフォーマブルミラーとの組み合わせで波面補正を完全に制御
+ DENSITY : ガス密度観測ソフトウェア プラズマ、ガス密度観測など
ソフトウェア