サブ画面付2色表示で一目瞭然視認性の向上により、さらに使いやすく

500 mℓ/min.

1,000ℓ/min.

100ℓ/min.

デジタル流量センサ表示一体型

FM-200SERIES

気体用

マーキング適合

industrial.panasonic.com/ac/2018.10

最大タイプ

最小タイプ

サブ画面付2色表示が見やすくわかりやすい！ FM-200SERIES LINE-UPサブ画面に設定条件を表示できますので、操作がわかりやすくなりました。また、2色に変化するデジタル表示により、センサの動作状態をひと目で確認できます。

FM-255-AR2（-P）／FM-255-AG2-PFM-216-AR2（-P）／FM-216-AG2-P

大流量タイプ

●接続口径：Rc1／2めねじ、G1／2めねじ●サイズ：W30×H50×D80mm●ボディ材質：アルミ

FM-254-8（-P）FM-215-8（-P）

中流量タイプ

●接続口径：φ8ワンタッチ（クイック継手付）●サイズ：W17×H43×D70.6mm●ボディ材質：樹脂

FM-252-4（-P）／FM-213-4（-P）FM-253-4（-P）／FM-214-4（-P）

小流量タイプ

●接続口径：φ4ワンタッチ（クイック継手付）●サイズ：W17×H37×D64mm●ボディ材質：樹脂

写真は 原寸大

500 mℓ/min.1,000 mℓ/min.

5ℓ/min.10ℓ/min.

設定値と設定項目を同時に視認できます。

サブ画面付きでわかりやすい！

サブ画面

メイン画面

設定値 出力1に連動 出力2に連動設定項目

500ℓ/min.

1,000ℓ/min.

50ℓ/min.100ℓ/min.

■ 流量レンジ

■ 流量レンジ

■ 流量レンジ1台で双方向の流れを検出します。また順方向・逆方向のみの設定も可能で、様々なアプリケーションに対応します。

高精度±3％F.S.

Si基盤

新整流機構 Siセンサチップ

温度センサ① ヒータ 温度センサ②温度センサ①

温度分布

ヒータ 温度センサ②

Flow

流れなし 流れあり

低 高

1台で吸・排気に対応

吸着ノズルチップ

吸着

例えば、チップ部品の吸着確認を1台で検出。Siセンサチップの原理

真空破壊

チップ

順方向 逆方向

1台で 双方向検出

メイン画面 サブ画面 メイン画面 サブ画面

出力のON／OFF動作に連動し、表示画面の色が切り換わります。

2色表示で一目瞭然！

新整流機構とMEMS（Micro Electro Mechanical System）技術による、Siセンサチップ（3×3.5mm）を搭載。熱容量が極めて小さく、高精度 ±3％F.S. かつ高速応答を実現。ヒータを挟んだ 2 つの温度センサにより温度分布を検知し双方向検出を可能にしています。

・　 　・　　　・　 　 　 　・

2

最大タイプ

最小タイプ

サブ画面付2色表示が見やすくわかりやすい！ FM-200SERIES LINE-UPサブ画面に設定条件を表示できますので、操作がわかりやすくなりました。また、2色に変化するデジタル表示により、センサの動作状態をひと目で確認できます。

FM-255-AR2（-P）／FM-255-AG2-PFM-216-AR2（-P）／FM-216-AG2-P

大流量タイプ

●接続口径：Rc1／2めねじ、G1／2めねじ●サイズ：W30×H50×D80mm●ボディ材質：アルミ

FM-254-8（-P）FM-215-8（-P）

中流量タイプ

●接続口径：φ8ワンタッチ（クイック継手付）●サイズ：W17×H43×D70.6mm●ボディ材質：樹脂

FM-252-4（-P）／FM-213-4（-P）FM-253-4（-P）／FM-214-4（-P）

小流量タイプ

●接続口径：φ4ワンタッチ（クイック継手付）●サイズ：W17×H37×D64mm●ボディ材質：樹脂

写真は 原寸大

500 mℓ/min.1,000 mℓ/min.

5ℓ/min.10ℓ/min.

設定値と設定項目を同時に視認できます。

サブ画面付きでわかりやすい！

サブ画面

メイン画面

設定値 出力1に連動 出力2に連動設定項目

500ℓ/min.

1,000ℓ/min.

50ℓ/min.100ℓ/min.

■ 流量レンジ

■ 流量レンジ

■ 流量レンジ1台で双方向の流れを検出します。また順方向・逆方向のみの設定も可能で、様々なアプリケーションに対応します。

高精度±3％F.S.

Si基盤

新整流機構 Siセンサチップ

温度センサ① ヒータ 温度センサ②温度センサ①

温度分布

ヒータ 温度センサ②

Flow

流れなし 流れあり

低 高

1台で吸・排気に対応

吸着ノズルチップ

吸着

例えば、チップ部品の吸着確認を1台で検出。Siセンサチップの原理

真空破壊

チップ

順方向 逆方向

1台で 双方向検出

メイン画面 サブ画面 メイン画面 サブ画面

出力のON／OFF動作に連動し、表示画面の色が切り換わります。

2色表示で一目瞭然！

新整流機構とMEMS（Micro Electro Mechanical System）技術による、Siセンサチップ（3×3.5mm）を搭載。熱容量が極めて小さく、高精度 ±3％F.S. かつ高速応答を実現。ヒータを挟んだ 2 つの温度センサにより温度分布を検知し双方向検出を可能にしています。

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3

4

流量

H ： 1%F.S.（出荷時）

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

比較出力 ONOFF

H（応差）

H（応差）流量

H ： 1digit以上

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

比較出力 ONOFF

H（応差）流量

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

ONまたはOFF設定値に関わらず出力をOFFします

7桁で流量の積算表示が可能

コスト・品質の管理に最適！ 積算出力モード搭載

新機構の整流方式により、吸入側・排出側ともに直管部が不要です。

双方向での検出が可能なうえ、取り付け姿勢にも制限がなく、フレキシブルな設置が可能です。

カバー付きのコネクタで、ワンタッチ接続が可能です。

■アプリケーションFM-200シリーズは、用途に合わせ積算出力モードなど、さまざまな出力モードで流量を制御・管理できます。

設定範囲内の流量で比較出力をONまたはOFFさせるモードです。

比較出力の応差（ヒステリシス）を任意に設定してON／OFFの制御を行なうモードです。

設定値に関係なく、強制的に比較出力をOFFに保持します。

・電子部品へのN2封入量の管理・エアブロー量の管理など

品質管理に！

・リフロー炉のN2パージ量の管理・装置全体のエア使用量の管理など

コスト管理に！

省エネ ・環境対策に！

光電センサでは検出の難しい透明体を、流量センサは安定検出。油などが飛散する場所も、ノズルを伸して検出できます。

着座確認

常に空気が流れている吸着圧の弱い搬送（コレットによる搬送、網状ワークの搬送など）でも、ワークの有無を検出できます。

吸着確認

パージガス・エアブローを管理することにより、製品の性能・品質維持および、コスト削減に貢献します。

パージガス・エアブローの管理

積算流量値

積算流量

時間

比較出力

0

ONOFF

比較出力 ONOFF

積算流量

時間ℓ ： 規定積算値※

約40ms（固定値）

0

ℓ

2ℓ

3ℓ

比較出力 ONOFF

コレット

リードフレーム フレキシブル基板

※積算値はレンジごとで規定され異なります。　詳細については、仕様（P.7）をご参照ください。

●積算値リセット入力機能 積算モード中、外部入力にて積算値をリセットさせます。

●アナログ電圧出力 1～5Vのアナログ電圧出力を装備しています。

●キーロック機能 キー操作を無効にし、誤操作を防ぎます。

●チャタリング防止機能 50msから約1,500msまで、7段階で応答時間の設定が行なえます。 急激な流量変化やノイズ等によるチャタリングを防止します。

●表示周期設定 デジタル表示の表示更新周期を250ms、500ms、1,000msに変更でき、表示のちらつきをなくします。

●ECOモード 約1分間ボタンを操作しないと、ECOモードに移行。バックライトが消灯しますので、消費電力を削減することができます。

積算パルス出力（流量に応じたパルスを出力）（注1）

FM-200シリーズ

設備 ・装置専用電流センサ

エコパワーメータ® KW2G（AKW2010GB）（注2）

エア消費量

電力消費量CT

エア消費量測定

電力消費量測定

積算流量表示の場合

瞬時流量表示の場合（工場出荷状態）

流量センサのパルス出力をエコパワーメータ®のパルスカウンタに入力することにより、エアと電力の消費量を同時に測定できます。

直管部不要 自由な取り付け姿勢

使いやすさを追求した多様な機能を搭載

コネクタ接続

（応答時間設定）

ウィンドウコンパレータモード ヒステリシスモード 出力OFFモード

積算出力モード

積算パルス出力モード

RS-485通信

流れた気体の量が設定した積算値に達した時、出力がON／OFFします。

規定積算値※毎にパルスを出力します。単位時間当たりのエア消費量がわかります。

上位通信へデータロガーなどで測定レンジに合わせてデータを換算

（注1）：表示値のデータを出力するものではありません。（注2）：エコパワーメータ®　　　　　　（AKW2010GB）については、Webサイトまたは省エネ支援機器総合カタログをご参照ください。KW2G

5

流量

H ： 1%F.S.（出荷時）

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

比較出力 ONOFF

H（応差）

H（応差）流量

H ： 1digit以上

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

比較出力 ONOFF

H（応差）流量

0Lo

Hi

比較出力 ONOFF

ONまたはOFF設定値に関わらず出力をOFFします

7桁で流量の積算表示が可能

コスト・品質の管理に最適！ 積算出力モード搭載

新機構の整流方式により、吸入側・排出側ともに直管部が不要です。

双方向での検出が可能なうえ、取り付け姿勢にも制限がなく、フレキシブルな設置が可能です。

カバー付きのコネクタで、ワンタッチ接続が可能です。

■アプリケーションFM-200シリーズは、用途に合わせ積算出力モードなど、さまざまな出力モードで流量を制御・管理できます。

設定範囲内の流量で比較出力をONまたはOFFさせるモードです。

比較出力の応差（ヒステリシス）を任意に設定してON／OFFの制御を行なうモードです。

設定値に関係なく、強制的に比較出力をOFFに保持します。

・電子部品へのN2封入量の管理・エアブロー量の管理など

品質管理に！

・リフロー炉のN2パージ量の管理・装置全体のエア使用量の管理など

コスト管理に！

省エネ ・環境対策に！

光電センサでは検出の難しい透明体を、流量センサは安定検出。油などが飛散する場所も、ノズルを伸して検出できます。

着座確認

常に空気が流れている吸着圧の弱い搬送（コレットによる搬送、網状ワークの搬送など）でも、ワークの有無を検出できます。

吸着確認

パージガス・エアブローを管理することにより、製品の性能・品質維持および、コスト削減に貢献します。

パージガス・エアブローの管理

積算流量値

積算流量

時間

比較出力

0

ONOFF

比較出力 ONOFF

積算流量

時間ℓ ： 規定積算値※

約40ms（固定値）

0

ℓ

2ℓ

3ℓ

比較出力 ONOFF

コレット

リードフレーム フレキシブル基板

※積算値はレンジごとで規定され異なります。　詳細については、仕様（P.7）をご参照ください。

●積算値リセット入力機能 積算モード中、外部入力にて積算値をリセットさせます。

●アナログ電圧出力 1～5Vのアナログ電圧出力を装備しています。

●キーロック機能 キー操作を無効にし、誤操作を防ぎます。

●チャタリング防止機能 50msから約1,500msまで、7段階で応答時間の設定が行なえます。 急激な流量変化やノイズ等によるチャタリングを防止します。

●表示周期設定 デジタル表示の表示更新周期を250ms、500ms、1,000msに変更でき、表示のちらつきをなくします。

●ECOモード 約1分間ボタンを操作しないと、ECOモードに移行。バックライトが消灯しますので、消費電力を削減することができます。

積算パルス出力（流量に応じたパルスを出力）（注1）

FM-200シリーズ

設備 ・装置専用電流センサ

エコパワーメータ® KW2G（AKW2010GB）（注2）

エア消費量

電力消費量CT

エア消費量測定

電力消費量測定

積算流量表示の場合

瞬時流量表示の場合（工場出荷状態）

流量センサのパルス出力をエコパワーメータ®のパルスカウンタに入力することにより、エアと電力の消費量を同時に測定できます。

直管部不要 自由な取り付け姿勢

使いやすさを追求した多様な機能を搭載

コネクタ接続

（応答時間設定）

ウィンドウコンパレータモード ヒステリシスモード 出力OFFモード

積算出力モード

積算パルス出力モード

RS-485通信

流れた気体の量が設定した積算値に達した時、出力がON／OFFします。

規定積算値※毎にパルスを出力します。単位時間当たりのエア消費量がわかります。

上位通信へデータロガーなどで測定レンジに合わせてデータを換算

（注1）：表示値のデータを出力するものではありません。（注2）：エコパワーメータ®　　　　　　（AKW2010GB）については、Webサイトまたは省エネ支援機器総合カタログをご参照ください。KW2G

FM-200

6

M3ビス （別途ご用意ください。）

M3（長さ6mm）座金組込ビス（MS-FM2-2に付属）

M3ビス （別途ご用意ください。）

M3（長さ6mm）座金組込ビス（MS-FM2-1に付属）

種類と価格

種 類 形　状 適用流体 流量レンジ 型 式 名 接続口径 比較出力 標準価格〈税別〉

樹脂ボディタイプ

清浄空気（注1）圧縮空気（注1）窒素ガス

500mℓ/min.FM-252-4

φ4ワンタッチ

NPNトランジスタ・オープンコレクタ

オープン

FM-252-4-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

1,000mℓ/min.FM-213-4 NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-213-4-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

5ℓ/min.FM-253-4 NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-253-4-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

10ℓ/min.FM-214-4 NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-214-4-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

50ℓ/min.FM-254-8

φ8ワンタッチ

NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-254-8-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

100ℓ/min.FM-215-8 NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-215-8-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

アルミボディタイプ

500ℓ/min.

FM-255-AR2Rc1／2めねじ

NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-255-AR2-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

FM-255-AG2-P G1／2めねじ PNPトランジスタ・オープンコレクタ

1,000ℓ/min.

FM-216-AR2Rc1／2めねじ

NPNトランジスタ・オープンコレクタ

FM-216-AR2-P PNPトランジスタ・オープンコレクタ

FM-216-AG2-P G1／2めねじ PNPトランジスタ・オープンコレクタ

（注1）：清浄空気はJIS B 8392-1.1.1～5.6.2、圧縮空気はJIS B 8392-1.1.1～1.6.2の規格に適合した空気です。

・CN-F15-C1（コネクタ付ケーブル1m）：オープン

・MS-FM2-1 ・MS-FM2-2

付属品を別途お求めになる場合の標準価格〈税別〉

品　名 型 式 名 内　　容 標準価格〈税別〉

センサ取付金具MS-FM2-1 樹脂ボディタイプのセンサを床面方向に取

り付けます。オープン

MS-FM2-2 アルミボディタイプのセンサを床面方向に取り付けます。

オプション（別売）

センサ取付金具 真空用フィルタ推奨品※のご案内（株）日本ピスコ製VFU1-44-15P（エレメント長15mm）VFU1-44-25P（エレメント長25mm）VFE015B01（交換用フィルタエレメント、長さ15mm）VFE025B01（交換用フィルタエレメント、長さ25mm）

※推奨品の詳細については、メーカまで お問い合わせください。

FM-200

7

仕様

個別仕様

共通仕様種 類 NPN出力タイプ PNP出力タイプ

項 目 型 式 名 FM-2□ FM-2□-P適 合 規 制 EMC指令、RoHS指令定 格 圧 力 範 囲 / 耐 圧 力 −0.09～＋0.7MPa / 1MPa適 用 流 体 清浄空気（注3）、圧縮空気（注3）、窒素ガス電 源 電 圧 12～24V DC±10%　リップルP-P10%以下消 費 電 流 通常モード時：60mA以下、ECOモード時：40mA以下

比 較 出 力（比較出力1、比較出力2）

NPNトランジスタ･オープンコレクタ• 最大流入電流：50mA以下• 印加電圧：26.4V DC以下（比較出力-0V間）• 残留電圧：2.4V以下（流入電流50mAにて）

PNPトランジスタ･オープンコレクタ• 最大流出電流：50mA以下• 印加電圧：26.4V DC以下（比較出力-＋V間）• 残留電圧：2.4V以下（流出電流50mAにて）

出 力 モ ード 出力OFFモード、ウィンドウコンパレータモード、ヒステリシスモード、積算出力モード、積算パルス出力モード短 絡 保 護 装備応差（ヒステリシス） ウィンドウコンパレータモード：約1～8％F.S.で可変（出荷時：約1％F.S.）、ヒステリシスモード：可変（最小1digit）応 答 時 間 50ms、80ms、120ms、200ms、400ms、800ms、1,500msから選択可能

ア ナ ロ グ 電 圧 出 力 出力電圧：1～5V／出力インピーダンス：約1kΩ［詳細についてはアナログ電圧出力（P.8）をご参照ください］繰 り 返 し 精 度 ±1％F.S.以内

精 度 保 証 範 囲（注4） 双方向設定時：−100～−3%F.S.、＋3～＋100%F.S.片方向設定時：＋3～＋100%F.S.

外 部 入 力ON電圧：0～＋0.4VOFF電圧：＋5V～＋Vまたは開放入力時間：80ms以上

ON電圧：＋5V～＋VOFF電圧：0～＋0.6Vまたは開放入力時間：80ms以上

直線性（表示、アナログ出力） ±3％F.S.以内（使用周囲温度＋25℃、二次側を大気開放にて）表 示 4桁＋4桁2色LCD表示（表示更新周期：250ms、500ms、1,000msから選択可能）

耐

環

境

性

保 護 構 造 IP40（IEC）使 用 周 囲 温 度 0～＋50℃（但し、結露しないこと）、保存時：−10～＋60℃使 用 周 囲 湿 度 35～90％RH、保存時：35～90%RH耐 電 圧 / 絶 縁 抵 抗 AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間（但し、アルミボディタイプを除く） / DC500Vメガにて10MΩ以上　充電部一括・ケース間（但し、アルミボディタイプを除く）耐 振 動 / 耐 衝 撃 耐久10～150Hz　複振幅0.75mmまたは最大加速度49m/s2　XYZ各方向2時間 / 耐久100m/s2（約10G）　XYZ各方向3回

温 度 特 性 ±0.2％F.S./℃以内（＋25℃を基準として＋15～＋35℃の使用周囲温度範囲にて）圧 力 特 性 ±5%F.S.以内（−0.09～＋0.7MPa、＋25℃、但し、二次側を大気開放にて）ケ ー ス ア ー ス 方 式 フローティング（注5）

材 質 本体ケース：ABS、ボディ：ポリアミド（アルミボディタイプはアルミ）、スイッチ部：EPDM、表示部：アクリル取付ネジ部（樹脂ボディタイプ）：黄銅、整流板･ポートフィルタ：ステンレス（接ガス部に使用）、センサチップ：シリコン、ガスケット：フッ素ゴム

接 続 方 式 コネクタ接続配 線 長 0.3mm2以上のケーブルにて全長10mまで可能付 属 品 CN-F15-C1（コネクタ付ケーブル1m）：1本

（注1）： ＋20℃、1気圧（101kPa）での体積流量に換算した値です。（注2）： 表示流量範囲は、流れ方向設定で双方向に設定した場合です。流れ方向設定を片側順方向または片側逆方向に設定した場合、表示流量範囲のマイナス

側はフルスケール（F.S.）の10%までの表示となります。（注3）： 清浄空気はJIS B 8392-1.1.1～5.6.2、圧縮空気はJIS B 8392-1.1.1～1.6.2の規格に適合した空気です。（注4）： 精度保証範囲外のゼロ点付近では、瞬時流量値が強制的にゼロを表示する場合や、積算流量表示値がカウントアップされない場合、および積算パルス出力

が出力されない場合がありますので、ご注意ください。（注5）： アルミボディタイプにはバリスタ（制限電圧約40V）が接続されていますので、センサの定格電圧以上の電圧を印加しないでください。

種 類 アルミボディタイプ項 目 型 式 名 FM-255-AR2（-P） FM-255-AG2-P FM-216-AR2（-P） FM-216-AG2-Pフ ル ス ケ ー ル 流 量（注1） 500ℓ/min. 1,000ℓ/min.瞬時流量

表 示 範 囲（注2） −550～＋550ℓ/min. −1,100～＋1,100ℓ/min.設 定・ 表 示 分 解 能 1ℓ/min.

積算流量

表 示 範 囲（注2） ±9999999ℓ設 定・ 表 示 分 解 能 1ℓ

規 定 積 算 値 5ℓ 10ℓ接 続 口 径 Rc1／2めねじ G1／2めねじ Rc1／2めねじ G1／2めねじ質 量 本体質量：約155g、梱包質量：約220g

種 類 樹脂ボディタイプ項 目 型 式 名 FM-252-4（-P） FM-213-4（-P） FM-253-4（-P） FM-214-4（-P） FM-254-8（-P） FM-215-8（-P）フ ル ス ケ ー ル 流 量（注1） 500ｍℓ/min. 1,000ｍℓ/min. 5ℓ/min. 10ℓ/min. 50ℓ/min. 100ℓ/min.瞬時流量

表 示 範 囲（注2）−550～＋550ｍℓ/min. −1,100～＋1,100ｍℓ/min. −5.5～＋5.5ℓ/min. −11～＋11ℓ/min. −55～＋55ℓ/min. −110～＋110ℓ/min.設 定・ 表 示 分 解 能 1ｍℓ/min. 0.01ℓ/min. 0.1ℓ/min.

積算流量

表 示 範 囲（注2） ±9999999mℓ ±99999.99ℓ ±999999.9ℓ設 定・ 表 示 分 解 能 1ｍℓ 0.01ℓ 0.1ℓ

規 定 積 算 値 5ｍℓ 10ｍℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.5ℓ 1ℓ接 続 口 径 φ4ワンタッチ φ8ワンタッチ質 量 本体質量：約50g、梱包質量：約115g 本体質量：約70ｇ、梱包質量：約135g

FM-200

8

入・出力回路と接続

入・出力回路図 接続図

入・出力回路図 接続図

無電圧接点またはNPNトランジスタ・オープンコレクタ

または

High（＋5V～＋Vまたは開放）：無効Low（0～＋0.4V）：有効

無電圧接点またはPNPトランジスタ・オープンコレクタ

または

High（＋5V～＋V）：有効Low（0～＋0.6Vまたは開放）：無効

（注1）： アルミボディタイプはセンサの絶縁破壊防止のため、内部電源回路と金属ボディ間にバリスタ（制限電圧約40V）が接続されていますので、金属ボディを電源の＋Vまたは0Vに接続された装置のフレームグランド

（F.G.）に接地してください。また、内部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験･絶縁抵抗試験は行なわないでください。

（注2）： アナログ電圧出力には、短絡保護回路を装備していません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。

※ 1：CH2を比較出力2として使用する場合※ 2：CH2を外部入力として使用する場合

※ 1：CH2を比較出力2として使用する場合※ 2：CH2を外部入力として使用する場合

（注1）： アルミボディタイプはセンサの絶縁破壊防止のため、内部電源回路と金属ボディ間にバリスタ（制限電圧約40V）が接続されていますので、金属ボディを電源の＋Vまたは0Vに接続された装置のフレームグランド

（F.G.）に接地してください。また、内部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験･絶縁抵抗試験は行なわないでください。

（注2）： アナログ電圧出力には、短絡保護回路を装備していません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。

主　

回　

路

内部回路 外部接続例

コネクタ付ケーブルのリード線の色

（茶）＋V負荷

負荷

（白）CH2（比較出力2／外部入力）

（青）0Vバリスタ（注1）

約1kΩ

※1

※2

（黒）CH1（比較出力1）

50mA MAX.

50mA MAX.（灰）アナログ電圧出力（注2）

＋－

12～24V DC±10%

端子No.

D1

D3D4

D2Tr1

Tr3

Tr2

1

2

3

4

5

負荷負荷

＋－

12～24V DC±10%

茶

白

青

黒

灰（注2）

※1

※2

負荷負荷

＋－

12～24V DC±10%

茶

白

青

黒

灰（注2） ※1

※2

主　

回　

路

内部回路 外部接続例

コネクタ付ケーブルのリード線の色

（茶）＋V

負荷負荷（白）CH2

（比較出力2／外部入力）

（青）0Vバリスタ（注1）

※1

※2（黒）CH1（比較出力1）50mA MAX.

50mA MAX.

（灰）アナログ

＋－

12～24V DC±10%

約1kΩ 電圧出力（注2）

D1

D2D3

D4

Tr1Tr2

Tr3

1

2

3

4

5

端子No.

記号…D1～D4：電源逆接続保護用ダイオードTr1、Tr2：NPN出力トランジスタTr3：PNP入力トランジスタ

記号…D1～D4：電源逆接続保護用ダイオードTr1、Tr2：PNP出力トランジスタTr3：NPN入力トランジスタ

NPN出力タイプFM-2□

PNP出力タイプFM-2□-P

5

3

10

出力電圧(V)

流量（ℓ/min.）F.S.

5

3

1

出力電圧(V)

流量（ℓ/min.）F.S.－F.S. 0

〈片側検出の場合〉〈双方向検出の場合〉

アナログ電圧出力

5

3

10

出力電圧(V)

流量（ℓ/min.）F.S.

5

3

1

出力電圧(V)

流量（ℓ/min.）F.S.－F.S. 0

〈片側検出の場合〉〈双方向検出の場合〉

アナログ電圧出力

FM-200

9

端子配列図

圧力損失特性図（代表例）

正しくご使用ください

各部の名称

FM-252-4（-P） FM-213-4（-P） FM-253-4（-P） FM-214-4（-P）

FM-254-8（-P） FM-215-8（-P） FM-255-A□2（-P） FM-216-A□2（-P）

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

0.1 0.2 0.3 0.40

0.100.090.080.070.060.050.040.030.020.01

0.5

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

0.2 0.4 0.6 0.80

0.200.180.160.140.120.100.080.060.040.02

1.0

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

1 2 3 40

1.6

1.4

1.2

1.0

0.8

0.6

0.4

0.2

5

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

2 4 6 80

4.5

4.0

3.5

3.0

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

10

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

10 20 30 400

6

5

4

3

2

1

50

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.1MPa0.3MPa0.5MPa

20 40 60 800

8

7

6

5

4

3

2

1

100

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）

0.3MPa0.5MPa0.7MPa

100 200 300 4000

12

10

8

6

4

2

500

（kPa）

圧力損失

流量（ℓ/min.）200 400 600 8000

40

35

30

25

20

15

10

5

1,000

0.3MPa0.5MPa0.7MPa

（注1）： 順方向表示の矢印の向きは、流れ方向を双方向または片側順方向に設定した場合、流量の順方向を示します。また、片側逆方向に設定した場合は、順方向表示と逆の向きが流量の順方向となります。

（注2）： FM-2□-4（-P）にはφ4のワンタッチ継手、FM-2□-8（-P）にはφ8のワンタッチ継手が装備されています。また、アルミボディタイプにはワンタッチ継手は装備されていません。

MODEキー

コネクタ付ケーブル接続部

比較出力2表示灯（緑色）

順方向表示（注1）

UPキーDOWNキー

配管接続部（注2）

配管接続部（注2）

比較出力1表示灯（緑色）メイン表示部（緑色／赤色）

サブ表示部（緑色／赤色）

① ② ③ ④ ⑤

コネクタピンNo.

コネクタ付ケーブルのリード線色 端子名

① 茶 ＋V

② 黒 CH1（比較出力1）

③ 白 CH2（比較出力2／外部入力）

④ 灰 アナログ電圧出力

⑤ 青 0V

本製品の接続コネクタ部の端子配列（センサ本体側）• 本製品は、人体保護用の検出装置としては使用 しないでください。

• 人体保護を目的とする検出にはOSHA、ANSI、およびIEC等の各国の人体保護用に関する法律および規格に適合する製品をご使用ください。

• 本製品は、空気・窒素用です、その他の流体では精度の保証ができませんので、使用しないでください。

• 検出部に異物が混入すると製品が破損するおそれがありますので、ご注意ください。

FM-200

10

M3ビス （別途ご用意ください。）

M3（長さ6mm）座金組込ビス（MS-FM2-2に付属）

M3ビス （別途ご用意ください。） M3（長さ6mm）座金組込ビス

（MS-FM2-1に付属）

正しくご使用ください

•ワンタッチ継手タイプの製品に挿入するチューブは、下表に規定されたチューブを使用してください。

チューブ材質 チューブ径（mm） 寸法許容値

ポリアミド管 φ4、φ8 ±0.1mm以内

ポリウレタン管φ4 ±0.1mm以内

φ8 ＋0.1−0.15 mm以内

•チューブを挿入した後、チューブが抜けないことを確認してから本製品を使用してください。

配管

取り付け•本製品は上下左右どの方向にも取り付けることができます。

水平取り付け

垂直取り付け

センサ取付金具を使用する場合

〈樹脂ボディタイプ〉

〈樹脂ボディタイプ〉 〈アルミボディタイプ〉

〈樹脂ボディタイプ〉 〈アルミボディタイプ〉

17mm

M3ビス（別途ご用意ください。）

M3ビス（別途ご用意ください。） M3ビス

（別途ご用意ください。）

•M3ビスを使用し、締め付けトルクは0.5N･mとしてください。

•M3ビスを使用し、締め付けトルクは0.5N･mとしてください。

•本製品をセンサ取付金具MS-FM2-1（別売）またはMS-FM2-2 （別売）に取り付ける場合は、センサ取付金具に付属のM3（長さ6mm）座金組込ビスを使用してください。その際の締め付けトルクは、0.5N･mとしてください。また、センサ取付金具を取付面に取り付ける場合は、M3ビスを使用してください。

•コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物など）が含まれていますので、本製品の一次側（上流）にフィルタおよびエアドライヤ、オイルミストフィルタ（マイクロエレッサ）を取り付けてください。尚、本製品内のメッシュ（金網）は、配管中の流れを整流するためのもので、異物を取り除くためのものではありません。必ず本製品の一次側にフィルタを取り付けてください。

元圧 流量センサFM-200

フィルタエアドライヤ

レギュレータ オイルミストフィルタ

（マイクロエレッサ）

•本製品の一次側にバルブを使用する場合は、禁油仕様のバルブを使用してください。グリスまたはオイルなどの飛散により、本製品が誤動作したり破損するおそれがあります。•本製品を吸着確認などで使用する場合は、異物･水分の吸入を防止するために吸入側に必ずろ過度10μm以下のエアフィルタを取り付けてください。また、大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない条件で使用してください。•アルミボディタイプに市販の継手を取り付ける場合、本体の金属部にスパナを掛けて、締め付けトルク16～18N･mで締め付けてください。規定以上のトルクで締め付けると、市販の継手または本体が破損するおそれがあります。•配管の際には、シールテープや接着剤などの異物が混入しないようにご注意ください。異物混入により、本製品が誤動作したり破損するおそれがあります。•二次側（下流）を大気開放で使用する場合は、必ず継手を取り付けてください。継手を取り付けないと、本製品内のポートフィルタが外れる場合があります。

MS-FM2-1を使用 MS-FM2-2を使用

配線•配線作業は、必ず電源を切った状態で行なってください。•誤配線をすると、故障の原因となります。•定格範囲以上の電圧の印加や、交流電源に接続すると、破損や焼損のおそれがありますのでご注意ください。•電源に市販のスイッチングレギュレータをご使用になる場合には、必ず電源のフレームグランド（F.G.）端子を接地してください。•センサ取り付け部周辺にノイズ発生源となる機器（スイッチングレギュレータ、インバータモータなど）をご使用の場合は、機器のフレームグランド（F.G.）端子を必ず接地してください。•高圧線や動力線との並行配線や、同一配線管の使用は避けてください。誘導による誤動作の原因となります。•ケーブル延長は、0.3mm2以上のケーブルにて全長10mまで可能です。•ケーブルの引き出し部に無理な曲げ、引っ張りなどのストレスが加わらないようにしてください。

FM-200

11

正しくご使用ください

●P1≧1.89×P2（音速）の場合　Q＝113.2×S×P1

●P1＜1.89×P2（亜音速）の場合　Q＝226.4×S×　P2（P1－P2）

　Ｑ ： 流量　ℓ/min.　P1 ： 一次側絶対圧力　MPa　P2 ： 二次側絶対圧力　MPa　S ： ノズル（ピンホール）の有効断面積　mm2

P2 ： 真空

P1 ： 大気圧 吸着ノズル

P1 ： 加圧

P2 ： 大気圧

P1 ： 加圧

P2 ： 大気圧 ピンホール

•吸着ノズルでの吸着・離脱確認、漏れ検査等で流量センサをご使用になる場合の、流量レンジの選定の目安にお役立てください。ノズル（ピンホール）の有効断面積とノズルの内外での圧力差により、流量を計算することができます。

〈計算例〉ノズルの径がφ0.1～φ2.0mmでP2を可変した場合の流量計算値を下表に示します。

（注1）： 配管等に漏れがある場合、計算値より実際に流れる流量が大きくなります。流量選定時には、配管の漏れ量を考慮してください。（注2）： 配管途中で吸着ノズル径よりも細い部分がある場合、流量が絞られてしまい計算値より低い流量になることがあります。

また、吸着確認等ができなくなるおそれがあります。（注3）： 有効断面積はあくまでも目安です。ノズルが細長い場合、有効断面積はノズルの開口面積よりも小さくなります。（注4）： 応答時間は、流量センサから吸着ノズル（ピンホール）までの配管の内容積によって決まります。高速検知を行なう場合は、吸着ノズルの近くに流量センサを

配置するなど極力配管の内容積を小さくしてください。

P1（MPa）絶対圧

P1（MPa）ゲージ圧

P2（MPa）絶対圧

P2（MPa）ゲージ圧

音速／亜音速

流量計算値（ℓ/min.）φ0.1mm φ0.2mm φ0.3mm φ0.4mm φ0.5mm φ0.7mm φ1.0mm φ1.5mm φ2.0mm

吸引

0.1013 0 0.0313 −0.07 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.0070.1013 0 0.0413 −0.06 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.0070.1013 0 0.0513 −0.05 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.0070.1013 0 0.0613 −0.04 亜音速 0.088 0.352 0.792 1.408 2.200 4.312 8.800 19.801 35.2020.1013 0 0.0713 −0.03 亜音速 0.082 0.329 0.740 1.315 2.055 4.028 8.220 18.494 32.8780.1013 0 0.0813 −0.02 亜音速 0.072 0.287 0.645 1.147 1.792 3.512 7.166 16.125 28.6660.1013 0 0.0913 −0.01 亜音速 0.054 0.215 0.483 0.859 1.343 2.631 5.370 12.083 21.480

ブロー（漏れ検査）

0.1113 0.01 0.1013 0 亜音速 0.057 0.226 0.509 0.905 1.414 2.772 5.657 12.727 22.6260.1213 0.02 0.1013 0 亜音速 0.080 0.320 0.720 1.280 2.000 3.920 8.000 17.999 31.9980.1413 0.04 0.1013 0 亜音速 0.113 0.453 1.018 1.810 2.828 5.543 11.313 25.454 45.2520.1613 0.06 0.1013 0 亜音速 0.139 0.554 1.247 2.217 3.464 6.789 13.856 31.175 55.4230.1813 0.08 0.1013 0 亜音速 0.160 0.640 1.440 2.560 4.000 7.840 15.999 35.998 63.9960.2013 0.1 0.1013 0 音速 0.179 0.716 1.610 2.862 4.472 8.765 17.888 40.248 71.5520.3013 0.2 0.1013 0 音速 0.268 1.071 2.410 4.284 6.694 13.119 26.774 60.242 107.0960.4013 0.3 0.1013 0 音速 0.357 1.426 3.209 5.706 8.915 17.474 35.660 80.236 142.6410.5013 0.4 0.1013 0 音速 0.445 1.782 4.009 7.127 11.137 21.828 44.547 100.230 178.1860.6013 0.5 0.1013 0 音速 0.534 2.137 4.809 8.549 13.358 26.182 53.433 120.224 213.731

•本製品は、工業環境に使用する目的で開発／製造された製品です。•本製品は計量法に適合していませんので、商取引には使用しないでください。•耐圧力を超える圧力を印加しないでください。•電源投入時の過渡的状態（約5s）を避けてご使用ください。•強い電磁界内では、性能が満足できない場合があります。•表示、アナログ電圧出力の精度は、温度特性の他に通電による自己発熱の影響も受けます。ご使用時には、スタンバイ時間（通電後5分以上）を設けるようにしてください。

•屋外で使用しないでください。•蒸気、ホコリなどの多い所、腐食性ガスなどの雰囲気での使用は避けてください。•シンナーなどの有機溶剤や強い酸、アルカリ、水、油、油脂がかからないようにご注意ください。•本製品を落下させたり、強い衝撃を与えたりしないでください。故障の原因となります。•液晶表示部品の生産中止に伴い、2018年10月生産分から光漏れの少ない液晶表示部品に変更しています。従来品と視野角が異なり、液晶表示部の見え方が異なります。

外形寸法図（単位：mm） 外形寸法図のCADデータは、Webサイトよりダウンロードできます。

2-φ3.4貫通穴

2-M3深さ5

φ4ワンタッチ継手

17

5515 1.5

373.6

（64）27

（24.2）8.5

9.5

15.5

センサFM-2□-8（-P）センサFM-2□-4（-P）

2-φ3.4貫通穴

2-M3深さ5

φ8ワンタッチ継手

17

5515 1.5

433.6

（70.6）27

（30.2）13

9.5

15.5

流量センサ選定方法

その他

安全に関するご注意●ご使用の前に「取扱・施工説明書」および「マニュアル」をよくお読みいただき、正しくお使いください。

●在庫・納期・価格など、販売に関するお問い合わせは

0120-394-205 0120-336-394FAX

※サービス時間／9：00～ 17：00（12：00～ 13：00、弊社休業日を除く）

Webサイト industrial.panasonic.com/ac/

〒571-8506 大阪府門真市大字門真1006番地

ⓒ Panasonic Corporation 2018

メカトロニクス事業部パナソニック株式会社

本書からの無断の複製はかたくお断りします。

2018 年 10 月　No.CJ-FM200-2-1

●技術に関するお問い合わせは

コールセンタパナソニック デバイス販売株式会社本社 ☎03-5404-5187

仙台オフィス ☎022-371-0766

茨城オフィス ☎029-243-8868

宇都宮オフィス ☎028-650-1513

高崎オフィス ☎027-363-2033

さいたまオフィス ☎048-643-4735

八王子オフィス ☎042-656-8421

横浜オフィス ☎045-450-7750

新潟オフィス ☎0256-97-1164

長野オフィス ☎026-227-9425

松本オフィス ☎0263-28-0790

名古屋オフィス ☎052-951-3073

静岡オフィス ☎054-275-1130

浜松オフィス ☎053-457-7155

豊田オフィス ☎0566-62-6861

北陸オフィス ☎076-222-9546

大阪オフィス ☎06-6908-3817

京都オフィス ☎075-681-0237

姫路オフィス ☎079-224-0971

岡山オフィス ☎086-245-3701

広島オフィス ☎082-247-9084

高松オフィス ☎087-841-4473

松山オフィス ☎089-934-1977

福岡オフィス ☎092-481-5470

外形寸法図（単位：mm） 外形寸法図のCADデータは、Webサイトよりダウンロードできます。

センサ取付金具（別売）MS-FM2-1 センサ取付金具（別売）MS-FM2-2

Ｒ1.75

2-φ3.515.5 5

t 1

14.5

3.5

18.5

63055

279.5

4

8.4

17

Ｒ1.75

2-φ3.5

1340

6

3065 t 1

5

5030

3.5

Ｒc1／2めねじ（注1）

15

2-M3深さ5

（37）

80

50

1.5

30

30

30

13

材質：SPCC （ニッケルメッキ）M3（長さ6mm） 座金組込ビス2本付属

材質：SPCC （ニッケルメッキ）M3（長さ6mm） 座金組込ビス2本付属

装着図

コネクタ付ケーブル（付属）CN-F15-C1センサFM-2□-A□（-P）

図は、FM-252-4に取り付けた場合です。装着図図は、FM-255-AR2に取り付けた場合です。

Ｒ1.75630

80

65

2025

30 40

5535

1.5

50

t 1 520

（42）

30Ｒ1.75

172327

6

18.514.5

1.5

42

8.6275

13.5（29.2）

3.5

ｔ 1

（注1）： FM-2□-AG2-Pは、G1／2めねじです。

（25）30以下

1,040

ハウジング：日本圧着端子製造（株）製GHR-05V-S

コンタクト：日本圧着端子製造（株）製5-SSHL-002T-P0.2

コネクタカバー材質：EPDM

（3.7）

FM-200